மெட்டாலிக் ஷவர் ஹெட், வாயு விநியோக தகடு அல்லது கேஸ் ஷவர் ஹெட் என அறியப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் முதன்மை செயல்பாடு வாயுக்களை எதிர்வினை அறைக்குள் சமமாக விநியோகிப்பதாகும். வாயுக்கள்.**
இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD), இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட CVD (PECVD), எபிடாக்ஸி (EPI) மற்றும் பொறித்தல் உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் மெட்டாலிக் ஷவர் ஹெட் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த செயல்முறைகள் ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்திக்கு அடிப்படையாகும், மேலும் ஷவர் ஹெட் இந்த ஒவ்வொரு செயல்பாடுகளின் போதும் எரிவாயு விநியோக பொறிமுறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது. ஷவர் ஹெட் வழங்கும் துல்லியமான மற்றும் சீரான வாயு ஓட்டம், உகந்த படிவு அல்லது செதுக்குதலை உறுதி செய்கிறது, குறைபாடுகளின் வாய்ப்புகளை குறைக்கிறது மற்றும் இந்த செயல்முறைகளின் போது உருவாகும் படங்கள் அல்லது அடுக்குகளின் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
செமிகோரெக்ஸ் மெட்டாலிக் ஷவர் ஹெட்டின் தனித்துவமான அம்சங்களில் ஒன்று அதன் உயர் துல்லியம் மற்றும் தூய்மை. சாதனம் துல்லியத்தின் மிக உயர்ந்த தரத்தை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, முழு மேற்பரப்பு முழுவதும் வாயு ஓட்டம் உன்னிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. இந்த துல்லியமான வாயு விநியோகம் நேரடியாக குறைக்கடத்தி புனையலின் விரிவாக்கத்திற்கு பங்களிக்கிறது, அங்கு சிறிய முரண்பாடு கூட குறிப்பிடத்தக்க குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். கூடுதலாக, ஷவர் ஹெட் மிக உயர்ந்த தூய்மைத் தரங்களுடன் தயாரிக்கப்படுகிறது, இது தீவிர உணர்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களில் மாசுபடுவதைத் தடுப்பதில் முக்கியமானது.
மெட்டாலிக் ஷவர் ஹெட் அதன் பல அடுக்கு, கலப்பு மேற்பரப்பு சிகிச்சைகளால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸ், தயாரிப்பின் செயல்பாடு மற்றும் நீடித்து நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த, மணல் வெட்டுதல், அனோடைசிங், நிக்கல் துலக்குதல் மற்றும் எலக்ட்ரோ-பாலிஷிங் உள்ளிட்ட மேற்பரப்பு முடித்தல் நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த சிகிச்சைகள் ஒவ்வொன்றும் ஒரு குறிப்பிட்ட நோக்கத்திற்கு சேவை செய்கின்றன: எடுத்துக்காட்டாக, மணல் வெட்டுதல் ஒரு சீரான அமைப்பை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் அனோடைசிங் கூடுதல் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. நிக்கல் துலக்குதல் இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு எதிரான பாதுகாப்பின் மற்றொரு அடுக்கைச் சேர்க்கிறது, மேலும் எலக்ட்ரோ-பாலிஷிங் ஒரு மென்மையான, சுத்தமான மேற்பரப்பை உறுதிசெய்கிறது, இது செயல்பாட்டின் போது துகள் உற்பத்தியின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. இந்த ஒருங்கிணைந்த சிகிச்சைகள், ஷவர் ஹெட், உடைகள், அரிப்பு மற்றும் மாசுபடுதல் ஆகியவற்றிற்கு விதிவிலக்காக எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கின்றன, நீண்ட செயல்பாட்டு வாழ்க்கை மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கின்றன.
Semicorex ஒவ்வொரு குறைக்கடத்தி செயல்முறையின் குறிப்பிட்ட கோரிக்கைகளின் அடிப்படையில் மழை தலையில் பயன்படுத்தப்படும் மூலப்பொருட்களின் தேர்வை தனிப்பயனாக்குகிறது. வலிமை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை போன்ற தேவையான செயல்திறனைப் பொறுத்து, ஷவர் ஹெட் பல்வேறு செயல்பாட்டு நிலைமைகளின் கீழ் சிறப்பாகச் செயல்படுவதை உறுதிசெய்ய வெவ்வேறு உலோகக் கலவைகள் அல்லது உலோகங்கள் தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில், காலப்போக்கில் சிதைவு அல்லது சிதைவைத் தடுக்க உயர்ந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை கொண்ட பொருட்கள் தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன, முழு செயல்முறை முழுவதும் எரிவாயு விநியோகம் துல்லியமாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
சுருக்கமாக, செமிகோரெக்ஸின் மெட்டாலிக் ஷவர் ஹெட் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் அதிக துல்லியம், தூய்மை மற்றும் நீடித்து நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்ட மேம்பட்ட எரிவாயு விநியோக சாதனமாகும். அதன் பயன்பாடுகள் PVD, CVD, PECVD, EPI மற்றும் எச்சிங் போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளில் பரவுகின்றன, அங்கு இது வாயு ஓட்டம் மற்றும் உகந்த செயல்முறை செயல்திறனை உறுதி செய்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. தயாரிப்பின் பல அடுக்கு மேற்பரப்பு சிகிச்சைகள் மற்றும் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய பொருள் தேர்வு ஆகியவை அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும், அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறன் மற்றும் முக்கியமான உற்பத்தி சூழல்களில் நீண்ட கால பயன்பாட்டை உறுதிசெய்யும் அளவுக்கு நீடித்தது. செமிகோரெக்ஸ் மெட்டாலிக் ஷவர் தலையை தங்கள் செயல்முறைகளில் ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் அதிக மகசூல், மேம்பட்ட தயாரிப்பு தரம் மற்றும் அதிக செயல்பாட்டு திறன் ஆகியவற்றை அடைய முடியும்.