SiC செராமிக் சக்

செமிகோரெக்ஸ் SiC செராமிக் சக் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான்களால் ஆனது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் சவாலான சூழலில் அதன் சிறந்த செயல்திறனுக்காக மிகவும் மதிக்கப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அவற்றின் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்காக அறியப்படுகின்றன, இவை அனைத்தும் குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸிக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸியின் போது, ​​செமிகண்டக்டர் பொருளின் ஒரு மெல்லிய அடுக்கு துல்லியமாக அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது, இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்தியில் முக்கியமான படியாகும். இந்தச் செயல்பாட்டின் போது SiC செராமிக் சக் ஒரு வெற்றிட சக்காக செயல்படுகிறது, செதில் தட்டையாகவும் நிலையானதாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக வலுவான, நிலையான பிடியுடன் செதில்களைப் பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கும். SiC மட்பாண்டங்கள் சிதைவு இல்லாமல் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும், அவை பெரும்பாலும் 1000 ° C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையை உள்ளடக்கிய எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன. இந்த உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை, SiC செராமிக் சக் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க முடியும் மற்றும் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் கூட, செதில் மீது நம்பகமான பிடியை வழங்க முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, SiC இன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் SiC செராமிக் சக் முழுவதும் விரைவான மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை அனுமதிக்கிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்கில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும் வெப்ப சாய்வுகளைக் குறைக்கிறது.

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இரசாயன எதிர்ப்பானது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் SiC செராமிக் சக் ஆக அதன் செயல்திறனில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. எபிடாக்சியல் செயல்முறைகள் பெரும்பாலும் எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன சூழல்களின் பயன்பாட்டை உள்ளடக்கியது, அவை காலப்போக்கில் பொருட்களை அரிக்கும் அல்லது சிதைக்கும். இருப்பினும், இரசாயனத் தாக்குதலுக்கு SiC இன் வலுவான எதிர்ப்பு, சக் இந்த கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கி, நீண்ட கால நீடித்து நிலைத்து, பல உற்பத்தி சுழற்சிகளில் அதன் செயல்திறன் பண்புகளை பராமரிக்கிறது.

மேலும், SiC மட்பாண்டங்களின் இயந்திர பண்புகள், அவற்றின் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் போன்றவை, வெற்றிட சக்ஸ் போன்ற துல்லியமான பயன்பாடுகளுக்கு அவற்றை சிறந்ததாக ஆக்குகின்றன. அதிக கடினத்தன்மை, சக் மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்தினாலும், தேய்மானம் மற்றும் சேதத்திற்கு எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கிறது, அதே நேரத்தில் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் பரந்த வெப்பநிலை வரம்பில் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க உதவுகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இது மிகவும் முக்கியமானது, இதில் சக்கின் பரிமாணங்களில் ஏற்படும் சிறிய மாற்றங்கள் கூட எபிடாக்சியல் லேயரில் தவறான சீரமைப்பு அல்லது குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும்.

SiC செராமிக் சக்கின் வடிவமைப்பு வெற்றிட சூழல்களில் அதன் செயல்திறனை மேம்படுத்தும் அம்சங்களையும் உள்ளடக்கியது. உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது பொருளின் உள்ளார்ந்த போரோசிட்டியை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும், இது குறிப்பிட்ட துளை அளவுகள் மற்றும் செதில்களின் வெற்றிடப் பிடியை மேம்படுத்தும் விநியோகங்களுடன் சக்ஸை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது. எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தை சமரசம் செய்யக்கூடிய வார்ப்பிங் அல்லது பிற சிதைவுகளைத் தடுக்கும் சக்தியின் சீரான விநியோகத்துடன், செதில் பாதுகாப்பாக வைத்திருப்பதை இது உறுதி செய்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் SiC செராமிக் சக் செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் ஒரு இன்றியமையாத அங்கமாகும், சிலிக்கான் கார்பைட்டின் தனித்துவமான பண்புகளை துல்லியம் மற்றும் நீடித்துழைப்பிற்காக உகந்த வடிவமைப்புடன் இணைக்கிறது. தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறன், இரசாயனத் தாக்குதலை எதிர்த்தல் மற்றும் செதில்களின் மீது நிலையான பிடியை பராமரிக்கும் திறன் ஆகியவை உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் ஒரு விலைமதிப்பற்ற கருவியாக அமைகிறது. மேம்பட்ட மற்றும் நம்பகமான எலக்ட்ரானிக் கூறுகளுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், SiC செராமிக் சக் போன்ற சிறப்பு கூறுகளின் பங்கு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்வதில் அதிக முக்கியத்துவம் பெறும்.