சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் செயலாக்கத்தில் குறைபாடு கண்டறிதல்

பங்கு என்னSiC அடி மூலக்கூறுகள்சிலிக்கான் கார்பைடு துறையில்?

SiC அடி மூலக்கூறுகள்சிலிக்கான் கார்பைடு தொழிற்துறையில் மிக முக்கியமான அங்கமாக உள்ளது, அதன் மதிப்பில் கிட்டத்தட்ட 50% ஆகும். SiC அடி மூலக்கூறுகள் இல்லாமல், SiC சாதனங்களை தயாரிப்பது சாத்தியமற்றது, அவற்றை அத்தியாவசியமான பொருள் அடித்தளமாக மாற்றுகிறது.

சமீபத்திய ஆண்டுகளில், உள்நாட்டு சந்தை வெகுஜன உற்பத்தியை அடைந்துள்ளது6-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடி மூலக்கூறுதயாரிப்புகள். "சீனா 6-இன்ச் SiC அடி மூலக்கூறு சந்தை ஆராய்ச்சி அறிக்கையின்" படி, 2023 ஆம் ஆண்டளவில், சீனாவில் 6-அங்குல SiC அடி மூலக்கூறுகளின் விற்பனை அளவு 1 மில்லியன் யூனிட்டுகளைத் தாண்டியுள்ளது, இது உலகத் திறனில் 42% ஆகும், மேலும் இது தோராயமாக 50ஐ எட்டும் என எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. 2026க்குள் %.

6-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​8-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக செயல்திறன் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. முதலாவதாக, பொருள் பயன்பாட்டைப் பொறுத்தவரை, 8 அங்குல செதில் 6 அங்குல செதில் 1.78 மடங்கு பரப்பளவைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது அதே மூலப்பொருள் நுகர்வுடன்,8 அங்குல செதில்கள்அதிக சாதனங்களை உற்பத்தி செய்யலாம், இதன் மூலம் யூனிட் செலவைக் குறைக்கலாம். இரண்டாவதாக, 8-இன்ச் SiC அடி மூலக்கூறுகள் அதிக கேரியர் இயக்கம் மற்றும் சிறந்த கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளன, இது சாதனங்களின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்த உதவுகிறது. கூடுதலாக, 8-அங்குல SiC அடி மூலக்கூறுகளின் இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் 6-அங்குல அடி மூலக்கூறுகளை விட உயர்ந்தது, சாதனத்தின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் வெப்பச் சிதறல் திறன்களை மேம்படுத்துகிறது.

தயாரிப்பு செயல்பாட்டில் SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் எவ்வாறு குறிப்பிடத்தக்கவை?

எபிடாக்சியல் செயல்முறையானது SiC தயாரிப்பில் உள்ள மதிப்பில் கிட்டத்தட்ட கால் பகுதியைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் இது பொருட்களிலிருந்து SiC சாதனத் தயாரிப்பிற்கு மாறுவதில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத படியாகும். எபிடாக்சியல் அடுக்குகளைத் தயாரிப்பது முதன்மையாக ஒரு ஒற்றைப் படிகத் திரைப்படத்தை வளர்ப்பதை உள்ளடக்குகிறது.SiC அடி மூலக்கூறு, இது பின்னர் தேவையான சக்தி மின்னணு சாதனங்களை தயாரிக்க பயன்படுகிறது. தற்போது, ​​எபிடாக்சியல் லேயர் உற்பத்திக்கான மிகவும் முக்கிய முறை இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) ஆகும், இது அணு மற்றும் மூலக்கூறு இரசாயன எதிர்வினைகள் மூலம் திடப் படங்களை உருவாக்க வாயு முன்னோடி எதிர்வினைகளைப் பயன்படுத்துகிறது. 8-அங்குல SiC அடி மூலக்கூறுகளைத் தயாரிப்பது தொழில்நுட்ப ரீதியாக சவாலானது, தற்போது, ​​உலகளவில் குறைந்த எண்ணிக்கையிலான உற்பத்தியாளர்கள் மட்டுமே வெகுஜன உற்பத்தியை அடைய முடியும். 2023 ஆம் ஆண்டில், உலகளவில் 8 அங்குல செதில்களுடன் தொடர்புடைய சுமார் 12 விரிவாக்கத் திட்டங்கள் உள்ளன, 8 அங்குல SiC அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும்எபிடாக்சியல் செதில்கள்ஏற்கனவே அனுப்பத் தொடங்கி, செதில் உற்பத்தி திறன் படிப்படியாக துரிதப்படுத்தப்படுகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளில் உள்ள குறைபாடுகள் எவ்வாறு கண்டறியப்பட்டு கண்டறியப்படுகின்றன?

சிலிக்கான் கார்பைடு, அதன் உயர் கடினத்தன்மை மற்றும் வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மை, அதன் அடி மூலக்கூறுகளை செயலாக்குவதில் தொடர்ச்சியான சவால்களை அளிக்கிறது, இதில் முக்கிய படிகளான வெட்டுதல், மெலிதல், அரைத்தல், பாலிஷ் செய்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல் போன்றவை அடங்கும். தயாரிப்பின் போது, ​​செயலாக்க இழப்பு, அடிக்கடி சேதம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதில் சிரமங்கள் போன்ற சிக்கல்கள் எழுகின்றன, இது அடுத்தடுத்த எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தரம் மற்றும் சாதனங்களின் செயல்திறனை கணிசமாக பாதிக்கிறது. எனவே, சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளில் உள்ள குறைபாடுகளைக் கண்டறிதல் மற்றும் கண்டறிதல் மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது. பொதுவான குறைபாடுகளில் மேற்பரப்பு கீறல்கள், புரோட்ரூஷன்கள் மற்றும் குழிகள் ஆகியவை அடங்கும்.

குறைபாடுகள் எவ்வாறு உள்ளனசிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வேஃபர்ஸ்கண்டறியப்பட்டதா?

தொழில் சங்கிலியில்,சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் செதில்கள்சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களுக்கு இடையில் நிலைநிறுத்தப்படுகின்றன, முதன்மையாக இரசாயன நீராவி படிவு முறையைப் பயன்படுத்தி வளர்க்கப்படுகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைட்டின் தனித்துவமான பண்புகள் காரணமாக, குறைபாடுகளின் வகைகள் மற்ற படிகங்களில் உள்ளவற்றிலிருந்து வேறுபடுகின்றன, இதில் வீழ்ச்சி, முக்கோண குறைபாடுகள், கேரட் குறைபாடுகள், பெரிய முக்கோண குறைபாடுகள் மற்றும் படி கொத்துக்கள் ஆகியவை அடங்கும். இந்த குறைபாடுகள் கீழ்நிலை சாதனங்களின் மின் செயல்திறனை பாதிக்கலாம், இது முன்கூட்டியே முறிவு மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க கசிவு நீரோட்டங்களை ஏற்படுத்தும்.

வீழ்ச்சி குறைபாடு

முக்கோண குறைபாடு

கேரட் குறைபாடு

பெரிய முக்கோணக் குறைபாடு

படி கொத்து குறைபாடு