வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றத்தின் முக்கிய வகைகள்

உயர்நிலை குறைக்கடத்தி சாதனத் தயாரிப்பில், SiO₂ படங்கள் பொதுவாக அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு சிகிச்சைக்கான ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறைகள் மூலம் உருவாக்கப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் பொதுவான பயன்பாடுகளில் டோபண்ட் தடுப்பு அடுக்குகள், மேற்பரப்பு காப்பு அடுக்குகள், கேட் ஆக்சைடு அடுக்குகள், புல ஆக்சைடுகள் மற்றும் தியாக ஆக்சைடுகள் ஆகியவை அடங்கும். ஆக்சிஜனேற்ற வளிமண்டலத்தின் அடிப்படையில் செதில் புனையலில் முக்கிய செயல்முறைகள், வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் உலர் ஆக்சிஜனேற்றம், ஈரமான ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் நீராவி ஆக்சிஜனேற்றம் என வகைப்படுத்தப்படுகிறது.

உலர் ஆக்சிஜனேற்றம்

உலர் ஆக்சிஜனேற்றம் தூய மற்றும் உலர்ந்த ஆக்ஸிஜனை எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்துவதன் மூலம் செய்யப்படுகிறது. அதிக வெப்பநிலையில், ஆக்ஸிஜன் மூலக்கூறுகள் செதில் மேற்பரப்பில் உள்ள சிலிக்கான் அணுக்களுடன் வினைபுரிந்து ஆரம்ப SiO₂ அடுக்கை உருவாக்குகின்றன, ஆக்ஸிஜன் மூலக்கூறுகள் மற்றும் சிலிக்கான் மேற்பரப்புக்கு இடையே நேரடி தொடர்பைத் தடுக்கின்றன. அடுத்தடுத்த ஆக்சிஜனேற்ற செயல்பாட்டில், மேலும் எதிர்வினைக்கு Si/SiO₂ இடைமுகத்தை அடைய ஆக்ஸிஜன் மூலக்கூறுகள் ஏற்கனவே இருக்கும் SiO₂ அடுக்கு வழியாக பரவ வேண்டும். இந்த காரணத்திற்காக, Si/SiO₂ இடைமுகம் தொடர்ந்து மாறுகிறது, இதன் விளைவாக இறுதி ஆக்சைடு அடுக்கு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையில் முழுமையற்ற SiOₓ ஏற்படுகிறது, மேலும் இடைமுக நிலைகள் உருவாக வழிவகுக்கிறது. உலர் ஆக்சிஜனேற்றத்தால் உருவாக்கப்பட்ட SiO₂ அடுக்கு ஒரு அடர்த்தியான அமைப்பு, உயர்ந்த சீரான தன்மை மற்றும் சிறந்த செயல்முறை மீண்டும் நிகழ்தல் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. அவை துருவமற்ற ஒளிச்சேர்க்கையுடன் உறுதியாகப் பிணைக்கப்படுகின்றன, ஒளிச்சேர்க்கை உரிக்கப்படுவதைத் தடுக்கின்றன மற்றும் சிறந்த லித்தோகிராஃபி தெளிவுத்திறனை உறுதி செய்கின்றன, அவை ஒளிச்சேர்க்கை-தொடர்பு ஆக்சைடு அடுக்குகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.

குளோரின்-டோப் ஆக்சிஜனேற்றம் என்பது உலர் ஆக்சிஜனேற்றத்தின் ஒரு மாறுபாடாகும். செயல்பாட்டின் போது, ​​குளோரின் வாயு, ஹைட்ரஜன் குளோரைடு, டிரைக்ளோரெத்திலீன் அல்லது டிரைக்ளோரோஎத்தேன் போன்ற சிறிய அளவிலான குளோரின் கொண்ட வாயு கலவைகள் உலர்ந்த ஆக்ஸிஜனில் சேர்க்கப்படுகின்றன. குளோரின் ஆக்சைடு அடுக்கில் இணைகிறது மற்றும் SiO₂/Si இடைமுகத்திற்கு அருகில் குவிகிறது. இது மொபைல் அயனிகளை (எ.கா. சோடியம் அயனிகள்) சிக்க வைத்து அவற்றை செயலிழக்கச் செய்கிறது. இதற்கிடையில், குளோரின் இடைமுகத்தில் Cl-Si-O வளாகங்களை உருவாக்குகிறது, இது இடைமுக கட்டணங்களை நடுநிலையாக்குகிறது மற்றும் ஆக்ஸிஜன் காலியிடங்களை நிரப்புகிறது. இது இடைமுக நிலை அடர்த்தியைக் குறைக்கிறது மற்றும் SiO₂ படத்தில் உள்ள குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது. அதிக வெப்பநிலையில், குளோரின் நீண்ட காலமாக பயன்படுத்தப்படும் ஆக்சிஜனேற்ற உலைகளில் திரட்டப்பட்ட அசுத்தங்களுடன் வினைபுரிந்து, அறையிலிருந்து வெளியேறும் ஆவியாகும் கலவைகளை உருவாக்குகிறது. குளோரின்-டோப் செய்யப்பட்ட ஆக்சிஜனேற்றம் சிலிக்கானில் உள்ள அசுத்தங்களைக் குறைக்கிறது, மறுசீரமைப்பு மையங்களைக் குறைக்கிறது மற்றும் சிறுபான்மை கேரியர் வாழ்நாளை அதிகரிக்கிறது.

நீராவி ஆக்சிஜனேற்றம்

நீராவி ஆக்சிஜனேற்றம் எதிர்வினை அறைக்குள் நீராவியைப் பயன்படுத்துகிறது. நீராவி உயர் தூய்மையான டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் அல்லது ஹைட்ரஜன் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் வாயுவின் எரிப்பு எதிர்வினையிலிருந்து உருவாகிறது. உயர் வெப்பநிலையில், நீர் நீராவி செதில் மேற்பரப்பில் சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து ஆரம்ப SiO₂ அடுக்கை உருவாக்குகிறது. நீர் மூலக்கூறுகள் முதலில் SiO₂ மேற்பரப்புடன் வினைபுரிந்து சிலானால் குழுக்களை (Si-OH) உருவாக்குகின்றன. இந்த குழுக்கள் ஆக்சைடு அடுக்கு வழியாக SiO₂/Si இடைமுகத்திற்கு பரவி சிலிக்கான் அணுக்களுடன் தொடர்ந்து வினைபுரிகின்றன. உருவாக்கப்பட்ட ஹைட்ரஜன் பெரும்பாலான இடைமுகத்திலிருந்து வெளியேறுகிறது, அதே நேரத்தில் ஒரு பகுதி ஆக்ஸிஜனுடன் இணைந்து ஹைட்ராக்சில் குழுக்களை (-OH) உருவாக்குகிறது.

நீராவி ஆக்சிஜனேற்றத்தால் தயாரிக்கப்படும் SiO₂ படமானது பாலம் அல்லாத ஆக்ஸிஜன் அணுக்களுடன் ஒரு சிலானால் அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, அங்கு ஒவ்வொரு ஆக்ஸிஜன் அணுவும் ஒரே ஒரு சிலிக்கான் அணுவுடன் பிணைக்கிறது. இத்தகைய ஆக்சைடு படலங்கள் குறைந்த அடர்த்தி கொண்டவை மற்றும் மோசமான செயல்முறை மீண்டும் திறன் கொண்டவை. ஹைட்ராக்சைல் குழுக்கள் ஈரப்பதத்தை எளிதில் உறிஞ்சி, ஃபிலிமை துருவமாக்குகின்றன, இது துருவமற்ற ஒளிச்சேர்க்கை மற்றும் அடிக்கடி போட்டோரெசிஸ்ட் தூக்குதலுடன் மோசமான ஒட்டுதலுக்கு வழிவகுக்கிறது. அதன் தளர்வான அமைப்பு காரணமாக, நீராவி ஆக்சிஜனேற்றம் உலர் ஆக்சிஜனேற்றத்தை விட மிக வேகமாக செல்கிறது.

ஈரமான ஆக்ஸிஜன் ஆக்சிஜனேற்றம்

ஈரமான ஆக்சிஜன் ஆக்சிஜனேற்றத்திற்காக, ஆக்ஸிஜன் வாயு எதிர்வினை அறைக்குள் நுழைவதற்கு முன்பு சூடான உயர்-தூய்மை டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் வழியாக செல்கிறது, இதனால் ஆக்ஸிஜன் ஒரு குறிப்பிட்ட செறிவு நீராவியைக் கொண்டு செல்கிறது. நீராவி உள்ளடக்கம் வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்ட விகிதத்தால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. இந்த செயல்முறை உலர் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் நீராவி ஆக்சிஜனேற்றத்தின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கிறது. அதன் ஆக்சிஜனேற்ற விகிதம் உலர் ஆக்சிஜனேற்றத்தை விட அதிகமாக உள்ளது ஆனால் நீராவி ஆக்சிஜனேற்றத்தை விட குறைவாக உள்ளது. படத்தின் தரத்தைப் பொறுத்தவரை, ஈரமான ஆக்ஸிஜனேற்றம் உலர் ஆக்சிஜனேற்றத்தை விட தாழ்வானது, ஆனால் நீராவி ஆக்சிஜனேற்றத்தை விட உயர்ந்தது.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுகுவார்ட்ஸ் படகுகள்மற்றும்குவார்ட்ஸ் குழாய்கள்வெப்ப ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறைகளுக்கு. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com