2024-12-31
அயனி இம்ப்லான்டேஷன் என்பது டோபண்ட் அயனிகளை அதன் மின் பண்புகளை மாற்ற சிலிக்கான் செதில்களில் முடுக்கி பொருத்துவது. அனீலிங் என்பது ஒரு வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறையாகும், இது உள்வைப்பு செயல்முறையால் ஏற்படும் லேட்டிஸ் சேதத்தை சரிசெய்ய செதில்களை வெப்பப்படுத்துகிறது மற்றும் விரும்பிய மின் பண்புகளை அடைய டோபண்ட் அயனிகளை செயல்படுத்துகிறது.
1. அயன் பொருத்துதலின் நோக்கம்
அயன் பொருத்துதல் என்பது நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும். இந்த நுட்பம் டோபண்டுகளின் வகை, செறிவு மற்றும் விநியோகம் ஆகியவற்றின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது, அவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் பி-வகை மற்றும் என்-வகை பகுதிகளை உருவாக்குவதற்கு அவசியமானவை. இருப்பினும், அயனி பொருத்துதல் செயல்முறை செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஒரு சேத அடுக்கை உருவாக்கலாம் மற்றும் படிகத்திற்குள் உள்ள லட்டு கட்டமைப்பை சீர்குலைக்கலாம், இது சாதனத்தின் செயல்திறனை எதிர்மறையாக பாதிக்கிறது.
2. அனீலிங் செயல்முறை
இந்த சிக்கல்களைத் தீர்க்க, அனீலிங் செய்யப்படுகிறது. இந்த செயல்முறையானது செதில்களை ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலைக்கு சூடாக்கி, அந்த வெப்பநிலையை ஒரு குறிப்பிட்ட காலத்திற்கு பராமரித்து, பின்னர் அதை குளிர்விக்கும். வெப்பமாக்கல் படிகத்திற்குள் உள்ள அணுக்களை மறுசீரமைக்கவும், அதன் முழுமையான லட்டு கட்டமைப்பை மீட்டெடுக்கவும், மற்றும் டோபண்ட் அயனிகளை செயல்படுத்தவும் உதவுகிறது, இது லட்டுகளில் அவற்றின் பொருத்தமான நிலைகளுக்கு செல்ல அனுமதிக்கிறது. இந்த தேர்வுமுறை குறைக்கடத்தியின் கடத்தும் பண்புகளை மேம்படுத்துகிறது.
3. அனீலிங் வகைகள்
ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ), ஃபர்னஸ் அனீலிங் மற்றும் லேசர் அனீலிங் என பல வகைகளாக அனீலிங் வகைப்படுத்தலாம். RTA என்பது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறையாகும், இது செதில்களின் மேற்பரப்பை விரைவாக வெப்பப்படுத்த உயர்-சக்தி ஒளி மூலத்தைப் பயன்படுத்துகிறது; செயலாக்க நேரம் பொதுவாக சில வினாடிகள் முதல் சில நிமிடங்கள் வரை இருக்கும். உலை அனீலிங் நீண்ட காலத்திற்கு உலைகளில் நடத்தப்படுகிறது, மேலும் சீரான வெப்ப விளைவை அடைகிறது. லேசர் அனீலிங் செதில்களின் மேற்பரப்பை விரைவாக வெப்பப்படுத்த உயர் ஆற்றல் கொண்ட லேசர்களைப் பயன்படுத்துகிறது, இது மிக அதிக வெப்ப விகிதங்கள் மற்றும் உள்ளூர் வெப்பமாக்கலை அனுமதிக்கிறது.
4. சாதன செயல்திறனில் அனீலிங் தாக்கம்
குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கு முறையான அனீலிங் அவசியம். இந்த செயல்முறை அயனி பொருத்துதலால் ஏற்படும் சேதத்தை சரிசெய்வது மட்டுமல்லாமல், விரும்பிய மின் பண்புகளை அடைய டோபன்ட் அயனிகள் போதுமான அளவு செயல்படுத்தப்படுவதையும் உறுதி செய்கிறது. அனீலிங் முறையற்ற முறையில் நடத்தப்பட்டால், அது வேஃபரில் குறைபாடுகள் அதிகரிக்க வழிவகுக்கும், இது சாதனத்தின் செயல்திறனை மோசமாக பாதிக்கும் மற்றும் சாதனம் செயலிழப்பை ஏற்படுத்தும்.
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பிந்தைய அயனி இம்ப்லாண்டேஷன் அனீலிங் ஒரு முக்கிய படியாகும், இது செதில்களுக்கான கவனமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறையை உள்ளடக்கியது. அனீலிங் நிலைமைகளை மேம்படுத்துவதன் மூலம், செதில்களின் லேட்டிஸ் கட்டமைப்பை மீட்டெடுக்கலாம், டோபண்ட் அயனிகளை செயல்படுத்தலாம் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்தலாம். குறைக்கடத்தி செயலாக்க தொழில்நுட்பம் தொடர்ந்து முன்னேறி வருவதால், சாதனங்களின் அதிகரித்து வரும் செயல்திறன் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய அனீலிங் முறைகளும் உருவாகி வருகின்றன.
செமிகோரெக்ஸ் சலுகைகள்அனீலிங் செயல்முறைக்கான உயர்தர தீர்வுகள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907
மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com