செங்குத்து உலைகள் ஏன் முக்கிய தேர்வாகிவிட்டன?

செங்குத்து உலைகள் என்பது செங்குத்தாக வைக்கப்படும் உயர் வெப்பநிலை வெப்பமூட்டும் சாதனங்கள் ஆகும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் வெப்ப சிகிச்சைக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. முழுமையான செங்குத்து உலை அமைப்பு உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளதுஉலை குழாய், வெப்பமூட்டும் உறுப்பு, வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, எரிவாயு கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு மற்றும் செதில் ஆதரவு அமைப்பு. செங்குத்து உலைகள் சிலிக்கான் ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், அனீலிங் மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) உள்ளிட்ட முக்கியமான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளை அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் சிறப்பு வாயுக்களை (ஆக்சிஜன், ஹைட்ரஜன், நைட்ரஜன் போன்றவை) அறிமுகப்படுத்துவதன் மூலம் எளிதாக்குகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களின் பரிணாம வளர்ச்சியில், செங்குத்து உலைகள் அவற்றின் மூன்று முக்கிய நன்மைகள் காரணமாக வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறைகளுக்கான முக்கிய தேர்வாக மாறியுள்ளன.

1. விண்வெளிப் பயன்பாட்டின் கண்ணோட்டத்தில், செங்குத்து உலைகள் செங்குத்து குழாய்கள் மற்றும் செங்குத்து செதில் படகுகளின் கலவை வடிவமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கின்றன. அதே செயலாக்கத் திறனின் கீழ், அவற்றின் தரைத் தேவை கிடைமட்ட உலைகளை விட 50%-60% மட்டுமே, குறிப்பாக 450 மிமீ செதில் விரிவாக்கத்தின் போக்கின் கீழ் ஒரு யூனிட் கிளீன்ரூம்களுக்கு உற்பத்தி திறன் அடர்த்தியை அதிகரிக்க ஏற்றது. மட்டு செங்குத்து ஸ்டாக்கிங் மூலம், ஒரு சாதனம் கையாளக்கூடிய செதில்களின் எண்ணிக்கை 40% அதிகரித்துள்ளது, மேலும் ஒரு யூனிட் பகுதிக்கான வெளியீட்டு செயல்திறன் கிடைமட்ட உலையை விட கணிசமாக சிறப்பாக உள்ளது.

2. செங்குத்து உலைகள் மூன்று-புள்ளி பள்ளம் ஆதரவுகள் மூலம் கிடைமட்ட செதில் நிலைகளை அடைகின்றன. செங்குத்து காற்றோட்டத்துடன் இணைந்து, இந்த உள்ளமைவு உலைக்குள் அதிக சீரான வெப்பநிலை சாய்வு மற்றும் சமச்சீர் வெப்ப அழுத்த விநியோகத்தை வழங்குகிறது, செதில் வார்பேஜ் அபாயத்தை 30% க்கும் அதிகமாக குறைக்கிறது. உயர்-கே மின்கடத்தா படிவு மற்றும் அயனி இம்ப்ளான்டேஷன் அனீலிங் போன்ற வெப்ப உணர்திறன் செயல்முறைகளுக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது. மாறாக, கிடைமட்ட உலைகளின் செங்குத்து நிலைப்பாடு செதில் விளிம்புகளில் வெப்பநிலை மாறுபாடுகளை ஏற்படுத்தும் மற்றும் உள்ளூர் அழுத்த செறிவு அபாயத்தை அதிகரிக்கும்.

3. தானியங்கி செதில் கையாளுதலின் வசதி செங்குத்து உலைகளின் மற்றொரு முக்கியமான நன்மையாகும். கிடைமட்ட உலைகளை எடுக்க ரோபோ கைகள் தேவைசெதில்கள்ஒரு செங்குத்து நோக்குநிலையில், இது பொருத்துதல் துல்லியம் மற்றும் இறுக்கமான விசைக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றில் கடுமையான தேவைகளைக் கோருகிறது. செயல்பாட்டு முரண்பாடுகள் காரணமாக அவை செதில் உடைப்பு அபாயத்தை அதிகரிக்கின்றன. செங்குத்து உலைகளில், செதில்கள் கிடைமட்டமாக வைக்கப்படுகின்றன. வெற்றிட உறிஞ்சுதல் மூலம் ரோபோ கையால் தொடர்பு இல்லாத கையாளுதலை அடைய முடியும். காட்சி பொருத்துதல் அமைப்புடன் இணைந்து, கையாளுதல் துல்லியம் ± 0.1mm ஆக மேம்படுத்தப்பட்டு, ஒட்டுமொத்த ஆட்டோமேஷனை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது.