செமிகண்டக்டர் CVD SiC செயல்முறை தொழில்நுட்பம்

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) SiC செயல்முறை தொழில்நுட்பம் உயர் செயல்திறன் கொண்ட மின்னியல் சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு அவசியமானது, அடி மூலக்கூறு செதில்களில் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குகளின் துல்லியமான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை செயல்படுத்துகிறது. SiC இன் பரந்த பேண்ட்கேப் மற்றும் உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறனை மேம்படுத்துவதன் மூலம், இந்த தொழில்நுட்பம் பாரம்பரிய சிலிக்கானை விட கணிசமாக குறைந்த ஆற்றல் இழப்புடன் அதிக மின்னழுத்தங்கள் மற்றும் வெப்பநிலையில் செயல்படும் திறன் கொண்ட கூறுகளை உருவாக்குகிறது. மின்சார வாகனங்கள், புதுப்பிக்கத்தக்க எரிசக்தி அமைப்புகள் மற்றும் உயர் செயல்திறன் தரவு மையங்களை நோக்கிய உலகளாவிய மாற்றம் காரணமாக சந்தை தேவை தற்போது அதிகரித்து வருகிறது, அங்கு SiC MOSFET கள் கச்சிதமான, வேகமான சார்ஜிங் மற்றும் ஆற்றல்-அடர்த்தியான சக்தி மாற்றத்திற்கான தரநிலையாக மாறி வருகின்றன. தொழில்துறையானது 200மிமீ செதில் உற்பத்தியை நோக்கிச் செல்லும்போது, ​​உலகளாவிய குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலியின் கடுமையான நம்பகத்தன்மை தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்ய விதிவிலக்கான திரைப்பட சீரான தன்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி ஆகியவற்றை அடைவதில் கவனம் செலுத்தப்படுகிறது.

V. இரசாயன நீராவி படிவுக்கான சந்தை இயக்கிகள் (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செயல்முறை தொழில்நுட்பம்

1. தேவை வளர்ச்சி

வாகனம், மின்சாரம் மற்றும் விண்வெளி போன்ற தொழில்களில் அதிக செயல்திறன் கொண்ட பொருட்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால்,CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக இந்த துறைகளில் தவிர்க்க முடியாத பொருளாக மாறியுள்ளது. எனவே, சக்தி குறைக்கடத்திகள், மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் புதிய ஆற்றல் துறைகளில் SiC இன் பயன்பாடு வேகமாக வளர்ந்து வருகிறது, இது CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) சந்தை தேவையின் விரிவாக்கத்தை உந்துகிறது.

2. ஆற்றல் மாற்றம் மற்றும் மின்சார வாகனங்கள்

மின்சார வாகனங்கள் (EVகள்) மற்றும் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் தொழில்நுட்பங்களின் விரைவான வளர்ச்சியானது திறமையான ஆற்றல் மாற்றம் மற்றும் ஆற்றல் சேமிப்பு சாதனங்களுக்கான தேவையை அதிகரித்துள்ளது. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மின்சார வாகனங்களுக்கான பவர் எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களில், குறிப்பாக பேட்டரி மேலாண்மை அமைப்புகள், சார்ஜர்கள் மற்றும் இன்வெர்ட்டர்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதிக அதிர்வெண், உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் அதன் நிலையான செயல்திறன் SiC ஐ பாரம்பரிய சிலிக்கான் பொருட்களுக்கு சிறந்த மாற்றாக ஆக்குகிறது.

3. தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்கள்

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) தொழில்நுட்பத்தில் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றங்கள், குறிப்பாக குறைந்த-வெப்பநிலை CVD தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி, உயர் தரம் மற்றும் செயல்திறனுடன் SiC உற்பத்தியை செயல்படுத்தி, உற்பத்தி செலவைக் குறைத்து அதன் பயன்பாட்டு வரம்பை விரிவுபடுத்துகிறது. உற்பத்தி செயல்முறைகள் மேம்படுவதால், SiC இன் உற்பத்திச் செலவு படிப்படியாகக் குறைகிறது, மேலும் அதன் சந்தை ஊடுருவலைத் தூண்டுகிறது.

4. அரசாங்க கொள்கை ஆதரவு

பசுமை ஆற்றல் மற்றும் நிலையான மேம்பாட்டு தொழில்நுட்பங்களுக்கான அரசாங்க ஆதரவு கொள்கைகள், குறிப்பாக புதிய ஆற்றல் வாகனங்கள் மற்றும் சுத்தமான எரிசக்தி உள்கட்டமைப்பை ஊக்குவிப்பதில், SiC பொருட்களின் பயன்பாட்டை ஊக்குவித்துள்ளன. வரிச் சலுகைகள், மானியங்கள் மற்றும் கடுமையான சுற்றுச்சூழல் தரநிலைகள் ஆகியவை சந்தை வளர்ச்சிக்கு பங்களித்துள்ளனCVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)பொருட்கள்.

5. பன்முகப்படுத்தப்பட்ட பயன்பாட்டு பகுதிகள்

வாகனம் மற்றும் ஆற்றல் துறைகளில் பயன்பாடுகள் தவிர, SiC ஆனது விண்வெளி, இராணுவம், பாதுகாப்பு, ஒளியியல் மற்றும் லேசர் தொழில்நுட்பத் தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை கடுமையான சூழல்களிலும் SiC ஐ நிலையாக செயல்பட அனுமதிக்கிறது, இந்த உயர்நிலைப் புலங்களில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடுக்கான (SiC) தேவையை அதிகரிக்கிறது.

6. நன்கு வளர்ந்த தொழில்துறை சங்கிலி

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) க்கான தொழில்துறை சங்கிலி படிப்படியாக முழுமையானதாகி வருகிறது, மூலப்பொருட்கள், உபகரணங்கள் உற்பத்தி மற்றும் பயன்பாட்டு மேம்பாடு ஆகியவற்றில் தொடர்ச்சியான மேம்படுத்தல்கள். தொழில்துறை சங்கிலியின் முதிர்ச்சியானது தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளை ஊக்குவிப்பது மட்டுமல்லாமல், ஒவ்வொரு கட்டத்திலும் செலவுகளைக் குறைக்கிறது, இது SiC இன் ஒட்டுமொத்த சந்தைப் போட்டித்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

VI. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைகளின் எதிர்கால தொழில்நுட்ப வளர்ச்சிப் போக்குகள்

1. உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு மெல்லிய பிலிம்களை தயாரிப்பதில் திருப்புமுனைகள்

எதிர்கால தொழில்நுட்பங்கள் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மெல்லிய படங்களின் தூய்மையை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்தும். அசுத்தங்கள் மற்றும் குறைபாடுகளைக் குறைக்க முன்னோடி பொருட்கள் மற்றும் எதிர்வினை நிலைமைகளை மேம்படுத்துவதன் மூலம் இது அடையப்படும், இதன் மூலம் படத்தின் படிக தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட சக்தி சாதனங்கள் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.

2. விரைவான டெபாசிஷன் தொழில்நுட்பங்களின் பயன்பாடுகள்

உற்பத்தி செயல்திறனுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், படிவு விகிதங்களை (அதிவேக பிளாஸ்மா-மேம்படுத்தப்பட்ட CVD போன்றவை) கணிசமாக மேம்படுத்தக்கூடிய CVD செயல்முறைகளை உருவாக்குவது தொழில்நுட்ப வளர்ச்சியின் முக்கிய மையமாக மாறியுள்ளது. இந்த செயல்முறை உற்பத்தி சுழற்சியை குறைக்கலாம் மற்றும் படத்தின் தரத்தை உறுதி செய்யும் போது யூனிட் செலவைக் குறைக்கலாம்.

3. மல்டிஃபங்க்ஸ்னல் கலவை மெல்லிய படங்களின் வளர்ச்சி

பல்வேறு பயன்பாட்டுக் காட்சிகளுக்கு ஏற்ப, எதிர்கால மேம்பாடு மல்டிஃபங்க்ஸ்னல் பண்புகளுடன் கூடிய சிலிக்கான் கார்பைடு கலவை மெல்லிய படத் தொழில்நுட்பங்களில் கவனம் செலுத்தும். இந்த கலவைகள், நைட்ரைடுகள் மற்றும் ஆக்சைடுகளுடன் இணைந்தவை, வலுவான மின், இயந்திர அல்லது ஒளியியல் பண்புகளைக் கொண்டு, அவற்றின் பயன்பாட்டு பகுதிகளை விரிவுபடுத்தும்.

4. கட்டுப்படுத்தக்கூடிய படிக நோக்குநிலை வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம்

பவர் எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்களில் (MEMS), குறிப்பிட்ட படிக நோக்குநிலைகளைக் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மெல்லிய படங்கள் குறிப்பிடத்தக்க செயல்திறன் நன்மைகளை வழங்குகின்றன. பல்வேறு சாதனங்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய மெல்லிய படங்களின் படிக நோக்குநிலையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதற்கு CVD தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்துவதில் எதிர்கால ஆராய்ச்சி கவனம் செலுத்தும்.

5. குறைந்த ஆற்றல் டெபாசிஷன் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி

பசுமை உற்பத்தியின் போக்கிற்கு பதிலளிக்கும் விதமாக, குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட CVD நீராவி படிவு செயல்முறைகள் ஒரு ஆராய்ச்சி மையமாக மாறும். எடுத்துக்காட்டாக, குறைந்த வெப்பநிலை படிவு தொழில்நுட்பங்கள் அல்லது அதிக ஆற்றல் திறன் கொண்ட பிளாஸ்மா-உதவி செயல்முறைகளை உருவாக்குவது ஆற்றல் நுகர்வு மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தாக்கத்தை குறைக்கும்.

6. நானோ கட்டமைப்புகள் மற்றும் மைக்ரோ/நானோ ஃபேப்ரிகேஷன் ஆகியவற்றின் ஒருங்கிணைப்பு

மேம்பட்ட மைக்ரோ/நானோ ஃபேப்ரிகேஷன் தொழில்நுட்பங்களுடன் இணைந்து, CVD செயல்முறைகள் நானோ அளவிலான சிலிக்கான் கார்பைடு கட்டமைப்புகளை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தும் முறைகளை உருவாக்கும், நானோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், சென்சார்கள் மற்றும் குவாண்டம் சாதனங்களில் புதுமைகளை ஆதரிப்பது மற்றும் மினியேட்டரைசேஷன் மற்றும் உயர் செயல்திறன் ஆகியவற்றை இயக்கும்.

7. நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் நுண்ணறிவு வைப்பு அமைப்புகள்

சென்சார் மற்றும் செயற்கை நுண்ணறிவு தொழில்நுட்பங்களின் முன்னேற்றத்துடன், சிவிடி கருவிகள் அதிக நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் பின்னூட்டக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளை ஒருங்கிணைத்து, டைனமிக் ஆப்டிமைசேஷன் மற்றும் டெபாசிஷன் செயல்முறையின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அடைய, தயாரிப்பு நிலைத்தன்மை மற்றும் உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்தும்.

8. நாவல் முன்னோடிப் பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு

எதிர்கால முயற்சிகள், படிவுத் திறனை மேம்படுத்துவதற்கும் சுற்றுச்சூழல் பாதிப்பைக் குறைப்பதற்கும், அதிக வினைத்திறன், குறைந்த நச்சுத்தன்மை மற்றும் அதிக நிலைத்தன்மை கொண்ட வாயு கலவைகள் போன்ற சிறந்த செயல்திறனுடன் புதிய முன்னோடி பொருட்களை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்தும்.

9. பெரிய அளவிலான உபகரணங்கள் மற்றும் வெகுஜன உற்பத்தி

200மிமீ அல்லது அதற்கும் அதிகமான செதில்களை ஆதரிக்கும் செதில்கள் போன்ற பெரிய அளவிலான CVD உபகரணங்களை உருவாக்குவது தொழில்நுட்பப் போக்குகளில் அடங்கும், இது பொருள் செயல்திறன் மற்றும் பொருளாதாரத்தை மேம்படுத்துவதற்கும், உயர் செயல்திறன் பயன்பாடுகளில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடை பரவலாக ஏற்றுக்கொள்வதை ஊக்குவிப்பதற்கும் அடங்கும்.

10. பல பயன்பாட்டு புலங்களால் இயக்கப்படும் செயல்முறை தனிப்பயனாக்கம்

மின்னணுவியல், ஒளியியல், ஆற்றல், விண்வெளி மற்றும் பிற துறைகளில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், எதிர்கால முயற்சிகள், பொருளின் போட்டித்திறன் மற்றும் பொருந்தக்கூடிய தன்மையை மேம்படுத்தும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளை அடைய பல்வேறு பயன்பாட்டுக் காட்சிகளுக்கான செயல்முறை அளவுருக்களை மேம்படுத்துவதில் அதிக கவனம் செலுத்தும்.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுCVD SiC தயாரிப்புகள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com