SiC எபிடாக்ஸி

எபிடாக்ஸியில் இரண்டு வகைகள் உள்ளன: ஒரேவிதமான மற்றும் பன்முகத்தன்மை. வெவ்வேறு பயன்பாடுகளுக்கான குறிப்பிட்ட எதிர்ப்பு மற்றும் பிற அளவுருக்கள் கொண்ட SiC சாதனங்களை உருவாக்க, உற்பத்தி தொடங்கும் முன் அடி மூலக்கூறு எபிடாக்ஸியின் நிபந்தனைகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும். எபிடாக்ஸியின் தரம் சாதனத்தின் செயல்திறனை பாதிக்கிறது.

தற்போது இரண்டு முக்கிய எபிடாக்சியல் முறைகள் உள்ளன. முதலாவது ஒரே மாதிரியான எபிடாக்ஸி ஆகும், இதில் SiC படம் கடத்தும் SiC அடி மூலக்கூறில் வளர்க்கப்படுகிறது. இது முதன்மையாக MOSFET, IGBT மற்றும் பிற உயர் மின்னழுத்த சக்தி குறைக்கடத்தி புலங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இரண்டாவது ஹீட்டோரோபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, அங்கு GaN படம் அரை-இன்சுலேடிங் SiC அடி மூலக்கூறில் வளர்க்கப்படுகிறது. இது GaN HEMT மற்றும் பிற குறைந்த மற்றும் நடுத்தர மின்னழுத்த ஆற்றல் குறைக்கடத்திகள், அத்துடன் ரேடியோ அலைவரிசை மற்றும் ஒளியியல் சாதனங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பதங்கமாதல் அல்லது உடல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT), மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி (MBE), திரவ நிலை எபிடாக்ஸி (LPE) மற்றும் இரசாயன நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி (CVD) ஆகியவை அடங்கும். முதன்மையான SiC ஒரே மாதிரியான எபிடாக்சியல் உற்பத்தி முறை H2 ஐ ஒரு கேரியர் வாயுவாகப் பயன்படுத்துகிறது, சிலேன் (SiH4) மற்றும் புரொப்பேன் (C3H8) ஆகியவை Si மற்றும் C. SiC மூலக்கூறுகள் மழைப்பொழிவு அறையில் இரசாயன எதிர்வினை மூலம் உற்பத்தி செய்யப்பட்டு SiC அடி மூலக்கூறில் வைக்கப்படுகின்றன. .

SiC எபிடாக்ஸியின் முக்கிய அளவுருக்கள் தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு சீரான தன்மை ஆகியவை அடங்கும். கீழ்நிலை சாதன பயன்பாட்டு சூழ்நிலை மின்னழுத்தம் அதிகரிக்கும் போது, ​​எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தடிமன் படிப்படியாக அதிகரிக்கிறது மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு குறைகிறது.

SiC திறன் கட்டுமானத்தில் ஒரு கட்டுப்படுத்தும் காரணி எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள் ஆகும். எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உபகரணங்கள் தற்போது இத்தாலியின் LPE, ஜெர்மனியின் AIXTRON மற்றும் ஜப்பானின் Nuflare மற்றும் TEL ஆகியவற்றால் ஏகபோகமாக உள்ளது. முக்கிய SiC உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் உபகரண விநியோக சுழற்சி சுமார் 1.5-2 ஆண்டுகளாக நீட்டிக்கப்பட்டுள்ளது.

Semicorex ஆனது, LPE, Aixtron போன்ற செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுக்கான SiC பாகங்களை வழங்குகிறது. உங்களுக்கு ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com