பொருத்தமான செதில்களைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது என்ன குறிகாட்டிகளுக்கு கவனம் செலுத்த வேண்டும்?

செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் வளர்ச்சி மற்றும் உற்பத்தியில் செதில் தேர்வு குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.வேஃபர்குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுக் காட்சிகளின் தேவைகளால் தேர்வு வழிநடத்தப்பட வேண்டும், மேலும் பின்வரும் முக்கியமான அளவீடுகளைப் பயன்படுத்தி கவனமாக மதிப்பீடு செய்யப்பட வேண்டும்.

1.மொத்த தடிமன் மாறுபாடு:

செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் வளர்ச்சி மற்றும் உற்பத்தியில் செதில் தேர்வு குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.

2. வில் மற்றும் வார்ப்:

வில் காட்டி செதில் மையப் பகுதியின் செங்குத்து ஆஃப்செட்டில் கவனம் செலுத்துகிறது, இது உள்ளூர் வளைவு நிலையை மட்டுமே பிரதிபலிக்கிறது. உள்ளூர் சமதளத்திற்கு உணர்திறன் கொண்ட காட்சிகளை மதிப்பிடுவதற்கு இது பொருத்தமானது. வார்ப் காட்டி ஒட்டுமொத்த தட்டையான தன்மை மற்றும் சிதைவை மதிப்பிடுவதற்கு பயனுள்ளதாக இருக்கும், ஏனெனில் இது முழு செதில் மேற்பரப்பின் விலகலைக் கருதுகிறது மற்றும் முழு செதில்களின் ஒட்டுமொத்த தட்டையானது பற்றிய தகவலை வழங்குகிறது.

3.துகள்:

செதில் மேற்பரப்பில் துகள் மாசுபடுவது சாதன உற்பத்தி மற்றும் செயல்திறனை பாதிக்கலாம், எனவே உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது துகள் உற்பத்தியைக் குறைப்பது மற்றும் மேற்பரப்பு துகள் மாசுபாட்டைக் குறைப்பதற்கும் அகற்றுவதற்கும் சிறப்பு துப்புரவு செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்துவது அவசியம்.

4. கடினத்தன்மை:

கடினத்தன்மை என்பது ஒரு செதில் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மையை நுண்ணிய அளவில் அளவிடும் ஒரு குறிகாட்டியைக் குறிக்கிறது, இது மேக்ரோஸ்கோபிக் பிளாட்னெஸிலிருந்து வேறுபட்டது. மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை குறைவாக இருப்பதால், மேற்பரப்பு மென்மையானது. சீரற்ற மெல்லிய ஃபிலிம் படிவு, மங்கலான ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபிக் பேட்டர்ன் விளிம்புகள் மற்றும் மோசமான மின் செயல்திறன் போன்ற சிக்கல்கள் அதிகப்படியான கடினத்தன்மையின் காரணமாக ஏற்படலாம்.

5. குறைபாடுகள்:

செதில் குறைபாடுகள் இயந்திர செயலாக்கத்தால் ஏற்படும் முழுமையற்ற அல்லது ஒழுங்கற்ற லேட்டிஸ் கட்டமைப்புகளைக் குறிக்கின்றன, இது மைக்ரோபைப்புகள், இடப்பெயர்வுகள், கீறல்கள் கொண்ட படிக சேத அடுக்குகளை உருவாக்குகிறது. இது செதில்களின் இயந்திர மற்றும் மின் பண்புகளை சேதப்படுத்தும், மேலும் இறுதியில் சிப் தோல்விக்கு வழிவகுக்கும்.

6. கடத்துத்திறன் வகை/டோபண்ட்:

ஊக்கமருந்து கூறுகளைப் பொறுத்து இரண்டு வகையான செதில்கள் n-வகை மற்றும் p-வகை ஆகும். கடத்துத்திறனை அடைய n-வகை செதில்கள் பொதுவாக குழு V கூறுகளுடன் டோப் செய்யப்படுகின்றன. பாஸ்பரஸ் (P), ஆர்சனிக் (As), மற்றும் ஆன்டிமனி (Sb) ஆகியவை பொதுவான ஊக்கமருந்து கூறுகள். பி-வகை செதில்கள் முதன்மையாக குரூப் III தனிமங்கள், பொதுவாக போரான் (பி) உடன் டோப் செய்யப்படுகின்றன. நீக்கப்படாத சிலிக்கான் உள்ளார்ந்த சிலிக்கான் என்று அழைக்கப்படுகிறது. அதன் உள் அணுக்கள் கோவலன்ட் பிணைப்புகளால் ஒன்றாக பிணைக்கப்பட்டு ஒரு திடமான கட்டமைப்பை உருவாக்குகின்றன, இது ஒரு மின்சார நிலையான இன்சுலேட்டராக அமைகிறது. இருப்பினும், உண்மையான உற்பத்தியில் அசுத்தங்கள் இல்லாத உள்ளார்ந்த சிலிக்கான் செதில்கள் எதுவும் இல்லை.

7. எதிர்ப்பாற்றல்:

செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் செயல்திறனை நேரடியாகப் பாதிக்கும் என்பதால், செதில் எதிர்ப்பைக் கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். செதில்களின் எதிர்ப்பை மாற்ற, உற்பத்தியாளர்கள் பொதுவாக அவற்றை டோப் செய்கிறார்கள். அதிக டோபான்ட் செறிவு குறைந்த எதிர்ப்பை விளைவிக்கிறது, அதே சமயம் குறைந்த டோபண்ட் செறிவு அதிக எதிர்ப்பை விளைவிக்கிறது.

முடிவில், செதில்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு முன், அடுத்தடுத்த செயல்முறை நிலைமைகள் மற்றும் உபகரண வரம்புகளைத் தெளிவுபடுத்துவது பரிந்துரைக்கப்படுகிறது, பின்னர், குறைக்கடத்தி சாதன மேம்பாட்டு சுழற்சியைக் குறைத்தல் மற்றும் உற்பத்திச் செலவுகளை மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றின் இரட்டை இலக்குகளை உறுதிப்படுத்த, மேலே உள்ள குறிகாட்டிகளின் அடிப்படையில் உங்கள் தேர்வை மேற்கொள்ளுங்கள்.