துகள் குறைபாடுகள் என்றால் என்ன?

துகள் குறைபாடுகள் என்பது செமிகண்டக்டர் செதில்களின் உள்ளே அல்லது அதன் மீது உள்ள சிறிய துகள் சேர்ப்புகளைக் குறிக்கிறது. அவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை சேதப்படுத்தும் மற்றும் குறுகிய சுற்றுகள் மற்றும் திறந்த சுற்றுகள் போன்ற மின் தவறுகளை ஏற்படுத்தும். துகள் குறைபாடுகளால் ஏற்படும் இந்த சிக்கல்கள் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை தீவிரமாக பாதிக்கும் என்பதால், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துகள் குறைபாடுகள் கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.

அவற்றின் நிலைகள் மற்றும் பண்புகளின்படி, துகள் குறைபாடுகளை இரண்டு முக்கிய வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: மேற்பரப்பு துகள்கள் மற்றும் படத்தில் உள்ள துகள்கள். மேற்பரப்பு துகள்கள் மீது விழும் துகள்களைக் குறிக்கிறதுசெதில்செயல்முறை சூழலில் மேற்பரப்பு, பொதுவாக கூர்மையான மூலைகளுடன் கூடிய கொத்துகளாக இருக்கும். ஃபிலிம் துகள்கள் என்பது ஃபிலிம் உருவாக்கும் செயல்பாட்டின் போது செதில் விழுந்து, பிலிம் லேயருக்குள் உள்ள குறைபாடுகளுடன், அடுத்தடுத்த படங்களால் மூடப்பட்டிருக்கும்.

துகள் குறைபாடுகள் எவ்வாறு உருவாகின்றன?

துகள் குறைபாடுகளின் உருவாக்கம் பல காரணிகளால் ஏற்படுகிறது. செதில் உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது, ​​வெப்பநிலை மாற்றங்கள் மற்றும் செதில்களின் கையாளுதல், செயலாக்கம் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சையின் விளைவாக ஏற்படும் இயந்திர அழுத்தம் ஆகியவற்றால் ஏற்படும் வெப்ப அழுத்தம் மேற்பரப்பு விரிசல் அல்லது பொருள் உதிர்தலுக்கு வழிவகுக்கும்.செதில்கள், இது துகள் குறைபாடுகளுக்கான முக்கிய காரணங்களில் ஒன்றாகும். எதிர்வினை எதிர்வினைகள் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களால் ஏற்படும் வேதியியல் அரிப்பு துகள் குறைபாடுகளுக்கு மற்றொரு முக்கிய காரணமாகும். அரிப்பு செயல்பாட்டின் போது, ​​தேவையற்ற பொருட்கள் அல்லது அசுத்தங்கள் உற்பத்தி செய்யப்பட்டு, துகள் குறைபாடுகளை உருவாக்க செதில் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொள்கின்றன. மேலே குறிப்பிட்டுள்ள இரண்டு முக்கிய காரணிகளுக்கு கூடுதலாக, மூலப்பொருட்களில் உள்ள அசுத்தங்கள், உபகரணங்களின் உட்புற மாசுபாடு, சுற்றுச்சூழல் தூசி மற்றும் செயல்பாட்டு பிழைகள் ஆகியவை துகள் குறைபாடுகளுக்கு பொதுவான காரணங்களாகும்.

துகள் குறைபாடுகளைக் கண்டறிந்து கட்டுப்படுத்துவது எப்படி?

துகள் குறைபாடுகளைக் கண்டறிதல் முக்கியமாக உயர் துல்லியமான நுண்ணோக்கி தொழில்நுட்பத்தை நம்பியுள்ளது. ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி (SEM) அதன் உயர் தெளிவுத்திறன் மற்றும் இமேஜிங் திறன்களின் காரணமாக குறைபாடு கண்டறிவதற்கான ஒரு முக்கிய கருவியாக மாறியுள்ளது, இது சிறிய துகள்களின் உருவவியல், அளவு மற்றும் விநியோகத்தை வெளிப்படுத்தும் திறன் கொண்டது. அணு விசை நுண்ணோக்கி (AFM) முப்பரிமாண மேற்பரப்பு நிலப்பரப்பை இடை அணு சக்திகளைக் கண்டறிவதன் மூலம் வரைபடமாக்குகிறது மற்றும் நானோ அளவிலான குறைபாடு கண்டறிதலில் மிக உயர்ந்த துல்லியத்தைக் கொண்டுள்ளது. ஆப்டிகல் நுண்ணோக்கிகள் பெரிய குறைபாடுகளை விரைவாகக் கண்டறியப் பயன்படுகின்றன.

துகள் குறைபாடுகளைக் கட்டுப்படுத்த, பல நடவடிக்கைகள் எடுக்கப்பட வேண்டும்.

1.எச்சிங் வீதம், படிவு தடிமன், வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தம் போன்ற அளவுருக்களை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தவும்.

2. செமிகண்டக்டர் செதில் புனையலுக்கு உயர் தூய்மையான மூலப்பொருட்களைப் பயன்படுத்தவும்.

3.உயர் துல்லியமான மற்றும் உயர் நிலைப்புத்தன்மை கொண்ட உபகரணங்களை ஏற்றுக்கொண்டு வழக்கமான பராமரிப்பு மற்றும் சுத்தம் செய்தல்.

4. சிறப்புப் பயிற்சி மூலம் ஆபரேட்டர் திறன்களை மேம்படுத்துதல், செயல்பாட்டு நடைமுறைகளை தரப்படுத்துதல் மற்றும் செயல்முறை கண்காணிப்பு மற்றும் நிர்வாகத்தை வலுப்படுத்துதல்.

துகள் குறைபாடுகளின் காரணங்களை விரிவாக பகுப்பாய்வு செய்வது, மாசுபடுத்தும் புள்ளிகளை அடையாளம் காண்பது மற்றும் துகள் குறைபாடுகளின் நிகழ்வுகளை திறம்பட குறைக்க இலக்கு தீர்வுகளை எடுப்பது அவசியம்.