பொறித்தல் மற்றும் பொறிக்கப்பட்ட உருவவியல்

குறைக்கடத்தி சிப் தயாரிப்பு செயல்பாட்டில், நாம் ஒரு அரிசி தானியத்தில் ஒரு வானளாவிய கட்டிடத்தை உருவாக்குவது போன்றது. லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் ஒரு நகர திட்டமிடுபவர் போன்றது, "ஒளி"யைப் பயன்படுத்தி கட்டிடத்திற்கான வரைபடத்தை செதில் மீது வரைகிறது; பொறித்தல் என்பது துல்லியமான கருவிகளைக் கொண்ட ஒரு சிற்பியைப் போன்றது. இந்த "சேனல்களின்" குறுக்குவெட்டை நீங்கள் கவனமாகக் கவனித்தால், அவற்றின் வடிவங்கள் ஒரே மாதிரியாக இல்லை என்பதை நீங்கள் காண்பீர்கள்; சில ட்ரெப்சாய்டல் (மேலே அகலமாகவும் கீழே குறுகலாகவும் இருக்கும்), மற்றவை சரியான செவ்வகங்களாக (செங்குத்து பக்கச்சுவர்கள்) உள்ளன. இந்த வடிவங்கள் தன்னிச்சையானவை அல்ல; அவர்களுக்குப் பின்னால் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் கோட்பாடுகளின் சிக்கலான இடைவெளி உள்ளது, இது சிப்பின் செயல்திறனை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது.

I. பொறிப்பதற்கான அடிப்படைக் கோட்பாடுகள்: இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் விளைவுகளின் கலவை

பொறித்தல், எளிமையாகச் சொன்னால், ஒளிச்சேர்க்கையால் பாதுகாக்கப்படாத பொருளைத் தேர்ந்தெடுத்து அகற்றுவதாகும். இது முக்கியமாக இரண்டு வகைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது:

1. ஈரமான பொறித்தல்: பொறிப்பதற்கு இரசாயன கரைப்பான்களை (அமிலங்கள் மற்றும் காரங்கள் போன்றவை) பயன்படுத்துகிறது. இது அடிப்படையில் முற்றிலும் இரசாயன எதிர்வினை, மற்றும் பொறித்தல் திசையானது ஐசோட்ரோபிக் ஆகும் - அதாவது, இது அனைத்து திசைகளிலும் (முன், பின், இடது, வலது, மேல், கீழ்) ஒரே விகிதத்தில் செல்கிறது.

2. உலர் எட்ச்சிங் (பிளாஸ்மா எட்ச்சிங்): இதுதான் இன்றைய முக்கிய தொழில்நுட்பம். ஒரு வெற்றிட அறையில், செயல்முறை வாயுக்கள் (ஃவுளூரின் அல்லது குளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் போன்றவை) அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் பிளாஸ்மா ஒரு ரேடியோ அலைவரிசை மின்சாரம் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது. பிளாஸ்மாவில் உயர் ஆற்றல் அயனிகள் மற்றும் செயலில் உள்ள ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள் உள்ளன, அவை பொறிக்கப்பட்ட மேற்பரப்பில் ஒன்றாக வேலை செய்கின்றன.

உலர் செதுக்குதல் பல்வேறு வடிவங்களை துல்லியமாக உருவாக்க முடியும், ஏனெனில் அது "உடல் தாக்குதல்" மற்றும் "வேதியியல் தாக்குதல்" ஆகியவற்றை நெகிழ்வாக இணைக்க முடியும்:

வேதியியல் கலவை: செயலில் உள்ள ஃப்ரீ ரேடிக்கல்களுக்கு பொறுப்பு. அவை செதில் மேற்பரப்பு பொருட்களுடன் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரிந்து, ஆவியாகும் பொருட்களை உருவாக்குகின்றன, பின்னர் அவை அகற்றப்படுகின்றன. இந்த தாக்குதல் ஐசோட்ரோபிக் ஆகும், இது "கசக்கி" மற்றும் பக்கவாட்டில் பொறிக்க அனுமதிக்கிறது, எளிதில் ட்ரெப்சாய்டல் வடிவங்களை உருவாக்குகிறது.

இயற்பியல் அமைப்பு: நேர்மறையாக சார்ஜ் செய்யப்பட்ட உயர் ஆற்றல் அயனிகள், மின்சார புலத்தால் துரிதப்படுத்தப்பட்டு, செதில் மேற்பரப்பில் செங்குத்தாக குண்டு வீசுகின்றன. ஒரு மேற்பரப்பை மணல் அள்ளுவதைப் போலவே, இந்த "அயன் குண்டுவீச்சு" அனிசோட்ரோபிக், முதன்மையாக செங்குத்தாக கீழ்நோக்கி, மற்றும் பக்கச்சுவர்களை "நேராக-கோடு" செதுக்க முடியும்.

II. இரண்டு கிளாசிக் சுயவிவரங்களைப் புரிந்துகொள்வது: ட்ரேப்சாய்டுகள் மற்றும் செவ்வக சுயவிவரங்களின் பிறப்பு

1. ட்ரேப்சாய்டு (டேப்பர்ட் ப்ரொஃபைல்) - முதன்மையாக இரசாயன தாக்குதல்

உருவாக்கக் கொள்கை: இரசாயன பொறித்தல் செயல்பாட்டில் ஆதிக்கம் செலுத்தும் போது, ​​உடல் குண்டுவீச்சு பலவீனமாக இருக்கும்போது, ​​​​பின்வருபவை நிகழ்கின்றன: பொறித்தல் கீழ்நோக்கிச் செல்வது மட்டுமல்லாமல், ஒளிக்கதிர் முகமூடி மற்றும் வெளிப்படும் பக்கச்சுவர்களுக்குக் கீழே உள்ள பகுதியையும் பக்கவாட்டாக அரிக்கிறது. இது பாதுகாக்கப்பட்ட முகமூடியின் அடியில் உள்ள பொருளை படிப்படியாக "குழிவாக" உருவாக்குகிறது, இது ஒரு சாய்வான பக்கச்சுவரை உருவாக்குகிறது, இது மேலே அகலமாகவும் கீழே குறுகலாகவும் இருக்கும், அதாவது ஒரு ட்ரேப்சாய்டு.

நல்ல படி கவரேஜ்: அடுத்தடுத்த மெல்லிய பட படிவு செயல்முறைகளில், ட்ரேப்சாய்டின் சாய்வான அமைப்பு, செங்குத்தான மூலைகளில் எலும்பு முறிவுகளைத் தவிர்த்து, பொருட்களை (உலோகங்கள் போன்றவை) சமமாக மூடுவதை எளிதாக்குகிறது.

குறைக்கப்பட்ட மன அழுத்தம்: சாய்வான அமைப்பு மன அழுத்தத்தை சிறப்பாக சிதறடித்து, சாதனத்தின் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

1. ட்ரேப்சாய்டு (டேப்பர்ட் ப்ரொஃபைல்) - முதன்மையாக இரசாயன தாக்குதல்

2. செவ்வக (செங்குத்து சுயவிவரம்) - முதன்மையாக உடல்ரீதியான தாக்குதல்

உருவாக்கக் கொள்கை: இயற்பியல் அயனி குண்டுவீச்சு செயல்பாட்டில் ஆதிக்கம் செலுத்தும் போது, ​​வேதியியல் கலவை கவனமாகக் கட்டுப்படுத்தப்படும் போது, ​​ஒரு செவ்வக சுயவிவரம் உருவாகிறது. உயர் ஆற்றல் அயனிகள், எண்ணற்ற சிறிய எறிகணைகள் போன்றவை, செதில் மேற்பரப்பில் கிட்டத்தட்ட செங்குத்தாக குண்டுவீசி, மிக உயர்ந்த செங்குத்து பொறிப்பு விகிதங்களை அடைகின்றன. அதே நேரத்தில், அயன் குண்டுவீச்சு பக்கச்சுவர்களில் ஒரு "செயலற்ற அடுக்கு" (எ.கா. துணை தயாரிப்புகளை பொறிப்பதன் மூலம் உருவாக்கப்பட்டது) உருவாக்குகிறது; இந்த பாதுகாப்பு படம் ரசாயன ஃப்ரீ ரேடிக்கல்களிலிருந்து பக்கவாட்டு அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கிறது. இறுதியில், பொறித்தல் செங்குத்தாக கீழ்நோக்கி மட்டுமே தொடர முடியும், கிட்டத்தட்ட 90 டிகிரி பக்கச்சுவர்களுடன் ஒரு செவ்வக அமைப்பை செதுக்குகிறது.

மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளில், டிரான்சிஸ்டர் அடர்த்தி மிக அதிகமாக உள்ளது மற்றும் இடம் மிகவும் விலைமதிப்பற்றது.

அதிக நம்பகத்தன்மை: இது ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபிக் ப்ளூபிரிண்டுடன் அதிகபட்ச நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது, சாதனத்தின் துல்லியமான முக்கியமான பரிமாணங்களை (சிடி) உறுதி செய்கிறது.

பகுதியைச் சேமிக்கிறது: செங்குத்து கட்டமைப்புகள் சாதனங்களை குறைந்தபட்ச தடம், சிப் மினியேட்டரைசேஷனுக்கான திறவுகோலில் தயாரிக்க அனுமதிக்கின்றன.

செமிகோரெக்ஸ் துல்லியத்தை வழங்குகிறதுCVD SiC கூறுகள்செதுக்குவதில். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com