எட்ச்சிங் கருவிகளுக்கு ஃபோகஸ் ரிங் ஏன் இன்றியமையாதது?

ஃபோகஸ் ரிங், இழப்பீட்டு வளையம் அல்லது அடைப்பு வளையம் என்றும் குறிப்பிடப்படுகிறது, இது பொறித்தல் கருவிகளில், குறிப்பாக பிளாஸ்மா உலர் எட்ச் கருவிகளின் இன்றியமையாத அங்கமாகும். நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் நானோ அளவிலான துல்லிய பொறித்தல் செயல்முறைகள் அது இல்லாமல் அடைய முடியாது. ஃபோகஸ் ரிங் உபயோகமானது செதுக்குதல் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது, செதில் மேற்பரப்பு எட்ச் வீதத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, எட்ச் உபகரணங்களின் முக்கிய வன்பொருளைப் பாதுகாக்கிறது, இறுதியில் குறைக்கடத்தி சாதன விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

ஃபோகஸ் வளையத்தின் முக்கிய செயல்பாடுகள்

1. விளிம்பு மின்சார புலம் மற்றும் பிளாஸ்மா விநியோகத்தை மேம்படுத்துகிறது

ஒரு இல்லாமல்கவனம் வளையம், செதில் விளிம்பில் உள்ள மின்சார புலக் கோடுகள் கடுமையாக வளைந்து வேறுபட்டு, விளிம்பு விளைவை ஏற்படுத்துகிறது. இது செதில் விளிம்பிற்கும் மையப் பகுதிக்கும் இடையே பிளாஸ்மா அடர்த்தி மற்றும் அயன் குண்டுவீச்சு ஆற்றலில் குறிப்பிடத்தக்க முரண்பாடுகளை ஏற்படுத்துகிறது. செதில்களின் உடல் மற்றும் மின் எல்லையை திறம்பட உயர்த்தவும், விளிம்பு பிளாஸ்மா விநியோகத்தை மறுவடிவமைக்கவும் செதில்களைச் சுற்றி ஃபோகஸ் ரிங் அமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது "செங்குத்தான குன்றை" "மென்மையான சாய்வாக" மாற்றுவது போல, செதில் விளிம்பில் உள்ள மின்சார புல சுயவிவரத்தை மென்மையாக்குகிறது. இந்த முன்னேற்றமானது செதில் விளிம்பில் மிகவும் சீரான பிளாஸ்மா உறையை உருவாக்குகிறது, அயனிகள் முழு செதில் மேற்பரப்பையும் செங்குத்து மற்றும் நிலையான கோணத்தில் வெடிக்கச் செய்ய வழிகாட்டுகிறது.

2. எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்கை (ESC) பாதுகாக்கிறது மற்றும் செயல்முறை அறை கூறுகளாக செயல்படுகிறது

பிளாஸ்மா சூழல்கள் மிகவும் அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை. ஃபோகஸ் ரிங்கில் இருந்து பாதுகாப்பு இல்லாமல், உயர்-ஆற்றல் பிளாஸ்மா, செதில் வைத்திருக்கும் மின்னியல் சக்கை (ESC) நேரடியாக குண்டுவீசி பொறிக்கும். ESC கள் பொதுவாக அலுமினா பீங்கான் போன்ற விலையுயர்ந்த பொருட்களால் செய்யப்பட்டவை என்பதால், அவற்றின் மாற்று செலவு மிகவும் அதிகமாக உள்ளது. ஃபோகஸ் ரிங், மாற்றக்கூடிய நுகர்பொருளாக,  அதிக முக்கியமான உபகரணங்களின் பாகங்களைப் பாதுகாப்பதற்கும் தொடர்புடைய செலவுகளைக் குறைப்பதற்கும் ஒரு தியாகப் பொருளாகச் செயல்படுகிறது. ஃபோகஸ் வளையங்கள் பொதுவாக சிலிக்கான், குவார்ட்ஸ், சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் பிற செயல்முறை-இணக்கப் பொருட்களால் செய்யப்படுகின்றன. அரிக்கப்பட்ட ESC பொருட்களால் வெளியிடப்படும் உலோக அசுத்தங்களை விட (எ.கா., அலுமினியம், சோடியம்) அதன் அரிப்பிலிருந்து உருவாகும் துகள்கள் செயல்பாட்டில் மிகச் சிறிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன. இது துகள்கள் அல்லது எதிர்வினை துணை தயாரிப்புகளால் அறை மற்றும் செதில் மாசுபாட்டின் அபாயத்தை திறம்பட குறைக்கிறது, இதன் மூலம் தயாரிப்பு குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது.

3. செதில் தடிமன் மாறுபாடுகளுக்கு ஈடுசெய்கிறது

ஃபோகஸ் வளையத்தின் மேல் மேற்பரப்பு பொதுவாக செதில்களின் மேல் மேற்பரப்புடன் இருக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது மேல் மின்முனையிலிருந்து செதில் மேற்பரப்பு மற்றும் ஃபோகஸ் ரிங் மேற்பரப்பு ஆகிய இரண்டிற்கும் நிலையான இடைவெளியை உறுதி செய்கிறது, இது முழுப் பகுதியிலும் ஒரே மாதிரியான மின்சார புலத்தை உருவாக்க உதவுகிறது மற்றும் உயர வேறுபாடுகளால் ஏற்படும் மின்புல சிதைவைத் தவிர்க்கிறது.

செயலாக்கத்தின் போது பிளாஸ்மாவால் ஃபோகஸ் ரிங் படிப்படியாக மெல்லியதாக பொறிக்கப்படுகிறது. மெலிந்த ஃபோகஸ் ரிங் செயல்முறைகளின் சறுக்கலை ஏற்படுத்துகிறது: அரிப்பு காரணமாக ஃபோகஸ் ரிங் உயரம் குறைவதால், விளிம்பு மின்சார புலத்தை கட்டுப்படுத்தும் அதன் திறன் பலவீனமடைகிறது மற்றும் செதில் விளிம்பில் செயல்முறை செயல்திறன் (எ.கா., எட்ச் விகிதம், சுயவிவரம்) படிப்படியாக மாறுகிறது. இந்த காரணத்திற்காக, செயல்முறை செயல்திறன் (எ.கா., திரட்டப்பட்ட RF மணிநேரம்) அடிப்படையில் ஃபோகஸ் ரிங் அவ்வப்போது மாற்றப்பட வேண்டும்.

வெவ்வேறு எட்ச் செயல்முறைகள் (சிலிக்கான் எட்ச், ஆக்சைடு எட்ச், மெட்டல் எச்ச்) வெவ்வேறு பொருட்களால் செய்யப்பட்ட ஃபோகஸ் வளையங்களைப் பயன்படுத்தலாம் (எ.கா., மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான், குவார்ட்ஸ்,சிலிக்கான் கார்பைடு, செராமிக்) எட்ச் விகிதங்களைப் பொருத்தவும், மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும். சில மேம்பட்ட கருவிகளில், மேம்பட்ட செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு (APC) மென்பொருள் ஃபோகஸ் ரிங் பயன்பாட்டு காலத்தைக் கண்காணிக்கிறது மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கும் போது சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கும் செயல்முறை அளவுருக்கள் (எ.கா., சக்தி, அழுத்தம்) மூலம் அரிப்பு விளைவுகளை ஈடுசெய்யலாம்.