பிளாஸ்மா செயலாக்க ஃபோகஸ் ரிங்

எங்கள் பிளாஸ்மா செயலாக்க ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்வதற்கு மிகவும் நிலையானது, இது பிளாஸ்மா எட்ச் (அல்லது உலர் எட்ச்) அறைகளில் பயன்படுத்த சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. செதில் விளிம்பு அல்லது சுற்றளவைச் சுற்றி எட்ச் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, எங்கள் கவனம் வளையங்கள் அல்லது விளிம்பு வளையங்கள் மாசுபடுவதையும் திட்டமிடப்படாத பராமரிப்பையும் குறைக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.

எங்கள் SiC பூச்சு அதிக அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு பண்புகள் மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட அடர்த்தியான, அணிய-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகும். வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டில் மெல்லிய அடுக்குகளில் SiC ஐப் பயன்படுத்துகிறோம். இது எங்கள் SiC ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் உயர்ந்த தரம் மற்றும் நீடித்து நிலைத்திருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, இது உங்கள் பிளாஸ்மா எட்ச் செயலாக்கத் தேவைகளுக்கு நம்பகமான தேர்வாக அமைகிறது.

எங்கள் பிளாஸ்மா செயலாக்க ஃபோகஸ் ரிங் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

பிளாஸ்மா செயலாக்க கவனம் வளையத்தின் அளவுருக்கள்

பிளாஸ்மா செயலாக்க கவனம் வளையத்தின் அம்சங்கள்

- சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்.

- உயர் செயல்திறன் சுத்திகரிக்கப்பட்ட திடமான கார்பனால் செய்யப்பட்ட வெப்ப காப்பு.

- கார்பன்/கார்பன் கலவை ஹீட்டர் மற்றும் தட்டு. - கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.

- பின்ஹோல் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக ஆயுட்காலத்திற்கான உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் SiC பூச்சு