செமிகண்டக்டர் அயன் இம்ப்ளான்டேஷன் தொழில்நுட்பம் என்றால் என்ன?

எப்படி செய்கிறதுஅயன் உள்வைப்புationவேலையா?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், அயனி பொருத்துதல் என்பது ஆர்சனிக் அல்லது போரான் போன்ற குறிப்பிட்ட தூய்மையற்ற அணுக்களை உட்செலுத்த உயர் ஆற்றல் முடுக்கிகளைப் பயன்படுத்துவதை உள்ளடக்குகிறது.சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு. சிலிக்கான், கால அட்டவணையில் 14 வது இடத்தில் உள்ளது, அதன் நான்கு வெளிப்புற எலக்ட்ரான்களை அண்டை அணுக்களுடன் பகிர்ந்து கொள்வதன் மூலம் கோவலன்ட் பிணைப்புகளை உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறை சிலிக்கானின் மின் பண்புகளை மாற்றுகிறது, டிரான்சிஸ்டர் வாசல் மின்னழுத்தங்களை சரிசெய்து மூல மற்றும் வடிகால் கட்டமைப்புகளை உருவாக்குகிறது.

ஒரு இயற்பியலாளர் சிலிக்கான் லேட்டிஸில் வெவ்வேறு அணுக்களை அறிமுகப்படுத்துவதன் விளைவுகளை ஒருமுறை யோசித்தார். ஐந்து வெளிப்புற எலக்ட்ரான்களைக் கொண்ட ஆர்சனிக் சேர்ப்பதன் மூலம், ஒரு எலக்ட்ரான் சுதந்திரமாக இருக்கும், சிலிக்கானின் கடத்துத்திறனை அதிகரிக்கிறது மற்றும் அதை n-வகை குறைக்கடத்தியாக மாற்றுகிறது. மாறாக, போரானை அறிமுகப்படுத்துவது, மூன்று வெளிப்புற எலக்ட்ரான்கள் மட்டுமே, நேர்மறை துளையை உருவாக்குகிறது, இதன் விளைவாக p-வகை குறைக்கடத்தி உருவாகிறது. சிலிக்கான் லேட்டிஸில் வெவ்வேறு கூறுகளை இணைக்கும் இந்த முறை அயன் உள்வைப்பு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

கூறுகள் என்னஅயன் உள்வைப்புஉபகரணமா?

அயன் பொருத்துதல் கருவி பல முக்கிய கூறுகளைக் கொண்டுள்ளது: ஒரு அயனி மூலம், ஒரு மின்சார முடுக்கம் அமைப்பு, ஒரு வெற்றிட அமைப்பு, ஒரு பகுப்பாய்வு காந்தம், ஒரு பீம் பாதை, ஒரு பிந்தைய முடுக்கம் அமைப்பு மற்றும் ஒரு உள்வைப்பு அறை. அயனி மூலமானது முக்கியமானது, ஏனெனில் இது அணுக்களிலிருந்து எலக்ட்ரான்களை அகற்றி நேர்மறை அயனிகளை உருவாக்குகிறது, பின்னர் அவை அயனி கற்றை உருவாக்க பிரித்தெடுக்கப்படுகின்றன.

இந்த கற்றை ஒரு வெகுஜன பகுப்பாய்வு தொகுதி வழியாக செல்கிறது, குறைக்கடத்தி மாற்றத்திற்கு தேவையான அயனிகளை தேர்ந்தெடுத்து தனிமைப்படுத்துகிறது. வெகுஜன பகுப்பாய்விற்குப் பிறகு, உயர்-தூய்மை அயனி கற்றை மையப்படுத்தப்பட்டு வடிவமைத்து, தேவையான ஆற்றலுக்கு துரிதப்படுத்தப்பட்டு, முழுவதும் ஒரே மாதிரியாக ஸ்கேன் செய்யப்படுகிறது.குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு. உயர்-ஆற்றல் அயனிகள் பொருளை ஊடுருவி, லட்டுக்குள் உட்பொதிக்கிறது, இது சில பயன்பாடுகளுக்கு நன்மை பயக்கும் குறைபாடுகளை உருவாக்கலாம், அதாவது சில்லுகள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் பகுதிகளை தனிமைப்படுத்துதல். மற்ற பயன்பாடுகளுக்கு, அனீலிங் சுழற்சிகள் சேதத்தை சரிசெய்யவும், டோபண்டுகளை செயல்படுத்தவும், பொருள் கடத்துத்திறனை மேம்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அயன் பொருத்துதலின் கோட்பாடுகள் என்ன?

அயன் பொருத்துதல் என்பது டோபண்டுகளை குறைக்கடத்திகளில் அறிமுகப்படுத்துவதற்கான ஒரு நுட்பமாகும், இது ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட சுற்றுத் தயாரிப்பில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. செயல்முறை உள்ளடக்கியது:

அயனி சுத்திகரிப்பு: வெவ்வேறு எலக்ட்ரான் மற்றும் புரோட்டான் எண்களைக் கொண்டு, மூலத்திலிருந்து உருவாக்கப்படும் அயனிகள், நேர்மறை/எதிர்மறை அயனி கற்றையை உருவாக்க முடுக்கிவிடப்படுகின்றன. விரும்பிய அயனி தூய்மையை அடைவதற்காக, சார்ஜ்-டு-மாஸ் விகிதத்தின் அடிப்படையில் அசுத்தங்கள் வடிகட்டப்படுகின்றன.

அயன் ஊசி: முடுக்கப்பட்ட அயனி கற்றை இலக்கு படிக மேற்பரப்பில் ஒரு குறிப்பிட்ட கோணத்தில் இயக்கப்படுகிறது, ஒரே மாதிரியான கதிர்வீச்சுசெதில். மேற்பரப்பில் ஊடுருவிய பிறகு, அயனிகள் மோதலுக்கு உள்ளாகின்றன மற்றும் லட்டுக்குள் சிதறி, இறுதியில் ஒரு குறிப்பிட்ட ஆழத்தில் குடியேறி, பொருளின் பண்புகளை மாற்றியமைக்கின்றன. குறிப்பிட்ட சுற்றுப் பகுதிகளின் துல்லியமான மின் மாற்றங்களை அனுமதிக்கும், உடல் அல்லது இரசாயன முகமூடிகளைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்ட ஊக்கமருந்துகளை அடையலாம்.

டோபண்டுகளின் எதிர்பார்க்கப்படும் ஆழமான விநியோகம் பீமின் ஆற்றல், கோணம் மற்றும் செதில்களின் பொருள் பண்புகளால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.

நன்மைகள் மற்றும் வரம்புகள் என்னஅயன் உள்வைப்பு?

நன்மைகள்:

டோபான்ட்களின் பரவலான வரம்பு: துல்லியமான அயனித் தேர்வின் மூலம் உயர் தூய்மையுடன், கால அட்டவணையில் இருந்து கிட்டத்தட்ட அனைத்து உறுப்புகளையும் பயன்படுத்தலாம்.

துல்லியமான கட்டுப்பாடு: அயன் கற்றையின் ஆற்றல் மற்றும் கோணத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும், இது டோபண்டுகளின் துல்லியமான ஆழம் மற்றும் செறிவு விநியோகத்தை அனுமதிக்கிறது.

நெகிழ்வுத்தன்மை: அயன் பொருத்துதல் என்பது செதில்களின் கரைதிறன் வரம்புகளால் வரையறுக்கப்படவில்லை, மற்ற முறைகளை விட அதிக செறிவுகளை அனுமதிக்கிறது.

சீரான ஊக்கமருந்து: பெரிய பகுதி சீரான ஊக்கமருந்து அடையக்கூடியது.

வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: பொருத்தும் போது செதில்களின் வெப்பநிலையை கட்டுப்படுத்தலாம்.

வரம்புகள்:

ஆழமற்ற ஆழம்: பொதுவாக மேற்பரப்பில் இருந்து சுமார் ஒரு மைக்ரான் வரை வரையறுக்கப்பட்டுள்ளது.

மிகவும் ஆழமற்ற பொருத்துதலில் உள்ள சிரமங்கள்: குறைந்த ஆற்றல் கற்றைகளை கட்டுப்படுத்துவது கடினம், செயல்முறை நேரம் மற்றும் செலவு அதிகரிக்கும்.

லட்டு சேதம்: அயனிகள் லேட்டிஸை சேதப்படுத்தலாம், டோபான்ட்களை சரிசெய்து செயல்படுத்துவதற்கு பிந்தைய உள்வைப்பு அனீலிங் தேவைப்படுகிறது.

அதிக செலவு: உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை செலவுகள் குறிப்பிடத்தக்கவை.

Semicorex இல் நாங்கள் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம்தனியுரிம CVD பூச்சுடன் கிராஃபைட்/செராமிக்ஸ்அயன் பொருத்துதலில் தீர்வுகள், உங்களுக்கு ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி: +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com