உலர் எட்ச்சிங்கிற்கான சிலிக்கான் கூறுகள்

உலர் எச்சிங் கருவிகள் பொறிப்பதற்கு ஈரமான இரசாயனங்கள் பயன்படுத்துவதில்லை. இது முதன்மையாக சிறிய துளைகள் கொண்ட மேல் மின்முனையின் மூலம் அறைக்குள் ஒரு வாயு பொறியை அறிமுகப்படுத்துகிறது. மேல் மற்றும் கீழ் மின்முனைகளால் உருவாக்கப்படும் மின்சார புலம் வாயு எச்சனை அயனியாக்குகிறது, பின்னர் அது செதில் பொறிக்கப்பட வேண்டிய பொருட்களுடன் வினைபுரிந்து ஆவியாகும் பொருட்களை உருவாக்குகிறது. இந்த ஆவியாகும் பொருட்கள் எதிர்வினை அறையிலிருந்து பிரித்தெடுக்கப்பட்டு, செதுக்கும் செயல்முறையை நிறைவு செய்கின்றன.

உலர் பொறித்தல் எதிர்வினை ஒரு செயல்முறை அறைக்குள் நடைபெறுகிறது, இது முதன்மையாகக் கொண்டுள்ளதுசிலிக்கான் கூறுகள், ஒரு சிலிக்கான் வெளியேற்ற வளையம், ஒரு சிலிக்கான் வெளிப்புற வளையம், ஒரு சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட், ஒரு சிலிக்கான் ஃபோகஸ் ரிங் மற்றும் ஒரு சிலிக்கான் ஷீல்ட் ரிங் உட்பட.

உலர்ந்த செதுக்கல் அறையில், சிலிக்கான் செதில் பொதுவாக சிலிக்கான் ஃபோகஸ் வளையத்திற்குள் வைக்கப்படுகிறது. இந்த கலவையானது நேர்மறை மின்முனையாக செயல்படுகிறது, இது செதுக்கல் அறைக்கு கீழே அமைந்துள்ளது. அறைக்கு மேலே அமைந்துள்ள, அடர்த்தியாக நிரம்பிய சிறிய துளைகள் கொண்ட சிலிக்கான் வட்டு எதிர்மறை மின்முனையாக செயல்படுகிறது. ஒரு சிலிக்கான் வெளிப்புற வளையம் மேல் மின்முனை மற்றும் பிற தொடர்புடைய கூறுகளை ஆதரிக்கிறது. மேல் மற்றும் கீழ் மின்முனைகள் பிளாஸ்மாவுடன் நேரடி தொடர்பில் உள்ளன. பிளாஸ்மா சிலிக்கான் செதில்களை பொறிக்கும்போது, ​​​​அது மேல் மற்றும் கீழ் சிலிக்கான் மின்முனைகளையும் அணிந்துகொள்கிறது. கீழ் மின்முனை (ஃபோகசிங் ரிங்) பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது படிப்படியாக மெல்லியதாகிறது, தடிமன் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவை அடையும் போது மாற்றீடு தேவைப்படுகிறது. மேலும், மேல் மின்முனையில் (ஷவர்ஹெட்) சீராக விநியோகிக்கப்படும் துளைகள் பிளாஸ்மாவால் அரிக்கப்பட்டு, துளை அளவு மாறுபாடுகளை ஏற்படுத்துகிறது. இந்த மாறுபாடுகள் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவை அடைந்தவுடன், அவை மாற்றப்பட வேண்டும். பொதுவாக, ஒவ்வொரு 2-4 வாரங்களுக்கும் ஒரு மாற்று சுழற்சி தேவைப்படுகிறது.

இந்த பிரிவு குறிப்பாக சிலிக்கான் ஃபோகசிங் வளையத்தின் (கீழ் மின்முனை) பங்கை விளக்குகிறது. இது பிளாஸ்மா உறையின் தடிமனைக் கட்டுப்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் அயன் குண்டுவீச்சின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மா உறை, பிளாஸ்மாவிற்கும் கப்பல் சுவருக்கும் இடையில் நடுநிலை இல்லாத பகுதி, பிளாஸ்மாவுக்குள் ஒரு முக்கியமான மற்றும் தனித்துவமான பகுதி. பிளாஸ்மா நேர்மறை அயனிகள் மற்றும் எலக்ட்ரான்களின் சம எண்ணிக்கையைக் கொண்டுள்ளது. எலக்ட்ரான்கள் அயனிகளை விட வேகமாக பயணிப்பதால், அவை முதலில் கப்பல் சுவரை அடைகின்றன. பிளாஸ்மா கப்பல் சுவருடன் ஒப்பிடும்போது நேர்மறையாக சார்ஜ் செய்யப்படுகிறது. உறை மின்சார புலம் பிளாஸ்மாவுக்குள் அயனிகளை துரிதப்படுத்துகிறது (நேர்மறை-எதிர்மறை ஈர்ப்பு), அயனிகளுக்கு அதிக ஆற்றலை அளிக்கிறது. இந்த உயர்-ஆற்றல் அயன் ஃப்ளக்ஸ் பூச்சு, பொறித்தல் மற்றும் ஸ்பட்டரிங் ஆகியவற்றை செயல்படுத்துகிறது.

உலர் எச்சிங் கருவிகள் பொறிப்பதற்கு ஈரமான இரசாயனங்கள் பயன்படுத்துவதில்லை. இது முதன்மையாக சிறிய துளைகள் கொண்ட மேல் மின்முனையின் மூலம் அறைக்குள் ஒரு வாயு பொறியை அறிமுகப்படுத்துகிறது. மேல் மற்றும் கீழ் மின்முனைகளால் உருவாக்கப்படும் மின்சார புலம் வாயு எச்சனை அயனியாக்குகிறது, பின்னர் அது செதில் பொறிக்கப்பட வேண்டிய பொருட்களுடன் வினைபுரிந்து ஆவியாகும் பொருட்களை உருவாக்குகிறது. இந்த ஆவியாகும் பொருட்கள் எதிர்வினை அறையிலிருந்து பிரித்தெடுக்கப்பட்டு, செதுக்கும் செயல்முறையை நிறைவு செய்கின்றன.

செதில்களைச் சுற்றியுள்ள ஃபோகஸ் வளையத்தை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், குவார்ட்ஸ், அதன் உயர் தூய்மையுடன், குறைந்த உலோக மாசுபாட்டை அடைவதற்கு உகந்தது, இது ஃவுளூரைடு வாயு பிளாஸ்மாவில் விரைவாக அரிக்கப்படுகிறது, இதன் விளைவாக குறுகிய ஆயுட்காலம் ஏற்படுகிறது. இது செலவுகளை அதிகரிப்பது மட்டுமல்லாமல், மாற்றியமைப்பதால் வேலையில்லா நேரமும் தேவைப்படுகிறது, இது உபகரணங்களின் நேரத்தைக் குறைக்கிறது. செராமிக், போதுமான நீண்ட ஆயுளைக் கொண்டிருக்கும் போது, ​​உயர் ஆற்றல் அயனி குண்டுவீச்சுக்கு வெளிப்படும். சிதறிய அலுமினியம் பிளாஸ்மாவில் உள்ள ஃவுளூரைனுடன் வினைபுரிந்து ஆவியாகாத ஃவுளூரைடுகளை (அலுமினியம் புளோரைடு போன்றவை) உருவாக்குகிறது. இவற்றை அகற்றி, சாதனத்தின் மேற்பரப்பில் வைக்க முடியாவிட்டால் அல்லது செதில் விளிம்பில் ஒளிச்சேர்க்கை செய்ய முடியாவிட்டால், அவை உருவாக்கப்படும் ஃவுளூரைடுகளை அடுத்தடுத்து அகற்றுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட், தயாரிப்பு விளைச்சலை பாதிக்கிறது. மிகவும் பொருத்தமான பொருட்கள் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு. இருப்பினும், ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மலிவானது, ஆனால் குறுகிய ஆயுட்காலம் கொண்டது, அதே சமயம் சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக விலை கொண்டது ஆனால் சற்று நீண்ட ஆயுட்காலம் கொண்டது. இந்த இரண்டு விருப்பங்களுக்கும் இடையிலான வர்த்தகம் குறிப்பிட்ட சூழ்நிலைகளைப் பொறுத்தது. எடுத்துக்காட்டாக, உபகரணங்களின் பயன்பாடு அதிகமாகவும், வேலை நேரம் முக்கியமானதாகவும் இருந்தால், சிலிக்கான் கார்பைடு பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். கூறுகளின் தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் செலவுகள் மிக அதிகமாக இல்லை என்றால், ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுசிலிக்கான் பாகங்கள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com