செமிகண்டக்டரில் அலுமினா பீங்கான் கூறுகளின் முக்கிய பயன்பாடுகள்

உலகளாவிய குறைக்கடத்தி உற்பத்தி திறனின் தொடர்ச்சியான விரிவாக்கம் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் இடைவிடாத முன்னேற்றத்தின் பின்னணியில், குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு உபகரணங்கள் இப்போது அதன் முக்கிய கூறுகளிலிருந்து முன்னோடியில்லாத செயல்திறனைக் கோருகின்றன. செதில் செயலாக்கத்தின் போது, ​​உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா குண்டுவீச்சு, அரிக்கும் வாயு அரிப்பு, தீவிர வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் கடுமையான தூய்மைக் கட்டுப்பாடு உள்ளிட்ட பல கடுமையான இயக்க நிலைமைகளுக்கு உபகரண அறைகளின் உட்புறம் வெளிப்படும். பாரம்பரிய உலோக மற்றும் கரிமப் பொருட்களால் அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, உயர்ந்த காப்பு மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு போன்ற பண்புகளின் ஒருங்கிணைந்த தொகுப்பை இனி வழங்க முடியாது.

குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான முன்னணி மேம்பட்ட பீங்கான் என, அலுமினா மட்பாண்டங்கள் செலவு, இயந்திரத்திறன் மற்றும் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் ஆகியவற்றுக்கு இடையே உகந்த சமநிலையைத் தாக்குகின்றன. அதிக கடினத்தன்மை, சிறந்த காப்பு, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் ஆகியவற்றைக் கொண்டு, அவை செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங் மற்றும் ஃபேப்ரிக்கேஷன் உபகரணங்களில் பெரிய அளவு மற்றும் அதிக வலிமை கொண்ட கூறுகளுக்கான கடுமையான தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்கின்றன.

செமிகண்டக்டரில் அலுமினா பீங்கான் கூறுகளின் முக்கிய பயன்பாடுகள்

1. லித்தோகிராஃபி உபகரணங்களில் பயன்பாடுகள்

லித்தோகிராஃபி என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் மிகவும் நுட்பமான செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும், இது இயக்கம் பொருத்துதல் துல்லியம் மற்றும் தூய்மைக்கு மிகவும் கடுமையான தரங்களை விதிக்கிறது. அலுமினா பீங்கான்கள் செதில் சக்ஸ், பீங்கான் நிலைகள், துல்லியம் ஆகியவற்றிற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.ஆயுதங்களைக் கையாளுதல்மற்றும் பிற முக்கிய பாகங்கள்.

செதில் போக்குவரத்துக்காக, ரோபோ ஆயுதங்களை உருவாக்க அலுமினா பீங்கான்கள் ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் கோட்பாட்டளவில் அத்தகைய கூறுகளுக்கு ஏற்றதாக இருந்தாலும், அலுமினா பீங்கான் ஆயுதங்கள் குறைந்த பொருள் செலவுகள் மற்றும் எளிதான எந்திரம் ஆகியவற்றால் சிறந்த செலவு-செயல்திறனை வழங்குகின்றன. செதில் பாலிஷ் செயல்முறைகளில், அலுமினா பீங்கான்கள் மெருகூட்டல் தட்டுகள், கண்டிஷனர் தளங்கள் மற்றும்வெற்றிட சக்கள்.

லித்தோகிராஃபி நிலைகள் மற்றும் செதில் பரிமாற்ற அமைப்புகளின் பொருத்துதல் துல்லியம் மேலடுக்கு துல்லியம் மற்றும் உற்பத்தி விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கிறது. அதன் அதிக விறைப்புத்தன்மை, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சிறந்த அதிர்வு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்கு நன்றி, அலுமினா பீங்கான்கள் இயக்க அமைப்புகளுக்கு அதிக வேகத்தில் நீண்ட கால உயர் துல்லியமான செயல்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது. இதற்கிடையில், பொருள் துகள்கள் இல்லாத செயல்திறன், காந்தமின்மை மற்றும் குறைந்த வாயு வெளியேற்றம் உள்ளிட்ட கடுமையான தூய்மையான அறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.

2. எட்ச்சிங் கருவியில் உள்ள பயன்பாடுகள்

பொறித்தல் என்பது ஒரு முக்கிய குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையாகும், அங்கு உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா செதில் பரப்புகளில் நியமிக்கப்பட்ட பகுதிகளிலிருந்து பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுத்து நீக்குகிறது. அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட ஆலசன் மற்றும் மந்த வாயுக்களால் உருவாக்கப்படும், பிளாஸ்மா செதில்களில் செயல்படுவது மட்டுமல்லாமல், அறை சுவர்கள் மற்றும் முக்கிய கூறுகளுக்கு தொடர்ச்சியான உடல் மற்றும் இரசாயன அரிப்பை ஏற்படுத்துகிறது. இது இரண்டு முக்கிய சிக்கல்களுக்கு வழிவகுக்கிறது: அரிக்கப்பட்ட பாகங்கள் காற்றில் பரவும் துகள்களை உருவாக்குகின்றன, அவை செதில்களுடன் ஒட்டிக்கொள்ளலாம் மற்றும் சிப் ஷார்ட் சர்க்யூட்களை ஏற்படுத்தலாம்; கூடுதலாக, கூறு தேய்மானம் உபகரணங்கள் வயதானதை துரிதப்படுத்துகிறது மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை குறைக்கிறது.

அலுமினா (Al₂O₃) அதிக மின்கடத்தா வலிமை மற்றும் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, தீவிர பிளாஸ்மா வெளிப்பாட்டின் கீழ் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது. இது பிளாஸ்மா பொறித்தல் பாதுகாப்பிற்காக மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களில் ஒன்றாகும். உயர்-தூய்மை அலுமினா பூச்சுகள் மற்றும் திட அலுமினா மட்பாண்டங்கள் பொதுவாக செதுக்கல் அறைகள் மற்றும் உள் கூறுகளைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அறை கட்டமைப்புகளுக்கு அப்பால், அலுமினா மட்பாண்டங்களும் எரிவாயுக்காக ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றனமுனைகள், பிளாஸ்மா செயலாக்க கருவிகளில் எரிவாயு விநியோக தகடுகள் மற்றும் செதில் தக்கவைப்பு வளையங்கள்.

3. CMP உபகரணங்களில் உள்ள பயன்பாடுகள்

கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங்கில் (சிஎம்பி), குழம்பில் உள்ள சிராய்ப்பு துகள்கள் தொடர்ந்து உராய்வு மற்றும் தேய்மானத்தை ஏற்படுத்துகின்றன.பாலிஷ் தட்டுகள்மற்றும் நிலைகள். அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பைக் கருத்தில் கொண்டு, அலுமினா பீங்கான்கள் பீங்கான் பாலிஷ் டேபிள்கள், பாலிஷ் தட்டுகள், லேப்பிங் பிளேட்டுகள் மற்றும் எண்ட்-எஃபெக்டர்களுக்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அலுமினா மெருகூட்டல் அட்டவணைகளின் சிறந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை, செதில்களின் பெரிய தொகுதிகளைச் செயலாக்கிய பிறகு சீரான தட்டையான தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இது சிப் மேற்பரப்பின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டுக்கு முக்கியமானது.

4. செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங்கில் உள்ள பயன்பாடுகள்

குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்கில், அலுமினா மட்பாண்டங்கள் பேக்கேஜிங் அடி மூலக்கூறுகள், வெப்ப மூழ்கிகள் மற்றும் உயர் சக்தி மின்னணு சாதனங்களுக்கான அடிப்படை தட்டுகள் ஆகியவற்றில் பரவலாக உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன. அலுமினா சர்க்யூட் அடி மூலக்கூறுகள் சிறந்த காப்பு, ஒழுக்கமான வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் அதிக இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன, அவை மின்னணு பேக்கேஜிங்கிற்கான முக்கிய தேர்வாக அமைகின்றன. வெற்று சிப் பேக்கேஜிங்கிற்கான அலுமினா கூறுகள் உயர்ந்த வெப்பநிலையிலும் சிறந்த காற்று புகாத தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை வெற்றிட மின்னணு சூழல்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

மேலும், அலுமினா பீங்கான் பாகங்கள் குறைக்கடத்தி பின்-இறுதி உபகரணங்களில் முக்கிய கூறுகளாக செயல்படுகின்றன, அதாவது கம்பி பிணைப்பு இயந்திரங்களுக்கான பீங்கான் நுண்குழாய்கள், பீங்கான் முனைகள் மற்றும் சோதனை கையாளுபவர்களுக்கான ஆய்வு அட்டைகள், இவை அனைத்திற்கும் அதி-உயர் துல்லியம், சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் நம்பகமான மின் காப்பு தேவைப்படுகிறது.