உலர் எட்ச்சிங் மற்றும் வெட் எட்ச்சிங் நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள் என்ன?

1. உலர்ந்த மற்றும் ஈரமான பொறித்தல் என்றால் என்ன?

உலர் எச்சிங் என்பது எந்த திரவத்தையும் உள்ளடக்காத ஒரு நுட்பமாகும், அதற்குப் பதிலாக பிளாஸ்மா அல்லது எதிர்வினை வாயுக்களைப் பயன்படுத்தி திடப் பொருளை செதில் மேற்பரப்பில் பொறிக்க வேண்டும். ஈரமான செதுக்குதலைப் பயன்படுத்த முடியாத DRAM மற்றும் Flash நினைவகம் போன்ற பெரும்பாலான சிப் தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில் இந்த முறை இன்றியமையாதது. ஈரமான செதுக்குதல், மறுபுறம், செதில் மேற்பரப்பில் திடமான பொருளை பொறிக்க திரவ இரசாயன தீர்வுகளைப் பயன்படுத்துகிறது. அனைத்து சிப் தயாரிப்புகளுக்கும் உலகளவில் பொருந்தாது என்றாலும், செதில்-நிலை பேக்கேஜிங், MEMS, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தங்களில் ஈரமான பொறிப்பு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

2. உலர் மற்றும் ஈரமான பொறிப்பின் சிறப்பியல்புகள் என்ன?

முதலில், ஐசோட்ரோபிக் மற்றும் அனிசோட்ரோபிக் எச்சிங் பற்றிய கருத்துக்களை தெளிவுபடுத்துவோம். ஐசோட்ரோபிக் எச்சிங் என்பது ஒரே விமானத்தில் அனைத்து திசைகளிலும் ஒரே மாதிரியாக இருக்கும் ஒரு செதுக்கல் வீதத்தைக் குறிக்கிறது, ஒரு கல்லை அமைதியான நீரில் வீசும்போது சிற்றலைகள் ஒரே மாதிரியாக பரவுகின்றன. அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல் என்பது ஒரே விமானத்தில் வெவ்வேறு திசைகளில் பொறித்தல் விகிதம் மாறுபடும்.

ஈரமான பொறித்தல் ஐசோட்ரோபிக் ஆகும். செதில் செதுக்கும் கரைசலுடன் தொடர்பு கொள்ளும்போது, ​​​​அது கீழ்நோக்கி பொறிக்கிறது, அதே நேரத்தில் பக்கவாட்டு செதுக்குதலையும் ஏற்படுத்துகிறது. இந்த பக்கவாட்டு பொறித்தல் வரையறுக்கப்பட்ட கோட்டின் அகலத்தை பாதிக்கலாம், இது குறிப்பிடத்தக்க பொறித்தல் விலகல்களுக்கு வழிவகுக்கும். எனவே, ஈரமான செதுக்குதல் என்பது 2 மைக்ரோமீட்டருக்கும் குறைவான அம்சங்களுக்குப் பொருத்தமற்றதாக ஆக்குகிறது.

இதற்கு நேர்மாறாக, உலர் பொறித்தல் பொறிப்பு வடிவத்தை மிகவும் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கிறது மற்றும் மேலும் நெகிழ்வான பொறித்தல் முறைகளை வழங்குகிறது. உலர் பொறித்தல் ஐசோட்ரோபிக் மற்றும் அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல் இரண்டையும் அடைய முடியும். அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல் குறுகலான (கோணம் <90 டிகிரி) மற்றும் செங்குத்து சுயவிவரங்களை (கோணம் ≈90 டிகிரி) உருவாக்க முடியும்.

சுருக்கமாக:

1.1 உலர் எட்ச்சிங்கின் நன்மைகள் (எ.கா., RIE)

திசைநிலை: செங்குத்து பக்கச்சுவர்கள் மற்றும் உயர் விகிதங்கள் ஆகியவற்றின் விளைவாக அதிக திசையை அடைய முடியும்.

செலக்டிவிட்டி: குறிப்பிட்ட பொறித்தல் வாயுக்கள் மற்றும் அளவுருக்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம் செதுக்கல் தேர்வை மேம்படுத்தலாம்.

உயர் தெளிவுத்திறன்: சிறந்த அம்சங்கள் மற்றும் ஆழமான அகழி பொறிப்பிற்கு ஏற்றது.

1.2 வெட் எட்ச்சிங்கின் நன்மைகள்

எளிமை மற்றும் செலவு-செயல்திறன்: பொறித்தல் திரவங்கள் மற்றும் உபகரணங்கள் பொதுவாக உலர்ந்த செதுக்கலுக்குப் பயன்படுத்தப்படுவதை விட சிக்கனமானவை.

சீரான தன்மை: முழு செதில் முழுவதும் சீரான பொறிப்பை வழங்குகிறது.

சிக்கலான உபகரணங்கள் தேவையில்லை: பொதுவாக டிப்பிங் குளியல் அல்லது ஸ்பின்-கோட்டிங் உபகரணங்கள் மட்டுமே தேவை.

3. உலர் மற்றும் ஈரமான பொறித்தல் இடையே தேர்வு

முதலாவதாக, சிப் தயாரிப்பின் செயல்முறைத் தேவைகளின் அடிப்படையில், உலர் எச்சிங் மட்டுமே பொறிக்கும் பணியைச் செய்ய முடியும் என்றால், உலர் எச்சிங்கைத் தேர்ந்தெடுக்கவும். உலர் மற்றும் ஈரமான செதுக்கல் இரண்டும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடிந்தால், அதன் செலவு-செயல்திறன் காரணமாக பொதுவாக ஈரமான செதுக்கல் விரும்பப்படுகிறது. கோட்டின் அகலம் அல்லது செங்குத்து/குறுகலான கோணங்களில் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்பட்டால், உலர் எச்சிங்கைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

இருப்பினும், சில சிறப்பு கட்டமைப்புகள் ஈரமான எச்சிங்கைப் பயன்படுத்தி பொறிக்கப்பட வேண்டும். உதாரணமாக, MEMS இல், பொறிக்கப்பட்ட சிலிக்கானின் தலைகீழ் பிரமிடு அமைப்பை ஈரமான பொறித்தல் மூலம் மட்டுமே அடைய முடியும்.**