உலர் எட்ச்சிங் vs வெட் எட்ச்சிங்

செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில், ஃபோட்டோலிதோகிராபி மற்றும் மெல்லிய-ஃபிலிம் படிவு ஆகியவற்றுடன் பொறித்தல் முக்கிய படிகளில் ஒன்றாகும். வேதியியல் அல்லது இயற்பியல் முறைகளைப் பயன்படுத்தி ஒரு செதில் மேற்பரப்பில் இருந்து தேவையற்ற பொருட்களை அகற்றுவதை உள்ளடக்கியது. இந்த படி பூச்சு, ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் வளரும் பிறகு மேற்கொள்ளப்படுகிறது. வெளிப்படும் மெல்லிய படலப் பொருளை அகற்றவும், செதில் விரும்பிய பகுதியை மட்டும் விட்டுவிட்டு, அதிகப்படியான ஒளிச்சேர்க்கையை அகற்றவும் இது பயன்படுகிறது. சிக்கலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை உருவாக்க இந்த படிகள் பல முறை மீண்டும் மீண்டும் செய்யப்படுகின்றன.

பொறித்தல் இரண்டு வகைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: உலர் பொறித்தல் மற்றும் ஈரமான பொறித்தல். உலர் பொறித்தல் என்பது எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் ஈரமான பொறிப்பு என்பது பொருளை அரிக்கும் கரைசலில் மூழ்கடிப்பதை உள்ளடக்கியது. உலர் பொறித்தல் அனிசோட்ரோபிக் செதுக்கலை அனுமதிக்கிறது, அதாவது பொருளின் செங்குத்து திசை மட்டுமே குறுக்கு பொருளை பாதிக்காமல் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது. இது நம்பகத்தன்மையுடன் சிறிய கிராபிக்ஸ் பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, ஈரமான செதுக்குதலைக் கட்டுப்படுத்த முடியாது, இது கோட்டின் அகலத்தைக் குறைக்கலாம் அல்லது வரியையே அழிக்கலாம். இது மோசமான தரமான உற்பத்தி சில்லுகளை விளைவிக்கிறது.

உலர் பொறித்தல், பயன்படுத்தப்படும் அயனி பொறித்தல் பொறிமுறையின் அடிப்படையில் இயற்பியல் பொறித்தல், இரசாயன பொறித்தல் மற்றும் இயற்பியல்-வேதியியல் பொறித்தல் என வகைப்படுத்தப்படுகிறது. இயற்பியல் பொறிப்பு அதிக திசையில் உள்ளது மற்றும் அனிசோட்ரோபிக் செதுக்கலாக இருக்கலாம், ஆனால் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொறிப்பு அல்ல. வேதியியல் பொறித்தல் அணுக் குழுவின் வேதியியல் செயல்பாட்டில் பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் பொறிக்கப்படுவதற்கான நோக்கத்தை அடைய பொறிக்கப்பட வேண்டிய பொருள். இது நல்ல தேர்வுத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, ஆனால் பொறித்தல் அல்லது வேதியியல் எதிர்வினையின் மையத்தின் காரணமாக அனிசோட்ரோபி மோசமாக உள்ளது.