சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகுகள் எவ்வளவு முக்கியம்?

செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில், ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் செதுக்கல் போன்ற முக்கிய செயல்முறை உபகரணங்களைத் தவிர, மற்றொரு வகை அடிப்படை கூறுகள் செயல்முறை நிலைத்தன்மையில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது:செதில் படகு.

குறிப்பாக சமீபத்திய ஆண்டுகளில், உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகள் மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகளின் வளர்ச்சியுடன், சிலிக்கான் கார்பைடால் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் படகுகள் அமைதியாக தொழில்துறை தரமாக மாறி வருகின்றன.

எனவே, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இந்த முக்கியமற்ற கூறு என்ன பங்கு வகிக்கிறது?

01 வேஃபர் படகின் அடிப்படை செயல்பாடுகள்

செதில் படகு என்பது செதில்களைப் பிடிக்கப் பயன்படும் ஒரு செயல்முறை கேரியர் ஆகும், இது முதன்மையாக உயர் வெப்பநிலை செயலாக்க கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், செதில்கள் பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், அனீலிங் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற பல வெப்ப செயலாக்க படிகளுக்கு உட்படுகின்றன. இந்த செயல்முறைகளின் போது, ​​செதில்கள் பொதுவாக உலை குழாய் உபகரணங்களில் தொகுதி-செயலாக்கம் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் செதில் படகு பின்வரும் செயல்பாடுகளை செய்கிறது:

- பல செதில்களை ஆதரித்தல் மற்றும் நிலையான இடைவெளியை பராமரித்தல்

- உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் செதில்களின் நிலை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்தல்

- உபகரணங்களுடன் இணைந்து சீரான வாயு ஓட்டத்தை உறுதி செய்தல்

செதில் படகின் கட்டமைப்பு மற்றும் பொருள் பண்புகள் நேரடியாக வெப்ப புல விநியோகம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கிறது.

02 சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகளின் கட்டமைப்பு பண்புகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள்பொதுவாக ஒரு சட்ட வடிவமைப்பைப் பயன்படுத்துகிறது, இது உயர் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. வழக்கமான அம்சங்கள் அடங்கும்:

- துல்லியமான செதில் பொருத்துதலுக்கான பல அடுக்கு ஸ்லாட் அமைப்பு

- செதில்களுக்கு இடையில் எளிதான வாயு ஓட்டத்திற்கான திறந்த வடிவமைப்பு

- உயர் வெப்பநிலையில் சிதைவு அபாயத்தைக் குறைக்க உயர்-விறைப்பு சட்டகம்

உபகரண வகையைப் பொறுத்து, படகுகள் செங்குத்து அல்லது கிடைமட்ட அமைப்புகளாக வடிவமைக்கப்படலாம் மற்றும் வெவ்வேறு செதில் அளவுகளை ஆதரிக்கலாம் (எ.கா., 6-இன்ச், 8-இன்ச், 12-இன்ச்).

03 பொருள் தேர்வு: ஏன்சிலிக்கான் கார்பைடு?

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக தூய்மையை நோக்கி பரிணமிப்பதால், குவார்ட்ஸ் மற்றும் அலுமினா போன்ற பாரம்பரிய பொருட்கள் பெருகிய முறையில் போதுமானதாக இல்லை. மாறாக, சிலிக்கான் கார்பைடு பல செயல்திறன் பரிமாணங்களில் நன்மைகளை வழங்குகிறது.

1. உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு தோராயமாக 1200℃ முதல் 1400℃ வரையிலான வெப்பநிலை வரம்பில் நல்ல கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது. சில உயர்-தூய்மை அல்லது சிறப்பு செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ், இது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களிலும் பயன்படுத்தப்படலாம். அதிக வெப்பநிலையில் உலோகப் பொருட்களைப் போன்ற உருகும் அல்லது குறிப்பிடத்தக்க மென்மையாக்கும் நிகழ்வுகளை இது வெளிப்படுத்தாது.

2. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில்களுக்கு இடையிலான வெப்பநிலை வேறுபாடுகளைக் குறைக்க உதவுகிறது, இதன் மூலம் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

3. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்: சிலிக்கான் கார்பைடு வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் செயல்முறைகளின் போது செதில்களில் வெப்ப அழுத்தத்தின் தாக்கத்தை குறைக்கிறது.

4. இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை: சிலிக்கான் கார்பைடு பல்வேறு வளிமண்டலங்களில் நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, இதில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் வளிமண்டலங்களைக் குறைத்தல். இருப்பினும், இது இன்னும் அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜன் சூழல்களில் மெதுவான ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்வினைக்கு உட்பட்டு, சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்கும்.

5. பொருள் தூய்மை மற்றும் மாசு கட்டுப்பாடு: செமிகண்டக்டர்-கிரேடு சிலிக்கான் கார்பைடு பொதுவாக செதில் மேற்பரப்பில் மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தைக் குறைக்க கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தைக் கொண்டுள்ளது. வெவ்வேறு செயல்முறை தரங்களில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களுக்கு இடையே குறிப்பிடத்தக்க வேறுபாடுகள் உள்ளன.

04 விண்ணப்பப் பகுதிகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் தற்போது பல துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றுள்:

- ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தியில் வெப்ப செயலாக்கம்

- ஆற்றல் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தி (எ.கா., SiC சாதனங்கள்)

- ஒளிமின்னழுத்த சிலிக்கான் செதில்களின் உயர்-வெப்பநிலை செயலாக்கம்

- குறைக்கடத்தி பொருள் மற்றும் செயல்முறை ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு

அதிக வெப்பநிலை, வலுவான அரிப்பு அல்லது அதிக தூய்மை தேவைப்படும் சூழ்நிலைகளில் அதன் நன்மைகள் இன்னும் அதிகமாக உச்சரிக்கப்படுகின்றன.

செமிகோரெக்ஸ் சலுகைகள்SiC செதில் படகுகள், உலை குழாய்கள், கான்டிலீவர் துடுப்புகள், போன்றவை உயர் வெப்பநிலை உலைகளில். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com