சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் பயன்பாடுகளின் சுருக்கமான வரலாறு

1. SiC இன் வளர்ச்சி

1893 ஆம் ஆண்டில், SiC இன் கண்டுபிடிப்பாளரான எட்வர்ட் குட்ரிச் அச்செசன், குவார்ட்ஸ் மற்றும் கார்பன் கலவையை மின்சாரம் மூலம் சூடாக்குவதன் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் தொழில்துறை உற்பத்தியைத் தொடங்க, கார்பன் பொருட்களைப் பயன்படுத்தி ஒரு மின்தடை உலையை வடிவமைத்தார். பின்னர் அவர் இந்த கண்டுபிடிப்புக்கான காப்புரிமையை தாக்கல் செய்தார்.

20 ஆம் நூற்றாண்டின் ஆரம்பம் முதல் நடுப்பகுதி வரை, அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பின் காரணமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு முதன்மையாக அரைக்கும் மற்றும் வெட்டும் கருவிகளில் சிராய்ப்புப் பொருளாகப் பயன்படுத்தப்பட்டது.

1950 மற்றும் 1960 களின் வருகையுடன்இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) தொழில்நுட்பம், யுனைடெட் ஸ்டேட்ஸில் உள்ள பெல் லேப்ஸில் உள்ள ருஸ்டம் ராய் போன்ற விஞ்ஞானிகள் CVD SiC தொழில்நுட்பத்தில் ஆராய்ச்சிக்கு முன்னோடியாக இருந்தனர். அவர்கள் SiC நீராவி படிவு செயல்முறைகளை உருவாக்கினர் மற்றும் அதன் பண்புகள் மற்றும் பயன்பாடுகளில் பூர்வாங்க ஆய்வுகளை நடத்தினர், இதன் முதல் படிவுகளை அடைந்தனர்.கிராஃபைட் பரப்புகளில் SiC பூச்சுகள். இந்த வேலை SiC பூச்சு பொருட்களின் CVD தயாரிப்பிற்கு ஒரு முக்கியமான அடித்தளத்தை அமைத்தது.

1963 ஆம் ஆண்டில், பெல் லேப்ஸ் ஆராய்ச்சியாளர்கள் ஹோவர்ட் வாச்டெல் மற்றும் ஜோசப் வெல்ஸ் ஆகியோர் சிவிடி இன்கார்பரேட்டட் நிறுவனத்தை நிறுவினர், இது SiC மற்றும் பிற பீங்கான் பூச்சு பொருட்களுக்கான இரசாயன நீராவி படிவு தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்துகிறது. 1974 இல், அவர்கள் முதல் தொழில்துறை உற்பத்தியை அடைந்தனர்சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்கள். இந்த மைல்கல் கிராஃபைட் பரப்புகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் தொழில்நுட்பத்தில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கிறது, குறைக்கடத்திகள், ஒளியியல் மற்றும் விண்வெளி போன்ற துறைகளில் அவற்றின் பரவலான பயன்பாட்டிற்கு வழி வகுத்தது.

1970 களில், யூனியன் கார்பைடு கார்ப்பரேஷன் (இப்போது டவ் கெமிக்கலின் முழுச் சொந்தமான துணை நிறுவனம்) ஆராய்ச்சியாளர்கள் முதலில் விண்ணப்பித்தனர்.சிலிக்கான் கார்பைடு-பூசிய கிராஃபைட் தளங்கள்காலியம் நைட்ரைடு (GaN) போன்ற குறைக்கடத்தி பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் இந்த தொழில்நுட்பம் உயர் செயல்திறன் உற்பத்திக்கு முக்கியமானதுGaN அடிப்படையிலான LEDகள்(ஒளி-உமிழும் டையோட்கள்) மற்றும் லேசர்கள், அடுத்தடுத்து அடித்தளம் அமைக்கிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி தொழில்நுட்பம்மற்றும் செமிகண்டக்டர் துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களைப் பயன்படுத்துவதில் குறிப்பிடத்தக்க மைல்கல்லாக மாறியது.

1980 களில் இருந்து 21 ஆம் நூற்றாண்டின் முற்பகுதி வரை, உற்பத்தி தொழில்நுட்பங்களின் முன்னேற்றங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் தொழில்துறை மற்றும் வணிக பயன்பாடுகளை விண்வெளியில் இருந்து வாகனம், ஆற்றல் மின்னணுவியல், குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு பூச்சுகளாக பல்வேறு தொழில்துறை கூறுகளை விரிவுபடுத்தியது.

21 ஆம் நூற்றாண்டின் முற்பகுதியில் இருந்து தற்போது வரை, வெப்ப தெளித்தல், PVD மற்றும் நானோ தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி புதிய பூச்சு தயாரிப்பு முறைகளை அறிமுகப்படுத்தியுள்ளது. பொருள் செயல்திறனை மேலும் மேம்படுத்த ஆராய்ச்சியாளர்கள் நானோ அளவிலான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை ஆராய்ந்து உருவாக்கத் தொடங்கினர்.

சுருக்கமாக, தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம்CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்கடந்த சில தசாப்தங்களாக ஆய்வக ஆராய்ச்சியிலிருந்து தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்கு மாறியுள்ளது, தொடர்ச்சியான முன்னேற்றம் மற்றும் முன்னேற்றங்களை அடைகிறது.

2. SiC படிக அமைப்பு மற்றும் பயன்பாட்டு புலங்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு 200க்கும் மேற்பட்ட பாலிடைப்களைக் கொண்டுள்ளது, முதன்மையாக கார்பன் மற்றும் சிலிக்கான் அணுக்களை அடுக்கி வைப்பதன் அடிப்படையில் மூன்று முக்கிய குழுக்களாக வகைப்படுத்தப்பட்டுள்ளது: கனசதுரம் (3C), அறுகோண (H) மற்றும் ரோம்போஹெட்ரல் ®. பொதுவான எடுத்துக்காட்டுகளில் 2H-SiC, 3C-SiC, 4H-SiC, 6H-SiC மற்றும் 15R-SiC ஆகியவை அடங்கும். இவற்றை இரண்டு முக்கிய வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்:

படம் 1: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் படிக அமைப்பு

α-SiC:இது உயர் வெப்பநிலை நிலையான அமைப்பு மற்றும் இயற்கையில் காணப்படும் அசல் கட்டமைப்பு வகை.

β-SiC:இது குறைந்த வெப்பநிலை நிலையான அமைப்பாகும், இது சிலிக்கான் மற்றும் கார்பனை சுமார் 1450°C இல் வினைபுரிவதன் மூலம் உருவாக்கப்படும். β-SiC ஆனது 2100-2400°C வெப்பநிலையில் α-SiC ஆக மாறலாம்.

வெவ்வேறு SiC பாலிடைப்கள் வெவ்வேறு பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, α-SiC இல் உள்ள 4H-SiC உயர்-சக்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்கு ஏற்றது, அதே சமயம் 6H-SiC மிகவும் நிலையான வகையாகும், மேலும் இது ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. β-SiC, RF சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படுவதைத் தவிர, அதிக வெப்பநிலை, அதிக உடைகள் மற்றும் அதிக அரிக்கும் சூழல்களில் ஒரு மெல்லிய படமாகவும் பூச்சுப் பொருளாகவும் முக்கியமானது, இது பாதுகாப்பு செயல்பாடுகளை வழங்குகிறது. α-SiC ஐ விட β-SiC பல நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:

(1)அதன் வெப்ப கடத்துத்திறன் 120-200 W/m·K இடையே உள்ளது, இது α-SiC இன் 100-140 W/m·K ஐ விட கணிசமாக அதிகமாகும்.

(2) β-SiC அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது.

(3) அரிப்பு எதிர்ப்பின் அடிப்படையில், α-SiC ஆக்சிஜனேற்றம் அல்லாத மற்றும் லேசான அமில சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்படும் போது, ​​β-SiC ஆனது அதிக தீவிரமான ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் வலுவான கார நிலைமைகளின் கீழ் நிலையானதாக உள்ளது, பரந்த அளவிலான இரசாயன சூழல்களில் அதன் உயர்ந்த அரிப்பு எதிர்ப்பை நிரூபிக்கிறது. .

கூடுதலாக, β-SiC இன் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் கிராஃபைட்டுடன் நெருக்கமாகப் பொருந்துகிறது, இது இந்த ஒருங்கிணைந்த பண்புகளின் காரணமாக வேஃபர் எபிடாக்ஸி கருவிகளில் கிராஃபைட் தளங்களில் மேற்பரப்பு பூச்சுகளுக்கு விருப்பமான பொருளாக அமைகிறது.

3. SiC பூச்சுகள் மற்றும் தயாரிப்பு முறைகள்

(1) SiC பூச்சுகள்

SiC பூச்சுகள் β-SiC இலிருந்து உருவாகும் மெல்லிய படங்களாகும், இது பல்வேறு பூச்சு அல்லது படிவு செயல்முறைகள் மூலம் அடி மூலக்கூறு பரப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த பூச்சுகள் பொதுவாக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்திறன் ஆகியவற்றை அதிகரிக்க பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் மட்பாண்டங்கள், உலோகங்கள், கண்ணாடி மற்றும் பிளாஸ்டிக் போன்ற பல்வேறு அடி மூலக்கூறுகளில் பரந்த பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை விண்வெளி, வாகன உற்பத்தி, மின்னணுவியல் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

படம் 2: கிராஃபைட் மேற்பரப்பில் SiC பூச்சுகளின் குறுக்கு வெட்டு நுண் கட்டமைப்பு

(2)  தயாரிப்பு முறைகள்

SiC பூச்சுகளை தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறைகள் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD), தெளித்தல் நுட்பங்கள், மின்வேதியியல் படிவு மற்றும் குழம்பு பூச்சு சின்டரிங் ஆகியவை அடங்கும்.

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD):

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை தயாரிப்பதற்கு CVD என்பது பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறைகளில் ஒன்றாகும். CVD செயல்பாட்டின் போது, ​​சிலிக்கான் மற்றும் கார்பன் கொண்ட முன்னோடி வாயுக்கள் ஒரு எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன, அங்கு அவை சிலிக்கான் மற்றும் கார்பன் அணுக்களை உருவாக்க அதிக வெப்பநிலையில் சிதைகின்றன. இந்த அணுக்கள் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்பட்டு சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை உருவாக்குகின்றன. வாயு ஓட்ட விகிதம், படிவு வெப்பநிலை, படிவு அழுத்தம் மற்றும் நேரம் போன்ற முக்கிய செயல்முறை அளவுருக்களை கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், தடிமன், ஸ்டோச்சியோமெட்ரி, தானிய அளவு, படிக அமைப்பு மற்றும் பூச்சுகளின் நோக்குநிலை ஆகியவை குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யத் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்படலாம். இந்த முறையின் மற்றொரு நன்மை, பெரிய மற்றும் சிக்கலான வடிவ அடி மூலக்கூறுகளை நல்ல ஒட்டுதல் மற்றும் நிரப்புதல் திறன்களுடன் பூசுவதற்கு ஏற்றது. இருப்பினும், CVD செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் முன்னோடிகள் மற்றும் துணை தயாரிப்புகள் பெரும்பாலும் எரியக்கூடிய மற்றும் அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை, உற்பத்தியை அபாயகரமானதாக ஆக்குகிறது. கூடுதலாக, மூலப்பொருள் பயன்பாட்டு விகிதம் ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக உள்ளது, மேலும் தயாரிப்பு செலவுகள் அதிகம்.

உடல் நீராவி படிவு (PVD):

PVD என்பது வெப்ப ஆவியாதல் அல்லது அதிக வெற்றிடத்தின் கீழ் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் போன்ற இயற்பியல் முறைகளைப் பயன்படுத்தி உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களை ஆவியாகி, அவற்றை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒடுக்கி, மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த முறையானது பூச்சுகளின் தடிமன் மற்றும் கலவையின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது, கட்டிங் டூல் பூச்சுகள், பீங்கான் பூச்சுகள், ஆப்டிகல் பூச்சுகள் மற்றும் வெப்ப தடுப்பு பூச்சுகள் போன்ற உயர்-துல்லியமான பயன்பாடுகளுக்கு பொருத்தமான அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது. இருப்பினும், சிக்கலான வடிவ கூறுகளில், குறிப்பாக இடைவெளிகள் அல்லது நிழலான பகுதிகளில், சீரான கவரேஜை அடைவது சவாலானது. கூடுதலாக, பூச்சு மற்றும் அடி மூலக்கூறு இடையே ஒட்டுதல் போதுமானதாக இருக்காது. விலையுயர்ந்த உயர்-வெற்றிட அமைப்புகள் மற்றும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டு கருவிகளின் தேவை காரணமாக PVD உபகரணங்கள் விலை உயர்ந்தவை. மேலும், படிவு விகிதம் மெதுவாக உள்ளது, இதன் விளைவாக குறைந்த உற்பத்தி திறன் உள்ளது, இது பெரிய அளவிலான தொழில்துறை உற்பத்திக்கு பொருந்தாது.

தெளிக்கும் நுட்பம்:

இது திரவப் பொருட்களை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் தெளிப்பது மற்றும் ஒரு பூச்சு உருவாக்க குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில் அவற்றைக் குணப்படுத்துகிறது. இந்த முறை எளிமையானது மற்றும் செலவு குறைந்ததாகும், ஆனால் இதன் விளைவாக வரும் பூச்சுகள் பொதுவாக அடி மூலக்கூறில் பலவீனமான ஒட்டுதல், மோசமான சீரான தன்மை, மெல்லிய பூச்சுகள் மற்றும் குறைந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை வெளிப்படுத்துகின்றன, பெரும்பாலும் செயல்திறனை மேம்படுத்த துணை முறைகள் தேவைப்படுகின்றன.

மின் வேதியியல் படிவு:

இந்த நுட்பம் ஒரு கரைசலில் இருந்து அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் கார்பைடை வைப்பதற்கு மின்வேதியியல் எதிர்வினைகளைப் பயன்படுத்துகிறது. மின்முனைத் திறன் மற்றும் முன்னோடி கரைசலின் கலவை ஆகியவற்றைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், சீரான பூச்சு வளர்ச்சியை அடைய முடியும். இந்த முறையில் தயாரிக்கப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் இரசாயன/உயிரியல் உணரிகள், ஒளிமின்னழுத்த சாதனங்கள், லித்தியம்-அயன் பேட்டரிகளுக்கான மின்முனைப் பொருட்கள் மற்றும் அரிப்பை-எதிர்ப்பு பூச்சுகள் போன்ற குறிப்பிட்ட துறைகளில் பொருந்தும்.

ஸ்லரி பூச்சு மற்றும் சின்டரிங்:

இந்த முறையானது ஒரு குழம்பு உருவாக்குவதற்கு பைண்டர்களுடன் பூச்சுப் பொருளைக் கலந்து, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒரே மாதிரியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உலர்த்திய பிறகு, பூசப்பட்ட பணிப்பகுதியானது அதிக வெப்பநிலையில் ஒரு மந்தமான வளிமண்டலத்தில் தேவையான பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது. அதன் நன்மைகள் எளிமையான மற்றும் எளிதான செயல்பாடு மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய பூச்சு தடிமன் ஆகியவை அடங்கும், ஆனால் பூச்சு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையிலான பிணைப்பு வலிமை பெரும்பாலும் பலவீனமாக இருக்கும். பூச்சுகள் மோசமான வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு, குறைந்த சீரான தன்மை மற்றும் சீரற்ற செயல்முறைகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை வெகுஜன உற்பத்திக்கு பொருந்தாது.

ஒட்டுமொத்தமாக, பொருத்தமான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்பு முறையைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு, செயல்திறன் தேவைகள், அடி மூலக்கூறு பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு சூழ்நிலையின் அடிப்படையில் செலவுகள் ஆகியவற்றின் விரிவான பரிசீலனை தேவைப்படுகிறது.

4. SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள்

SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள் முக்கியமானவைமெட்டல் ஆர்கானிக் கெமிக்கல் நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) செயல்முறைகள், செமிகண்டக்டர்கள், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் பிற பொருள் அறிவியல் துறைகளில் மெல்லிய படங்கள் மற்றும் பூச்சுகளை தயாரிப்பதற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு நுட்பம்.

படம் 3

5. MOCVD உபகரணங்களில் SiC-கோடட் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளின் செயல்பாடுகள்

SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள் உலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்முறைகளில் முக்கியமானவை, இது குறைக்கடத்திகள், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் பிற பொருள் அறிவியல் துறைகளில் மெல்லிய படலங்கள் மற்றும் பூச்சுகளை தயாரிப்பதற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

படம் 4:  Semicorex CVD உபகரணங்கள்

துணை கேரியர்:MOCVD இல், செமிகண்டக்டர் பொருட்கள் செதில் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் அடுக்காக வளர்ந்து, குறிப்பிட்ட பண்புகள் மற்றும் கட்டமைப்புகளுடன் மெல்லிய படங்களை உருவாக்குகின்றன.SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கேரியர்ஒரு ஆதரவு கேரியராக செயல்படுகிறது, இது ஒரு வலுவான மற்றும் நிலையான தளத்தை வழங்குகிறதுஎபிடாக்ஸிகுறைக்கடத்தி மெல்லிய படலங்கள். SiC பூச்சுகளின் சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் அடி மூலக்கூறின் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது, அரிக்கும் வாயுக்களுடன் எதிர்வினைகளை குறைக்கிறது, மேலும் வளர்ந்த குறைக்கடத்தி படங்களின் உயர் தூய்மை மற்றும் நிலையான பண்புகள் மற்றும் கட்டமைப்புகளை உறுதி செய்கிறது. MOCVD உபகரணங்களில் GaN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள், ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள் (பிளாட் அடி மூலக்கூறுகள், சுற்று அடி மூலக்கூறுகள், முப்பரிமாண அடி மூலக்கூறுகள்) மற்றும் SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள் ஆகியவை எடுத்துக்காட்டுகளில் அடங்கும்.SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி.

வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு:MOCVD செயல்முறை உயர்-வெப்பநிலை எதிர்வினைகள் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற வாயுக்களை உள்ளடக்கியிருக்கலாம். SiC பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கு கூடுதல் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற பாதுகாப்பை வழங்குகிறது, அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் தோல்வி அல்லது ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கிறது. மெல்லிய பட வளர்ச்சியின் நிலைத்தன்மையைக் கட்டுப்படுத்தவும் பராமரிக்கவும் இது முக்கியமானது.

பொருள் இடைமுகம் மற்றும் மேற்பரப்பு பண்புகள் கட்டுப்பாடு:SiC பூச்சு படம் மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையிலான தொடர்புகளை பாதிக்கலாம், வளர்ச்சி முறைகள், லேட்டிஸ் பொருத்தம் மற்றும் இடைமுகத் தரத்தை பாதிக்கிறது. SiC பூச்சுகளின் பண்புகளை சரிசெய்வதன் மூலம், மிகவும் துல்லியமான பொருள் வளர்ச்சி மற்றும் இடைமுகக் கட்டுப்பாட்டை அடைய முடியும், இதன் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறதுஎபிடாக்சியல் படங்கள்.

தூய்மையற்ற மாசுபாட்டைக் குறைத்தல்:SiC பூச்சுகளின் உயர் தூய்மையானது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளிலிருந்து தூய்மையற்ற மாசுபாட்டைக் குறைக்கும்,வளர்ந்த எபிடாக்சியல் படங்கள்தேவையான உயர் தூய்மை வேண்டும். குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு இது இன்றியமையாதது.

படம் 5: செமிகோரெக்ஸ்SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஏற்பிஎபிடாக்ஸியில் வேஃபர் கேரியராக

சுருக்கமாக,SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள்MOCVD செயல்முறைகளில் சிறந்த அடிப்படை ஆதரவு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இடைமுகக் கட்டுப்பாட்டை வழங்குதல், உயர்தரத்தின் வளர்ச்சி மற்றும் தயாரிப்பை ஊக்குவிக்கிறதுஎபிடாக்சியல் படங்கள்.

6. முடிவு மற்றும் அவுட்லுக்

தற்போது, ​​சீனாவில் உள்ள ஆராய்ச்சி நிறுவனங்கள் உற்பத்தி செயல்முறைகளை மேம்படுத்த அர்ப்பணித்துள்ளனசிலிக்கான் கார்பைடு-பூசிய கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள், பூச்சு தூய்மை மற்றும் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துதல் மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளை குறைக்கும் போது SiC பூச்சுகளின் தரம் மற்றும் ஆயுட்காலம் அதிகரிக்கும். அதே நேரத்தில், உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்த சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளுக்கான அறிவார்ந்த உற்பத்தி செயல்முறைகளை அடைவதற்கான வழிகளை அவர்கள் ஆராய்கின்றனர். தொழில்மயமாக்கலில் முதலீடுகள் அதிகரித்து வருகின்றனசிலிக்கான் கார்பைடு-பூசிய கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள், சந்தை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய உற்பத்தி அளவு மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துதல். சமீபத்தில், ஆராய்ச்சி நிறுவனங்கள் மற்றும் தொழில்கள் புதிய பூச்சு தொழில்நுட்பங்களை தீவிரமாக ஆராய்ந்து வருகின்றன.கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களில் TaC பூச்சுகள், வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்த.**

செமிகோரெக்ஸ் CVD SiC- பூசப்பட்ட பொருட்களுக்கான உயர்தர கூறுகளை வழங்குகிறது. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், எங்களைத் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com