SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர் என்றால் என்ன?

அறிமுகப்படுத்தும் வகையில்SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ரிசீவர், அதன் பயன்பாட்டைப் புரிந்துகொள்வது முக்கியம். சாதனங்களை உற்பத்தி செய்யும் போது, ​​சில செதில் அடி மூலக்கூறுகளில் மேலும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் கட்டப்பட வேண்டும். உதாரணமாக, LED ஒளி-உமிழும் சாதனங்களுக்கு சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளில் GaAs எபிடாக்சியல் அடுக்குகளைத் தயாரிக்க வேண்டும்; SiC அடி மூலக்கூறுகளில் SiC அடுக்கு வளர்ச்சி தேவைப்படும் போது, ​​உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் உயர் மின்னோட்டம் போன்ற சக்தி பயன்பாடுகளுக்கான சாதனங்களை உருவாக்க எபிடாக்சியல் லேயர் உதவுகிறது, உதாரணமாக SBD, MOSFET போன்றவை. மாறாக, GaN எபிடாக்சியல் அடுக்கு அரை-இன்சுலேடிங் SiC இல் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது. தகவல்தொடர்புகள் போன்ற ரேடியோ அலைவரிசை பயன்பாடுகளுக்கு ஹெச்இஎம்டி போன்ற சாதனங்களை மேலும் உருவாக்க அடி மூலக்கூறு. இதைச் செய்ய, ஏCVD உபகரணங்கள்(மற்ற தொழில்நுட்ப முறைகளில்) தேவை. இந்த உபகரணமானது III மற்றும் II குழு உறுப்புகள் மற்றும் V மற்றும் VI குழு கூறுகளை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வளர்ச்சி மூலப் பொருட்களாக வைக்க முடியும்.

இல்CVD உபகரணங்கள், அடி மூலக்கூறை நேரடியாக உலோகத்தில் வைக்க முடியாது அல்லது எபிடாக்சியல் படிவுக்கான அடித்தளத்தில் வைக்க முடியாது. ஏனென்றால், வாயு ஓட்டத்தின் திசை (கிடைமட்ட, செங்குத்து), வெப்பநிலை, அழுத்தம், நிர்ணயம், அசுத்தங்கள் உதிர்தல், முதலியன அனைத்தும் செயல்முறையை பாதிக்கக்கூடிய அனைத்து காரணிகளாகும். எனவே, அடி மூலக்கூறு வட்டில் வைக்கப்படும் இடத்தில் ஒரு சசெப்டர் தேவைப்படுகிறது, பின்னர் அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சியல் படிவு செய்ய CVD தொழில்நுட்பம் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த susceptor ஒரு SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் ஆகும் (இது தட்டு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது).

திகிராஃபைட் ரிசீவர்இல் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்MOCVD உபகரணங்கள். இது அடி மூலக்கூறின் கேரியர் மற்றும் வெப்பமூட்டும் உறுப்பாக செயல்படுகிறது. அதன் வெப்ப நிலைத்தன்மை, சீரான தன்மை மற்றும் பிற செயல்திறன் அளவுருக்கள் எபிடாக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தை நிர்ணயிக்கும் முக்கிய காரணிகளாகும், மேலும் மெல்லிய படப் பொருளின் சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை நேரடியாக பாதிக்கிறது. எனவே, தரம்கிராஃபைட் ரிசீவர்எபிடாக்சியல் செதில்களை தயாரிப்பதில் முக்கியமானது. இருப்பினும், சஸ்பெப்டரின் நுகர்வு தன்மை மற்றும் மாறிவரும் வேலை நிலைமைகள் காரணமாக, அது எளிதில் இழக்கப்படுகிறது.

கிராஃபைட் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது ஒரு சிறந்த அடிப்படை அங்கமாக அமைகிறதுMOCVD உபகரணங்கள். இருப்பினும், தூய கிராஃபைட் சில சவால்களை எதிர்கொள்கிறது. உற்பத்தியின் போது, ​​எஞ்சியிருக்கும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் உலோக கரிமப் பொருட்கள், சஸ்செப்டரை அரித்து, தூளாக்கச் செய்து, அதன் சேவை வாழ்க்கையை வெகுவாகக் குறைக்கும். கூடுதலாக, விழும் கிராஃபைட் தூள் சிப்புக்கு மாசுவை ஏற்படுத்தும். எனவே, அடித்தளத்தின் தயாரிப்பு செயல்பாட்டின் போது இந்த சிக்கல்கள் தீர்க்கப்பட வேண்டும்.

பூச்சு தொழில்நுட்பம் என்பது ஒரு செயல்முறையாகும், இது மேற்பரப்பில் தூளை சரிசெய்யவும், வெப்ப கடத்துத்திறனை அதிகரிக்கவும், வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்கவும் பயன்படுகிறது. இந்த சிக்கலை தீர்க்க இந்த தொழில்நுட்பம் முதன்மையான வழியாக மாறியுள்ளது. பயன்பாட்டு சூழல் மற்றும் கிராஃபைட் தளத்தின் பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பொறுத்து, மேற்பரப்பு பூச்சு பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்:

1. அதிக அடர்த்தி மற்றும் முழு மடக்குதல்: கிராஃபைட் தளம் அதிக வெப்பநிலை, அரிக்கும் வேலை சூழலில் உள்ளது, மேலும் மேற்பரப்பு முழுமையாக மூடப்பட்டிருக்க வேண்டும். நல்ல பாதுகாப்பை வழங்க பூச்சு நல்ல அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

2. நல்ல மேற்பரப்பு தட்டையானது: ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் தளத்திற்கு அதிக மேற்பரப்பு தட்டையானது தேவைப்படுவதால், பூச்சு தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு அடித்தளத்தின் அசல் தட்டையான தன்மை பராமரிக்கப்பட வேண்டும். இதன் பொருள் பூச்சு மேற்பரப்பு ஒரே மாதிரியாக இருக்க வேண்டும்.

3. நல்ல பிணைப்பு வலிமை: கிராஃபைட் தளத்திற்கும் பூச்சுப் பொருளுக்கும் இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைப்பது இரண்டிற்கும் இடையே உள்ள பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தும். அதிக மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை வெப்ப சுழற்சிகளை அனுபவித்த பிறகு, பூச்சு வெடிக்க எளிதானது அல்ல.

4. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: உயர்தர சிப் வளர்ச்சிக்கு கிராஃபைட் தளத்திலிருந்து வேகமான மற்றும் சீரான வெப்பம் தேவைப்படுகிறது. எனவே, பூச்சு பொருள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

5. அதிக உருகுநிலை, ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு: பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நிலையாக வேலை செய்ய முடியும்.

தற்போது,சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயு சூழல்களில் அதன் விதிவிலக்கான செயல்திறன் காரணமாக, கிராஃபைட்டை பூசுவதற்கு விருப்பமான பொருளாகும். மேலும், கிராஃபைட்டுடன் அதன் நெருக்கமான வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் வலுவான பிணைப்புகளை உருவாக்க உதவுகிறது. கூடுதலாக,டான்டலம் கார்பைடு(TaC) பூச்சுஇது ஒரு நல்ல தேர்வாகும், மேலும் இது அதிக வெப்பநிலை (>2000℃) சூழல்களில் நிற்கும்.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுSiCமற்றும்TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com