SIC விளிம்பு வளையம்

ரசாயன நீராவி படிவு (சி.வி.டி) சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) வழியாக தயாரிக்கப்படும் செமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி விளிம்பு வளையம், குறைக்கடத்தி புனையலின் ஒரு முக்கியமான அம்சத்தைக் குறிக்கிறது, குறிப்பாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் அறைகளில் புனையல் செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. விளிம்பு வளையம் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் (ஈ.எஸ்.சி) இன் வெளிப்புற விளிம்பில் அமைந்துள்ளது மற்றும் செதில் இன்-புரோசெஸுடன் அழகியல் மற்றும் செயல்பாட்டு உறவைக் கொண்டுள்ளது.

குறைக்கடத்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்று (ஐசி) உற்பத்தியில், பிளாஸ்மாவின் ஒரே மாதிரியான விநியோகம் முக்கியமானது, ஆனால் ஐபி மற்றும் ஐபிஎஃப் முறைகளின் உற்பத்தியின் போது அதிக விளைச்சலைப் பராமரிக்க செதில் விளிம்பு குறைபாடுகள் மிக முக்கியமானவை, கூடுதலாக மற்ற ஐ.சி.க்களின் நம்பகமான மின் செயல்திறன்களுக்கு கூடுதலாக. இரண்டையும் போட்டியிடும் மாறிகள் என சமன் செய்யாமல் அறையில் உள்ள செதில் எல்லைப் புழுக்களை உறுதிப்படுத்தும் அதே வேளையில் பிளாஸ்மாவின் நம்பகத்தன்மை இரண்டையும் செதில் விளிம்பில் நிர்வகிப்பதில் SIC விளிம்பு வளையம் முக்கியமானது.

இந்த பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறை செதில்களில் செய்யப்படுகையில், செதில்கள் உயர் ஆற்றல் அயனிகளிலிருந்து குண்டுவெடிப்புக்கு ஆளாகின்றன, எதிர்வினை வாயுக்கள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட முறைகளை மாற்றுவதற்கு பங்களிக்கின்றன. இந்த நிலைமைகள் உயர் ஆற்றல் அடர்த்தி செயல்முறைகளை உருவாக்குகின்றன, அவை சரியாக நிர்வகிக்கப்படாவிட்டால் சீரான தன்மை மற்றும் செதில் விளிம்பு தரத்தை எதிர்மறையாக பாதிக்கும். விளிம்பு வளையத்தை செதில் செயலாக்கத்தின் சூழலுடன் இணைந்து வெளிப்படுத்தலாம் மற்றும் மின்மயமாக்கப்பட்ட பிளாஸ்மாவின் ஜெனரேட்டர் குவிப்பாளர்களை அம்பலப்படுத்தத் தொடங்குகையில், விளிம்பு வளையம் அறை விளிம்பில் ஆற்றலை உறிஞ்சி மறுபகிர்வு செய்து, ஜெனரேட்டரிலிருந்து எஸ்கின் விளிம்பிற்கு மின்சார புலத்தின் பயனுள்ள செயல்திறனை நீட்டிக்கும். இந்த உறுதிப்படுத்தும் அணுகுமுறை பல்வேறு வழிகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் பிளாஸ்மா கசிவு மற்றும் செதில் எல்லையின் விளிம்பிற்கு அருகிலுள்ள விலகல் ஆகியவற்றைக் குறைப்பது உட்பட, இது விளிம்பின் எரித்தல்-தோல்விக்கு வழிவகுக்கும்.

ஒரு சீரான பிளாஸ்மா சூழலை ஊக்குவிப்பதன் மூலம், SIC விளிம்பு வளையம் மைக்ரோ-லோடிங் விளைவுகளை குறைக்கவும், செதில் சுற்றளவில் அதிகமாக இருப்பதையும், செதில் மற்றும் அறை கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும் உதவுகிறது. இது அதிக செயல்முறை மறுபயன்பாடு, குறைக்கப்பட்ட குறைபாடு மற்றும் அதிக அளவிலான குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய அளவீடுகள் ஆகியவற்றை செயல்படுத்துகிறது.

இடைநிறுத்தங்கள் ஒருவருக்கொருவர் இணைக்கப்பட்டு, செதிலின் விளிம்பில் செயல்முறை தேர்வுமுறை மிகவும் சவாலானது. எடுத்துக்காட்டாக, மின் இடைநிறுத்தங்கள் உறை உருவத்தின் சிதைவை ஏற்படுத்தக்கூடும், இதனால் சம்பவ அயனிகளின் கோணம் மாறக்கூடும், இதனால் பொறிப்பதை சீரான தன்மையை பாதிக்கிறது; வெப்பநிலை புலம் சீரான தன்மை வேதியியல் எதிர்வினை வீதத்தை பாதிக்கலாம், இதனால் விளிம்பு பொறித்தல் வீதம் மத்திய பகுதியிலிருந்து விலகிவிடும். மேற்கண்ட சவால்களுக்கு பதிலளிக்கும் விதமாக, மேம்பாடுகள் பொதுவாக இரண்டு அம்சங்களிலிருந்து செய்யப்படுகின்றன: உபகரணங்கள் வடிவமைப்பு தேர்வுமுறை மற்றும் செயல்முறை அளவுரு சரிசெய்தல்.

செதில் விளிம்பு பொறிப்பின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த ஃபோகஸ் வளையம் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். பிளாஸ்மா விநியோக பகுதியை விரிவுபடுத்துவதற்கும் உறை உருவ அமைப்பை மேம்படுத்துவதற்கும் இது செதில் விளிம்பில் நிறுவப்பட்டுள்ளது. ஒரு கவனம் வளையம் இல்லாத நிலையில், செதில் விளிம்பிற்கும் எலக்ட்ரோடுக்கும் இடையிலான உயர வேறுபாடு உறை வளைக்க காரணமாகிறது, இதனால் அயனிகள் பொறிக்கப்பட்ட பகுதிக்கு ஒரே மாதிரியான கோணத்தில் நுழைகின்றன.

கவனம் வளையத்தின் செயல்பாடுகள் பின்வருமாறு:

The செதில் விளிம்பிற்கும் மின்முனைக்கும் இடையிலான உயர வேறுபாட்டை நிரப்புதல், உறை முகஸ்துதி அளிக்கிறது, அயனிகள் செதில் மேற்பரப்பை செங்குத்தாக குண்டு வீசுவதை உறுதிசெய்கின்றன, மேலும் சிதைவை பொறிப்பதைத் தவிர்க்கிறது.

She பொறிப்பு சீரான தன்மையை மேம்படுத்துதல் மற்றும் அதிகப்படியான விளிம்பு பொறித்தல் அல்லது சாய்ந்த பொறித்தல் சுயவிவரம் போன்ற சிக்கல்களைக் குறைக்கவும்.

பொருள் நன்மைகள்

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சியை அடிப்படை பொருளாக பயன்படுத்துவது பாரம்பரிய பீங்கான் அல்லது பூசப்பட்ட பொருட்களை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது. சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி வேதியியல் மந்தமானது, வெப்பமாக நிலையானது, மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு மிகவும் எதிர்க்கும், ஆக்கிரமிப்பு ஃவுளூரின்- மற்றும் குளோரின் அடிப்படையிலான வேதியியலில் கூட. அதன் சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை அதிக வெப்பநிலை சைக்கிள் ஓட்டுதல் நிலைமைகளின் கீழ் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைந்த துகள் உருவாக்கத்தை உறுதி செய்கிறது.

மேலும், சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சியின் அதி-தூய்மையான மற்றும் அடர்த்தியான நுண் கட்டமைப்பு மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இது அல்ட்ரா-சுத்தமான செயலாக்க சூழல்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது, அங்கு சுவடு அசுத்தங்கள் கூட விளைச்சலை பாதிக்கும். தற்போதுள்ள ஈ.எஸ்.சி இயங்குதளங்கள் மற்றும் தனிப்பயன் அறை வடிவவியலுடன் அதன் பொருந்தக்கூடிய தன்மை மேம்பட்ட 200 மிமீ மற்றும் 300 மிமீ பொறித்தல் கருவிகளுடன் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பை அனுமதிக்கிறது.