2024-12-03
குறைக்கடத்தி பொருட்களின் தனித்துவமான பண்புகளில் ஒன்று, அவற்றின் கடத்துத்திறன் மற்றும் அவற்றின் கடத்துத்திறன் வகை (N-வகை அல்லது P-வகை), ஊக்கமருந்து எனப்படும் செயல்முறை மூலம் உருவாக்கி கட்டுப்படுத்த முடியும். இது செதில்களின் மேற்பரப்பில் சந்திப்புகளை உருவாக்க, டோபண்டுகள் எனப்படும் சிறப்பு அசுத்தங்களை பொருளில் அறிமுகப்படுத்துகிறது. தொழில்துறை இரண்டு முக்கிய ஊக்கமருந்து நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துகிறது: வெப்ப பரவல் மற்றும் அயனி பொருத்துதல்.
வெப்பப் பரவலில், சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கில் உள்ள திறப்புகளைப் பயன்படுத்தி, செதில்களின் மேல் அடுக்கின் வெளிப்படும் மேற்பரப்பில் டோபண்ட் பொருட்கள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன. வெப்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், இந்த டோபண்டுகள் செதில்களின் உடலில் பரவுகின்றன. இந்த பரவலின் அளவு மற்றும் ஆழம் இரசாயனக் கொள்கைகளிலிருந்து பெறப்பட்ட குறிப்பிட்ட விதிகளால் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது உயர்ந்த வெப்பநிலையில் டோபண்டுகள் எவ்வாறு செதில்களுக்குள் நகரும் என்பதை ஆணையிடுகிறது.
இதற்கு நேர்மாறாக, அயன் உள்வைப்பு என்பது செதில்களின் மேற்பரப்பில் நேரடியாக டோபண்ட் பொருட்களை உட்செலுத்துவதை உள்ளடக்கியது. அறிமுகப்படுத்தப்பட்ட பெரும்பாலான டோபண்ட் அணுக்கள் மேற்பரப்பு அடுக்குக்கு கீழே நிலையானதாக இருக்கும். வெப்பப் பரவலைப் போலவே, இந்த பொருத்தப்பட்ட அணுக்களின் இயக்கமும் பரவல் விதிகளால் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. அயன் பொருத்துதல் என்பது பழைய வெப்பப் பரவல் நுட்பத்தை பெருமளவில் மாற்றியமைத்துள்ளது மற்றும் இப்போது சிறிய மற்றும் மிகவும் சிக்கலான சாதனங்களின் உற்பத்தியில் இன்றியமையாததாக உள்ளது.
பொதுவான ஊக்கமருந்து செயல்முறைகள் மற்றும் பயன்பாடுகள்
1.டிஃப்யூஷன் டோப்பிங்: இந்த முறையில், அசுத்த அணுக்கள் உயர்-வெப்பநிலை பரவல் உலையைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் செதில்களாகப் பரவுகின்றன, இது ஒரு பரவல் அடுக்கை உருவாக்குகிறது. இந்த நுட்பம் முதன்மையாக பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் நுண்செயலிகளை தயாரிப்பதில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
2.அயன் இம்ப்லான்டேஷன் டோப்பிங்: இந்த செயல்முறையானது அயனி இம்ப்லான்டருடன் சிலிக்கான் வேஃபருக்குள் அசுத்த அயனிகளை நேரடியாக செலுத்தி, அயனி உள்வைப்பு அடுக்கை உருவாக்குகிறது. இது அதிக ஊக்கமருந்து செறிவு மற்றும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது, இது உயர் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் உயர் செயல்திறன் சில்லுகளின் உற்பத்திக்கு ஏற்றது.
3. இரசாயன நீராவி படிவு ஊக்கமருந்து: இந்த நுட்பத்தில், இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் சிலிக்கான் செதிலின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற டோப் செய்யப்பட்ட படலம் உருவாகிறது. இந்த முறை சிறந்த சீரான தன்மை மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் வரக்கூடிய தன்மையை வழங்குகிறது, இது சிறப்பு சில்லுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
4. எபிடாக்சியல் டோப்பிங்: இந்த அணுகுமுறையானது பாஸ்பரஸ்-டோப் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கிளாஸ் போன்ற டோப் செய்யப்பட்ட ஒற்றை கிரிஸ்டல் லேயரை, எபிடாக்ஸியாக ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் வளர்ப்பதை உள்ளடக்குகிறது. அதிக உணர்திறன் மற்றும் உயர் நிலைப்புத்தன்மை சென்சார்களை வடிவமைக்க இது மிகவும் பொருத்தமானது.
5. தீர்வு முறை: தீர்வு முறையானது கரைசலின் கலவை மற்றும் மூழ்கும் நேரத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் மாறுபட்ட ஊக்கமருந்து செறிவுகளை அனுமதிக்கிறது. இந்த நுட்பம் பல பொருட்களுக்கு பொருந்தும், குறிப்பாக நுண்துளை கட்டமைப்புகள் கொண்டவை.
6. நீராவி படிவு முறை: இந்த முறையானது பொருளின் மேற்பரப்பில் உள்ள பொருட்களுடன் வெளிப்புற அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகளை வினைபுரிவதன் மூலம் புதிய சேர்மங்களை உருவாக்குவதை உள்ளடக்குகிறது, இதனால் ஊக்கமருந்து பொருட்களை கட்டுப்படுத்துகிறது. மெல்லிய படலங்கள் மற்றும் நானோ பொருள்களை ஊக்கப்படுத்த இது மிகவும் பொருத்தமானது.
ஒவ்வொரு வகை ஊக்கமருந்து செயல்முறையும் அதன் தனித்துவமான பண்புகள் மற்றும் பயன்பாடுகளின் வரம்பைக் கொண்டுள்ளது. நடைமுறை பயன்பாடுகளில், உகந்த ஊக்கமருந்து முடிவுகளை அடைய குறிப்பிட்ட தேவைகள் மற்றும் பொருள் பண்புகளின் அடிப்படையில் பொருத்தமான ஊக்கமருந்து செயல்முறையைத் தேர்ந்தெடுப்பது முக்கியம்.
ஊக்கமருந்து தொழில்நுட்பம் பல்வேறு துறைகளில் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது:
ஒரு முக்கியமான பொருள் மாற்றும் நுட்பமாக, ஊக்கமருந்து தொழில்நுட்பம் பல துறைகளுக்கு ஒருங்கிணைந்ததாகும். உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களை அடைவதற்கு ஊக்கமருந்து செயல்முறையை தொடர்ந்து மேம்படுத்துதல் மற்றும் செம்மைப்படுத்துதல் அவசியம்.
செமிகோரெக்ஸ் சலுகைகள்உயர்தர SiC தீர்வுகள்குறைக்கடத்தி பரவல் செயல்முறைக்கு. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907
மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com