2024-03-18
மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சியின் செயல்முறை முக்கியமாக ஒரு வெப்பப் புலத்தில் நிகழ்கிறது, அங்கு வெப்ப சூழலின் தரம் படிக தரம் மற்றும் வளர்ச்சி செயல்திறனை கணிசமாக பாதிக்கிறது. உலை அறைக்குள் வெப்பநிலை சாய்வு மற்றும் வாயு ஓட்ட இயக்கவியலை வடிவமைப்பதில் வெப்ப புலத்தின் வடிவமைப்பு முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. மேலும், வெப்பப் புலத்தை நிர்மாணிப்பதில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள் அதன் ஆயுட்காலம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கின்றன.
வெப்ப புல வடிவமைப்பின் முக்கியத்துவம்
நன்கு வடிவமைக்கப்பட்ட வெப்பப் புலமானது செமிகண்டக்டர் உருகுவதற்கும் படிக வளர்ச்சிக்கும் பொருத்தமான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இதனால் உயர்தர மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் உற்பத்தியை எளிதாக்குகிறது. மாறாக, போதுமான அளவில் வடிவமைக்கப்பட்ட வெப்பப் புலங்கள் படிகங்கள் தரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யத் தவறிவிடுகின்றன அல்லது சில சமயங்களில் முழுமையான ஒற்றைப் படிகங்களின் வளர்ச்சியைத் தடுக்கின்றன.
வெப்ப புலப் பொருட்களின் தேர்வு
வெப்ப புலப் பொருட்கள் என்பது படிக வளர்ச்சி உலை அறைக்குள் உள்ள கட்டமைப்பு மற்றும் இன்சுலேடிங் கூறுகளைக் குறிக்கிறது. பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் காப்பு பொருட்கள் மத்தியில் உள்ளதுகார்பன் உணர்ந்தேன், திறம்பட வெப்ப கதிர்வீச்சைத் தடுக்கும் மெல்லிய இழைகளால் ஆனது, அதன் மூலம் காப்பு வழங்குகிறது.கார்பன் உணர்ந்தேன்பொதுவாக மெல்லிய தாள் போன்ற பொருட்களில் நெய்யப்படுகிறது, பின்னர் அவை விரும்பிய வடிவங்களில் வெட்டப்பட்டு பகுத்தறிவு ஆரங்களுக்கு ஏற்றவாறு வளைக்கப்படுகின்றன.
மற்றொரு பரவலான காப்புப் பொருள் குணப்படுத்தப்பட்டது, இது ஒத்த இழைகளைக் கொண்டது, ஆனால் கார்பன்-கொண்ட பைண்டர்களைப் பயன்படுத்தி சிதறடிக்கப்பட்ட இழைகளை ஒரு வலுவான, கட்டமைக்கப்பட்ட வடிவத்தில் ஒருங்கிணைக்கிறது. பைண்டர்களுக்குப் பதிலாக கார்பனின் இரசாயன நீராவி படிவுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், பொருளின் இயந்திர பண்புகளை மேலும் மேம்படுத்தலாம்.
வெப்ப புல கூறுகளை மேம்படுத்துதல்
பொதுவாக, இன்சுலேடிங் குணப்படுத்தப்பட்ட ஃபெல்ட்கள் கிராஃபைட் அல்லது தொடர்ச்சியான அடுக்குடன் பூசப்பட்டிருக்கும்படலம்அவற்றின் வெளிப்புற மேற்பரப்பில் அரிப்பு, தேய்மானம் மற்றும் துகள்கள் மாசுபடுதல் ஆகியவற்றைக் குறைக்கும். கார்பன் நுரை போன்ற மற்ற வகையான கார்பன் அடிப்படையிலான இன்சுலேடிங் பொருட்களும் உள்ளன. பொதுவாக, கிராஃபிடைஸ் செய்யப்பட்ட பொருட்கள் அவற்றின் குறிப்பிடத்தக்க அளவு குறைக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு காரணமாக விரும்பப்படுகின்றன, இது வாயு வெளியேற்றம் குறைவதற்கு வழிவகுக்கிறது மற்றும் உலையில் சரியான வெற்றிட அளவை அடைவதற்கு குறைந்த நேரம் தேவைப்படுகிறது. மற்றொரு மாற்றுC/C கலவைபொருட்கள், அவற்றின் இலகுரக, அதிக சேத சகிப்புத்தன்மை மற்றும் வலிமைக்கு பெயர் பெற்றவை. உடன் கிராஃபைட் கூறுகளை மாற்றுதல்C/C கலவைவெப்பத் துறையில் கிராஃபைட் கூறுகளை மாற்றுவதற்கான அதிர்வெண்ணைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் மோனோகிரிஸ்டல் தரம் மற்றும் உற்பத்தி நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.