நவீன செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் அனீலிங் செயல்முறைகள்

தொழில்நுட்ப முனைகள் தொடர்ந்து சுருங்கி வருவதால், மிக ஆழமற்ற சந்திப்புகளின் உருவாக்கம் குறிப்பிடத்தக்க சவால்களை அளிக்கிறது. வெப்ப அனீலிங் செயல்முறைகள் உட்படரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ)மற்றும் ஃபிளாஷ் லேம்ப் அனீலிங் (FLA) என்பது முக்கிய உத்திகள் ஆகும், அவை அதிக தூய்மையற்ற செயல்படுத்தும் விகிதங்களை பராமரிக்கின்றன, அதே நேரத்தில் பரவலைக் குறைக்கின்றன, உகந்த சாதன செயல்திறனை உறுதி செய்கின்றன.

1. அல்ட்ரா-ஷாலோ ஜங்ஷன் உருவாக்கம்:

தொழில்நுட்ப முனைகள் சுருங்கும்போது, ​​அல்ட்ரா-ஷாலோ சந்திப்புகளை உருவாக்குவது பெருகிய முறையில் சவாலானது. விரைவான வெப்ப அனீலிங் போன்ற நுட்பங்கள் (ஆர்டிஏ) மற்றும் ஃபிளாஷ் லேம்ப் அனீலிங் (FLA) ஆகியவை அதிக தூய்மையற்ற செயல்படுத்தும் விகிதங்களை அடைவதற்கு முக்கியமானவை, அதே நேரத்தில் பரவலைக் குறைத்து, அதன் மூலம் உகந்த சாதன செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

2. உயர்-கேட் மின்கடத்தா மாற்றம்:

போஸ்ட்-டெபாசிஷன் அனீலிங் (PDA) உயர்-கேட் மின்கடத்தாக்களின் மின் பண்புகளை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. இந்த செயல்முறை கேட் கசிவு நீரோட்டங்களைக் குறைக்கிறது மற்றும் மின்கடத்தா மாறிலிகளை அதிகரிக்கிறது, இது மேம்பட்ட தர்க்கம் மற்றும் நினைவக சாதனங்களுக்கு இன்றியமையாதது.

3. உலோக சிலிசைடுகளின் உருவாக்கம்:

CoSi மற்றும் NiSi போன்ற உலோக சிலிசைடுகளின் மேம்படுத்தல் தொடர்பு மற்றும் மொத்த எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவதற்கு அவசியம். அனீலிங் நிலைமைகளின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு சிறந்த அலாய் கட்டங்களை உருவாக்க உதவுகிறது, ஒட்டுமொத்த சாதனத்தின் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.

4. 3D ஒருங்கிணைப்பு தொழில்நுட்பங்கள்:

3D NAND மற்றும் 3D DRAM போன்ற தொழில்நுட்பங்களில், அனீலிங் செயல்முறைகள் பல அடுக்குகளில் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். ஒவ்வொரு அடுக்கும் உகந்த செயல்திறனை அடைவதை உறுதி செய்வதில் விரைவான வெப்ப நுட்பங்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் அனீலிங் முக்கியமானது, வெப்பநிலை, நேரம் மற்றும் வெப்ப வரவு செலவுத் திட்டங்களின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டின் மூலம் லட்டு சேதத்தை சரிசெய்தல், தூய்மையற்ற செயலாக்கம், பட மாற்றம் மற்றும் உலோக சிலிசைடு உருவாக்கம் ஆகியவற்றை செயல்படுத்துகிறது. தொழில்நுட்ப முனைகள் சுருங்கும்போது, ​​மேம்பட்ட அனீலிங் முறைகள் போன்றவைஆர்டிஏ, FLA மற்றும் லேசர் ஸ்பைக் அனீலிங் ஆகியவை பிரதானமாகிவிட்டன. முன்னோக்கிப் பார்க்கும்போது, ​​வளர்ந்து வரும் பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய அனீலிங் செயல்முறை தொடர்ந்து புதுமையாக இருக்கும்.

Semicorex தொழில்துறையில் முன்னணியில் உள்ளதுஅனீலிங் தீர்வுகள், உங்கள் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் மிக உயர்ந்த செயல்திறன் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்தல்.

உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com