செமிகோரெக்ஸ் கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு என்பது ஒரு பிரீமியம்-தர காப்பு பொருளாகும், இது விதிவிலக்கான வெப்ப செயல்திறனை வழங்குவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் SIC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அமைப்புகளில் தூய்மையாகும். பொறிக்கப்பட்ட கார்பன் தீர்வுகள், நிலையான தயாரிப்பு தரம் மற்றும் அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை ஆதரிப்பதில் ஆழ்ந்த அர்ப்பணிப்பு ஆகியவற்றில் ஒப்பிடமுடியாத நிபுணத்துவத்திற்காக செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.*
செமிகோரெக்ஸ் கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் உலைகளில் உள் காப்பு அடுக்காக செயல்படுகிறது. இது மேம்பட்ட வெப்ப சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட காப்பு பொருள். இந்த தயாரிப்பு அதன் இலகுரக மற்றும் சிறந்த வெப்ப காப்பு பண்புகள் காரணமாக சிறந்த தீர்வுகளை வழங்குவதன் மூலம் வழக்கமான குறைக்கடத்தி உயர் வெப்பநிலை உற்பத்தி சவால்களைக் கடக்கிறதுகிராஃபைட் உணர்ந்தார், ஒரு கண்ணாடி கார்பன் பூச்சுகளால் வழங்கப்படும் மேற்பரப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மையுடன் இணைந்து.
அடிப்படை பொருள் அதிக தூய்மைகிராஃபைட் உணர்ந்தார்அதன் குறைந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த எடை ஆகியவற்றைத் தேர்வுசெய்தது. இயல்பான கிராஃபைட் பொதுவாக மேற்பரப்பு ஃபைபர் உதிர்தல் மற்றும் துகள் உருவாக்கம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது உயர்ந்த வெப்பநிலையில் துகள் உருவாக்கம், இது முக்கியமான எபிடாக்சியல் அமைப்புகளில் செயல்முறை சூழலை மாசுபடுத்தும். இந்த சிக்கலைத் தணிக்க, உணர்ந்த கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பு ஒரே மாதிரியாக கண்ணாடி கார்பனின் அடுக்குடன் பூசப்பட்டுள்ளது-அதன் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை, குறைந்த வாயு ஊடுருவல் மற்றும் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றால் அறியப்பட்ட கார்பனின் அடர்த்தியான, நுண்ணிய அல்லாத வடிவம்.
கண்ணாடி கார்பன் என்பது கண்ணாடி மற்றும் மட்பாண்டங்களின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கிராஃபிட் செய்யப்படாத கார்பன் ஆகும். படிக கிராஃபைட்டுக்கு மாறாக, இது ஒரு உருவமற்ற, கிட்டத்தட்ட 100% எஸ்பி 2 கலப்பின கார்பன் பொருள் ஆகும், இது ஒரு செயலற்ற வாயு வளிமண்டலத்தில் பினோலிக் பிசின், ஃபர்ஃபுரில் ஆல்கஹால் பிசின் போன்ற பாலிமரைஸ் செய்யப்பட்ட கரிம முன்னோடிகளின் உயர் வெப்பநிலை சின்தேரிங் மூலம் உருவாகிறது. இது முழுவதும் கருப்பு மற்றும் கண்ணாடிக்கு ஒத்த மென்மையான மேற்பரப்பைக் கொண்டிருப்பதால், இது கண்ணாடி கார்பன் என்று அழைக்கப்படுகிறது.
கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு உலை துகள்களின் தலைமுறையை அகற்றலாம், சீல் வைக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு துளைகளை வழங்கலாம், சிறந்த காலக்கெடு பண்புகளைக் கொண்டிருக்கலாம் மற்றும் ஊடுருவலைக் குறைக்கும், இந்த பொருள் குறைக்கடத்தி துறையில் தொடர்ச்சியான வார்ப்பு அச்சுகள் மற்றும் தயாரிப்புகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. இந்த பொருள் குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக கிராஃபைட் பகுதிகளான ஒற்றை படிக சிலிக்கான் இழுக்கும் உபகரணங்கள் கூறுகள், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி கூறுகள், தொடர்ச்சியான வார்ப்பு அச்சுகள், கண்ணாடி சீல் ஜிக்ஸ் போன்றவை.
கண்ணாடி கார்பன் மந்த வாயு அல்லது வெற்றிடத்தில் 3000 ° C வரை அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் மற்ற பீங்கான் மற்றும் உலோக உயர் வெப்பநிலை பொருட்களைப் போலல்லாமல், கண்ணாடி கார்பனின் வலிமை 2700K வரை வெப்பநிலையை அதிகரிப்பதன் மூலம் அதிகரிக்கிறது, மேலும் இது உடையக்கூடியதாக மாறாது மற்றும் மிக அதிக வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, எனவே குறுகிய வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டும் நேரங்கள் எந்த பிரச்சனையும் இல்லை. கூடுதலாக, கண்ணாடி கார்பன் குறைந்த நிறை, குறைந்த வெப்ப உறிஞ்சுதல் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, எனவே இது கிட்டத்தட்ட அனைத்து உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கும் ஏற்றது.
கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பு துளைகளை சீல் செய்வதில் கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு ஒரு முக்கிய பங்கைக் கொண்டுள்ளது, இது செயல்பாட்டின் போது துகள்கள் மற்றும் கார்பன் தூசுகளின் வெளியீட்டை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் இது மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு குறைந்த மாசுபாடு கூட செதில் தரம் மற்றும் சாதன செயல்திறனை சமரசம் செய்யலாம். உணரப்பட்டவற்றின் நுண்ணிய கட்டமைப்பை மென்மையான, கடினமான கண்ணாடி கார்பன் ஷெல் மூலம் இணைப்பதன் மூலம், பூச்சு எதிர்வினை அறைக்குள் ஒரு சுத்தமான மற்றும் நிலையான வெப்ப சூழலை உறுதி செய்கிறது.
கண்ணாடி கார்பன் பூச்சுகளின் முக்கிய நன்மைகள் பின்வருமாறு:
குறைக்கப்பட்ட துகள் உதிர்தல்: அடர்த்தியான பூச்சு தளர்வான இழைகள் மற்றும் துகள்களில் திறம்பட பூட்டுகிறது, செதில்கள் மற்றும் உலை கூறுகளை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்கிறது.
உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை: கிராஃபைட் ஃபெல்ட் மற்றும் கண்ணாடி கார்பன் இரண்டும் மந்தமான அல்லது வெற்றிட வளிமண்டலங்களில் 2000 ° C ஐத் தாண்டிய வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இது அதிக வெப்பநிலை SIC செயல்முறைகளுக்கு தயாரிப்பு சிறந்ததாக அமைகிறது.
வேதியியல் செயலற்ற தன்மை: கண்ணாடி கார்பன் மேற்பரப்பு பெரும்பாலான அமிலங்கள் மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு எதிர்க்கும், கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் காப்பு அடுக்கின் செயல்பாட்டு ஆயுளை விரிவுபடுத்துகிறது.
மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை நிலைத்தன்மை: குறைக்கப்பட்ட துகள் உருவாக்கம் மிகவும் நிலையான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி சூழலுக்கு பங்களிக்கிறது, இது உயர்தர எஸ்.ஐ.சி செதில்களை உற்பத்தி செய்ய அவசியம்.
கண்ணாடி கார்பன் பூச்சின் பயன்பாடுகள் முதன்மையாக SIC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலைகளுக்கு நீட்டிக்கப்படுகின்றன, அங்கு இது சூடான மண்டலத்திற்குள் ஒரு வெப்ப காப்பு அடுக்காக பயன்படுத்தப்படுகிறது. தயாரிப்பு பொதுவாக மேல் அல்லது கீழ் காப்பு அடுக்குகளில் ஒரு புறணி பொருளாக நிறுவப்படுகிறது, அங்கு இது வெப்ப பாதுகாப்பு மற்றும் தூய்மை உத்தரவாதம் இரண்டையும் வழங்குகிறது.