SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு

செமிகோரெக்ஸ் SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) கான்டிலீவர் துடுப்பு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக பரவல் அல்லது LPCVD (குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு) உலைகளில் பரவல் மற்றும் RTP (விரைவான வெப்ப செயலாக்கம்) போன்ற செயல்முறைகளின் போது. இந்த உலைகளின் செயல்முறைக் குழாய்க்குள் செதில்களை ஆதரிக்கும் மற்றும் கொண்டு செல்லும் நோக்கத்திற்காக இது உதவுகிறது.

Semicorex SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு முதன்மையாக சிலிக்கான் கார்பைடால் ஆனது, இது உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த இயந்திர பண்புகளுக்காக அறியப்பட்ட ஒரு வலுவான மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை வாய்ந்த பொருளாகும். குறைக்கடத்தி உலைகளின் உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களுக்குள் எதிர்கொள்ளும் கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கும் திறனுக்காக SiC தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. SiC கான்டிலீவர் துடுப்பின் வடிவமைப்பு, குழாய்க்கு வெளியே ஒரு முனையில் உறுதியாக நங்கூரமிடப்பட்டிருக்கும் போது உலையின் செயல்முறைக் குழாயில் நீட்டிக்க அனுமதிக்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு உலைக்குள் வெப்ப சூழலில் குறுக்கீட்டைக் குறைக்கும் அதே வேளையில் செயலாக்கப்படும் செதில்களுக்கான நிலைத்தன்மையையும் ஆதரவையும் உறுதி செய்கிறது.

SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு என்பது, பரவல் மற்றும் RTP போன்ற பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது, ​​செயல்முறைக் குழாய்க்குள் செமிகண்டக்டர் செதில்களை பாதுகாப்பாக எடுத்துச் செல்ல வேண்டும். அதன் வலுவான கட்டுமானமானது, இந்த செயல்முறைகளின் போது ஏற்படும் தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன சூழல்களை சிதைவு அல்லது தோல்வி இல்லாமல் தாங்கும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. SiC கான்டிலீவர் துடுப்புகள் பரந்த அளவிலான குறைக்கடத்தி செதில் அளவுகள் மற்றும் தொழில்துறையில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வடிவங்களுடன் இணக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. குறிப்பிட்ட உலை கட்டமைப்புகள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் அவை பெரும்பாலும் தனிப்பயனாக்கப்படுகின்றன.