பீங்கான் வெற்றிட சக்ஸ்

செராமிக் வெற்றிட சக்ஸ்செமிகண்டக்டர் செதில் உற்பத்தியில் குறைக்கடத்தி செதில்களை இறுக்குவதற்கும் எடுத்துச் செல்வதற்கும் பயன்படுத்தப்படும் கருவிகள். அவை அதிக தட்டையான தன்மை மற்றும் இணையான தன்மை, அடர்த்தியான மற்றும் சீரான அமைப்பு, அதிக வலிமை, நல்ல காற்று ஊடுருவல், சீரான உறிஞ்சுதல் விசை மற்றும் டிரிம்மிங்கின் எளிமை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன. செமிகண்டக்டர் செதில் உற்பத்தியில் மெல்லியதாக வெட்டுதல், வெட்டுதல், அரைத்தல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் செயலாக்குதல் போன்ற செயல்களுக்கு அவை பொருத்தமானவை, செதில் முத்திரைகள், சிப் மின்னியல் முறிவு மற்றும் துகள் மாசுபடுதல் போன்ற பல சிக்கல்களை திறம்பட தீர்க்கின்றன. நடைமுறை பயன்பாடுகளில், அவை குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கான மிக உயர்ந்த செயலாக்க தரத்தை அடைகின்றன.

செராமிக் வெற்றிட சக்கின் பங்கு

A பீங்கான் வெற்றிட சக்வெற்றிட உறிஞ்சுதல் கொள்கையின் அடிப்படையில் ஒரு அதி துல்லியமான செயல்முறை அங்கமாகும். இது முதன்மையாக அலுமினா, அலுமினியம் நைட்ரைடு அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு போன்ற மேம்பட்ட பீங்கான் பொருட்களால் ஆனது. துல்லியமாக இயந்திரமயமாக்கப்பட்ட வெற்றிட சேனல்கள் அல்லது அதன் உறிஞ்சுதல் மேற்பரப்பில் நுண்ணிய கட்டமைப்புகள் மூலம், அது ஒரு சீரான எதிர்மறை அழுத்த புலத்தை உருவாக்க வெளிப்புற வெற்றிட அமைப்புடன் இணைக்கிறது.

செமிகண்டக்டர்கள் மற்றும் டிஸ்ப்ளே பேனல்கள் போன்ற உயர்தர உற்பத்தியில், செராமிக் வெற்றிட சக்ஸின் முக்கிய மதிப்பு பாரம்பரிய இயந்திர கிளாம்பிங் முறைகளை அகற்றும் திறனில் உள்ளது. ஒரே சீராக விநியோகிக்கப்பட்ட உறிஞ்சுதல் விசையைப் பயன்படுத்தி, முழு செயல்முறையிலும் அவை தொடர்பு அல்லது துகள்கள் மாசுபடாமல் மிக மெல்லிய மற்றும் மிகவும் உடையக்கூடிய செதில்கள் அல்லது கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகளை உறுதியாக வைத்திருக்க முடியும். அதே நேரத்தில், அதன் நானோ அளவிலான மேற்பரப்பு தட்டையானது, மிக அதிக விறைப்புத்தன்மை மற்றும் சிறந்த வெப்ப வேதியியல் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றால், இது கடுமையான செயல்முறை சூழல்களில் பணிப்பகுதிக்கு கிட்டத்தட்ட சரியான நிலைப்படுத்தல் மேற்பரப்பை வழங்க முடியும்.

ஏன் பீங்கான்

உயர்நிலை உற்பத்தி சூழ்நிலைகளில், சக்ஸ் வெறுமனே "உறிஞ்சும் கருவிகள்" அல்ல, மாறாக செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை நேரடியாக தீர்மானிக்கும் முக்கியமான சாதனங்கள். பல பொருட்களில், பீங்கான் பொருட்கள் பரவலாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன, மேம்பட்ட பீங்கான் பொருட்கள் எவ்வாறு தொழில்துறை வலி புள்ளிகளை முறையாக நிவர்த்தி செய்கின்றன என்பதை துல்லியமாக பிரதிபலிக்கிறது. ஒரு பொறியியல் கண்ணோட்டத்தில், இதை "நான்கு உயர்" தேவைகள் என்று சுருக்கமாகக் கூறலாம்:

(1) உயர் சமதளம் மற்றும் அதிக விறைப்பு

குறைக்கடத்தி மற்றும் காட்சி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், கையாளப்பட்டு செயலாக்கப்படும் சிலிக்கான் செதில்கள் மற்றும் கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகள் பெரும்பாலும் மிக மெல்லியதாக இருக்கும், தடிமன் பத்து மைக்ரோமீட்டர்கள் வரை குறைவாக இருக்கும். அத்தகைய அளவீடுகளில், எந்த நிமிட வளைவு, அதிர்வு அல்லது சீரற்ற உள்ளூர் அழுத்தம் செதில் உடைப்பு, வார்ப்பிங் அல்லது ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகளின் சீரமைப்பு துல்லியத்தை நேரடியாக பாதிக்கலாம்.

மேம்பட்ட பீங்கான் பொருட்கள் (அலுமினா மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு போன்றவை) துல்லியமான சின்டரிங் மற்றும் உயர்-துல்லியமான அரைத்தல் மற்றும் மெருகூட்டல் செயல்முறைகள் மூலம் துணை மைக்ரோமீட்டர் அல்லது நானோமீட்டர் அளவிலான சமதளத்தை அடைய முடியும். அதே நேரத்தில், அவற்றின் உயர் மீள் மாடுலஸ் சக்கை மிக உயர்ந்த கட்டமைப்பு விறைப்புத்தன்மையுடன் வழங்குகிறது, வெற்றிட உறிஞ்சுதலின் கீழ் எந்த சிதைவையும் உறுதி செய்கிறது, இதனால் செயல்முறைக்கு முற்றிலும் நிலையான குறிப்புத் தளத்தை வழங்குகிறது.

(2) உயர் தூய்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை

செமிகண்டக்டர் உற்பத்திப் பட்டறைகள் மிகக் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன. செயல்முறை பொருத்துதல்கள் துகள் மாசுபாட்டிலிருந்து விடுபடுவது மட்டுமல்லாமல், உலோக அயனிகளின் வெளியீட்டைத் தடுக்கும் மற்றும் பல்வேறு துப்புரவு இரசாயனங்களுக்கு மீண்டும் மீண்டும் வெளிப்படுவதைத் தாங்கும்.

மட்பாண்டங்கள், கனிம உலோகம் அல்லாத பொருட்களாக, அடர்த்தியான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளன, இதனால் அவை துகள் உற்பத்திக்கு குறைவாகவே உள்ளன. மேலும், அவை காந்தமற்றவை, இடம்பெயரும் உலோகக் கூறுகளைக் கொண்டிருக்கவில்லை, மேலும் அதிக இரசாயன நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகின்றன. அவை வலுவான அமிலங்கள், வலுவான காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான் சூழல்களில் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்கின்றன, அவை உயர்-நிலை க்ளீன்ரூம் செயல்முறைகளில் நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன.

(3) அதிக ஆயுள் மற்றும் நீண்ட கால நிலைத்தன்மை

24/7 இயங்கும் தானியங்கு உற்பத்தி வரிகளில், பீங்கான் சக்ஸ் ஆயிரக்கணக்கான உறிஞ்சுதல் மற்றும் வெளியீட்டு சுழற்சிகளைத் தாங்க வேண்டும் மற்றும் நீண்ட கால வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களையும் எதிர்கொள்ள வேண்டும். இது பொருளின் உடைகள் எதிர்ப்பு, சோர்வு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றில் மிக உயர்ந்த கோரிக்கைகளை வைக்கிறது.

உலோகங்கள் அல்லது பாலிமர்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​மட்பாண்டங்கள் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டிருக்கின்றன, மேலும் அவற்றின் வெப்ப விரிவாக்க நடத்தை நிலையானது, இதனால் அவை க்ரீப் அல்லது செயல்திறன் சிதைவுக்கு ஆளாகின்றன. அதன் ஆயுட்காலம் பொதுவாக பாரம்பரிய பொருள் சக்ஸை விட கணிசமாக நீண்டது, குறைந்த பராமரிப்பு மற்றும் மாற்று அதிர்வெண் கொண்டது, மொத்த வாழ்க்கைச் சுழற்சி செலவின் அடிப்படையில் இது மிகவும் சிக்கனமானது.

(4) மிகவும் ஒருங்கிணைந்த செயல்பாட்டு வடிவமைப்பு

மிகவும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், பீங்கான் சக்ஸின் செயல்பாடு வெற்றிட உறிஞ்சுதலுடன் மட்டுப்படுத்தப்படாது. எடுத்துக்காட்டாக, உலர் எச்சிங் மற்றும் மெல்லிய படப் படிவு (CVD/PVD) ஆகியவற்றிற்குப் பயன்படுத்தப்படும் வெற்றிட அறைகளில், பாரம்பரிய வெற்றிட உறிஞ்சுதல் துளைகள் அறைக்குள் வளிமண்டலத்தையும் அழுத்த விநியோகத்தையும் சீர்குலைக்கலாம்.

இந்த கட்டத்தில், "எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் (ESC)" ஒரு முக்கிய தீர்வாக மாறுகிறது. ESC கள் செராமிக் மின்கடத்தா அடுக்கு மூலம் உருவாக்கப்படும் மின்னியல் விசையை செதில்களை உறிஞ்சுவதற்கு பயன்படுத்தப்படும் மின்சார புலத்தின் கீழ் பயன்படுத்துகின்றன. இது செயல்முறை சூழலில் வெற்றிட துளைகளின் குறுக்கீட்டைத் தவிர்ப்பது மட்டுமல்லாமல், சக்கின் உள்ளே ஹீட்டர்களையும் குளிரூட்டும் சேனல்களையும் ஒருங்கிணைக்கிறது, இது செதில்களின் துல்லியமான வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டை (குறைந்த வெப்பநிலையிலிருந்து 500 ° C வரை) செயல்படுத்துகிறது, இது மேம்பட்ட செயல்முறைகளை வெற்றிகரமாக செயல்படுத்துவதற்கான ஒரு முக்கிய அடித்தளமாகும்.

விண்ணப்ப காட்சி

செராமிக் சக்ஸ்கள் செமிகண்டக்டர்கள், டிஸ்ப்ளே பேனல்கள், ஃபோட்டோவோல்டாயிக்ஸ் மற்றும் துல்லியமான ஒளியியல் போன்ற உயர்நிலை உற்பத்தித் துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், அவை ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, பொறித்தல், மெருகூட்டல் மற்றும் ஆய்வு ஆகியவற்றிற்கான முக்கியமான தளங்களாக செயல்படுகின்றன. டிஸ்ப்ளே பேனல் துறையில், அவை பெரிய அளவிலான, மிக மெல்லிய கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகளுக்கு நிலையான ஆதரவையும் போக்குவரத்தையும் வழங்குகின்றன. ஒளிமின்னழுத்த செல் உற்பத்தியில், அவை வெட்டுதல் மற்றும் சோதனையின் போது மெல்லிய, உடையக்கூடிய சிலிக்கான் செதில்களைப் பாதுகாப்பாகக் கையாளுவதை உறுதி செய்கின்றன.

நவீன துல்லியமான உற்பத்தியில் அதிக மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கான மூலக்கல்லாக, இயந்திர அழுத்தம் அல்லது துகள் மாசு இல்லாமல், அதி-மெல்லிய, அல்ட்ரா-பிளாட் மற்றும் அல்ட்ரா-மிருதுவான பணியிடங்களுக்கு ஒரு துல்லியமான தீர்வை வழங்குவதில் அவற்றின் முக்கிய மதிப்பு உள்ளது.