செதில் உற்பத்தி

தொழில்நுட்பம் முன்னேறும்போது, ​​தேவைசெதில்கள்தொடர்ந்து உயர்கிறது. தற்போது, ​​உள்நாட்டு சந்தையில் சிலிக்கான் செதில்களின் முக்கிய அளவுகள் 100 மிமீ, 150 மிமீ மற்றும் 200 மிமீ ஆகும். சிலிக்கானின் விட்டம் அதிகரிக்கும்செதில்கள்ஒவ்வொரு சிப்பின் உற்பத்திச் செலவைக் குறைக்கலாம், இது 300மிமீ சிலிக்கான் செதில்களின் தேவையை அதிகரிக்கும். இருப்பினும், பெரிய விட்டம், செதில் மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை, சுவடு தூய்மையற்ற கட்டுப்பாடு, உள் குறைபாடுகள் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் போன்ற முக்கிய அளவுருக்கள் மீது கடுமையான தேவைகளை விதிக்கிறது. இதன் விளைவாக, செதில் உற்பத்தியானது சிப் தயாரிப்பில் ஆராய்ச்சியின் முதன்மை மையமாக மாறியுள்ளது.

செதில் உற்பத்தியை ஆராய்வதற்கு முன், அடிப்படை படிக அமைப்பைப் புரிந்துகொள்வது அவசியம்.

பொருட்களின் உள் அணு அமைப்பில் உள்ள வேறுபாடு அவற்றுக்கிடையே வேறுபடுத்துவதில் ஒரு முக்கிய காரணியாகும். சிலிக்கான் மற்றும் ஜெர்மானியம் போன்ற படிகப் பொருட்கள், அணுக்கள் ஒரு நிலையான கால கட்டமைப்பில் அமைக்கப்பட்டிருக்கின்றன, அதே சமயம் பிளாஸ்டிக் போன்ற படிகமற்ற பொருட்களுக்கு இந்த ஒழுங்குமுறை ஏற்பாடு இல்லை. சிலிக்கான் அதன் தனித்துவமான அமைப்பு, சாதகமான இரசாயன பண்புகள், இயற்கை மிகுதி மற்றும் பிற நன்மைகள் காரணமாக செதில்களுக்கான முதன்மைப் பொருளாக உருவெடுத்துள்ளது.

படிகப் பொருட்கள் அணு அமைப்பின் இரண்டு நிலைகளைக் கொண்டுள்ளன. முதல் நிலை என்பது தனித்தனி அணுக்களின் கட்டமைப்பாகும், இது ஒரு யூனிட் கலத்தை உருவாக்குகிறது, இது படிகம் முழுவதும் அவ்வப்போது மீண்டும் மீண்டும் செய்யப்படுகிறது. இரண்டாவது நிலை இந்த அலகு செல்களின் ஒட்டுமொத்த ஏற்பாட்டைக் குறிக்கிறது, இது லட்டு அமைப்பு என அழைக்கப்படுகிறது, அங்கு அணுக்கள் லட்டுக்குள் குறிப்பிட்ட நிலைகளை ஆக்கிரமிக்கின்றன. அலகு கலத்தில் உள்ள அணுக்களின் எண்ணிக்கை, அவற்றின் உறவினர் நிலைகள் மற்றும் அவற்றுக்கிடையே உள்ள பிணைப்பு ஆற்றல் ஆகியவை பொருளின் பல்வேறு பண்புகளை தீர்மானிக்கின்றன. சிலிக்கான் படிக அமைப்பு ஒரு வைர அமைப்பாக வகைப்படுத்தப்படுகிறது, இது இரண்டு செட் முகத்தை மையமாகக் கொண்ட கனசதுர லட்டுகளால் ஆனது, மூலைவிட்ட நீளத்தின் கால் பகுதியால் மூலைவிட்டத்தில் ஈடுசெய்யப்படுகிறது.

ஒரு உலகளாவிய முப்பரிமாண செவ்வக ஒருங்கிணைப்பு அமைப்பைப் பயன்படுத்துவதற்குப் பதிலாக, படிகங்களில் உள்ள காலநிலை மற்றும் சமச்சீரின் பண்புகள் அணுக்களின் நிலைகளை விவரிக்க ஒரு எளிய முறை தேவை. ஒரு படிகத்தின் அணு விநியோகத்தை அதன் லட்டு கால இடைவெளியின் அடிப்படையில் சிறப்பாக விவரிக்க, மூன்று வழிகாட்டும் கொள்கைகளின்படி ஒரு யூனிட் கலத்தைத் தேர்ந்தெடுக்கிறோம். இந்த அலகு செல் படிகத்தின் காலநிலை மற்றும் சமச்சீர்மையை திறம்பட பிரதிபலிக்கிறது மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் வரும் சிறிய அலகாக செயல்படுகிறது. யூனிட் கலத்திற்குள் அணு ஒருங்கிணைப்புகள் தீர்மானிக்கப்பட்டவுடன், முழு படிகத்திலும் உள்ள துகள்களின் ஒப்பீட்டு நிலைகளை நாம் எளிதாக ஊகிக்க முடியும். யூனிட் கலத்தின் மூன்று விளிம்பு திசையன்களின் அடிப்படையில் ஒரு ஒருங்கிணைப்பு அமைப்பை நிறுவுவதன் மூலம், படிக அமைப்பை கணிசமாக விவரிக்கும் செயல்முறையை நாம் எளிதாக்கலாம்.

ஒரு படிக விமானம் என்பது ஒரு படிகத்திற்குள் அணுக்கள், அயனிகள் அல்லது மூலக்கூறுகளின் ஏற்பாட்டால் உருவாக்கப்பட்ட ஒரு தட்டையான மேற்பரப்பு என வரையறுக்கப்படுகிறது. மாறாக, ஒரு படிக திசை இந்த அணு ஏற்பாடுகளின் ஒரு குறிப்பிட்ட நோக்குநிலையைக் குறிக்கிறது.

மில்லர் குறியீடுகளைப் பயன்படுத்தி படிக விமானங்கள் குறிப்பிடப்படுகின்றன. பொதுவாக, அடைப்புக்குறிகள் () படிகத் தளங்களைக் குறிக்கின்றன, சதுர அடைப்புக்குறிகள் [] படிகத் திசைகளைக் குறிக்கின்றன, கோண அடைப்புக்குறிகள் <> படிகத் திசைகளின் குடும்பங்களைக் குறிக்கின்றன, மேலும் சுருள் அடைப்புக்குறிகள் {} படிகத் தளங்களின் குடும்பங்களைக் குறிக்கின்றன. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், சிலிக்கான் செதில்களுக்கு பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் படிக விமானங்கள் (100), (110), மற்றும் (111). ஒவ்வொரு படிக விமானமும் தனிப்பட்ட குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளது, அவை வெவ்வேறு உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன.

எடுத்துக்காட்டாக, (100) படிக விமானங்கள் MOS சாதனங்களின் உற்பத்தியில் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஏனெனில் அவற்றின் சாதகமான மேற்பரப்பு பண்புகள், அவை வாசலில் மின்னழுத்தத்தின் மீதான கட்டுப்பாட்டை எளிதாக்குகின்றன. கூடுதலாக, (100) படிக விமானங்கள் கொண்ட செதில்கள் செயலாக்கத்தின் போது கையாள எளிதானது மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் தட்டையான மேற்பரப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை உருவாக்குவதற்கு சிறந்தவை. மாறாக, (111) படிக விமானங்கள், அதிக அணு அடர்த்தி மற்றும் குறைந்த வளர்ச்சி செலவுகள், பெரும்பாலும் இருமுனை சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. விதை படிகத்தின் சரியான திசையைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம் வளர்ச்சியின் போது படிக திசையை கவனமாக நிர்வகிப்பதன் மூலம் இந்த விமானங்களை அடைய முடியும்.

(100) படிக விமானம் Y-Z அச்சுக்கு இணையாக உள்ளது மற்றும் அலகு மதிப்பு 1 இருக்கும் இடத்தில் X- அச்சை வெட்டுகிறது. (110) படிக விமானம் X மற்றும் Y அச்சுகள் இரண்டையும் வெட்டுகிறது, அதே நேரத்தில் (111) படிக விமானம் வெட்டுகிறது. மூன்று அச்சுகளும்: X, Y மற்றும் Z.

ஒரு கட்டமைப்பு கண்ணோட்டத்தில், (100) படிக விமானம் ஒரு சதுர வடிவத்தை உருவாக்குகிறது, அதே சமயம் (111) படிக விமானம் ஒரு முக்கோண வடிவத்தை எடுக்கும். வெவ்வேறு படிக விமானங்களுக்கிடையே உள்ள கட்டமைப்பில் உள்ள மாறுபாடுகள் காரணமாக, ஒரு செதில் உடைக்கும் விதமும் வேறுபடுகிறது. <100> உடன் நோக்கிய செதில்கள் சதுர வடிவங்களாக உடைந்து அல்லது செங்கோணத்தில் (90°) முறிவுகளை உருவாக்குகின்றன, அதே சமயம் <111> நோக்கியவை முக்கோணத் துண்டுகளாக உடைகின்றன.

படிகங்களின் உள் கட்டமைப்புகளுடன் தொடர்புடைய தனித்துவமான இரசாயன, மின் மற்றும் இயற்பியல் பண்புகள் கொடுக்கப்பட்டால், செதில்களின் குறிப்பிட்ட படிக நோக்குநிலை அதன் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை கணிசமாக பாதிக்கிறது. இதன் விளைவாக, தயாரிப்பு செயல்பாட்டின் போது படிக நோக்குநிலை மீது கடுமையான கட்டுப்பாட்டை பராமரிப்பது மிகவும் முக்கியமானது.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுகுறைக்கடத்தி செதில்கள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com