செமிகோரெக்ஸ் கேசட் கைப்பிடிகள் PFA மற்றும் PTFE ஆனது செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் செதில் கேசட்டுகளின் பாதுகாப்பான மற்றும் திறமையான இயக்கத்தை உறுதி செய்கிறது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்து, உயர் செயல்திறன், நீடித்த கைப்பிடிகள் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன, இது உகந்த செதில் பாதுகாப்பு மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.*
செமிகோரெக்ஸ் கேசட் கைப்பிடிகள், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கியமான பாகங்கள் ஆகும், இது செதில் செயலாக்கத்தின் பல்வேறு நிலைகளில் செதில் கேசட்டுகளை பாதுகாப்பாகவும் திறமையாகவும் கையாள உதவுகிறது. PFA (Perfluoroalkoxy alkane) மற்றும் PTFE (Polytetrafluoroethylene) போன்ற உயர்தரப் பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் இந்த கேசட் கைப்பிடிகள், அதீத தூய்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கோரும் சூழல்களில் பாதுகாப்பு மற்றும் செயல்திறன் ஆகிய இரண்டையும் உறுதி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில், செதில் கேசட்டுகள் செதில்களைப் பிடிக்கப் பயன்படுகின்றன, அவை செதுக்குதல், படிதல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சைகள் உட்பட பல்வேறு நிலைகளைக் கடந்து செல்கின்றன. கேசட் கைப்பிடிகள் தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் மற்றும் தானியங்கு அமைப்புகளுக்கு இந்த கேசட்டுகளை செயல்முறைகளுக்கு இடையில் பாதுகாப்பாகப் புரிந்துகொண்டு கொண்டு செல்ல முக்கிய இடைமுகமாகச் செயல்படுகின்றன. கேசட்டுகள் கைமுறையாக அல்லது ரோபோடிக் அமைப்புகள் மூலம் நகர்த்தப்பட்டாலும், இந்த கைப்பிடிகள் அறைகள், அடுப்புகள் அல்லது இரசாயன குளியல் அறைகளில் பாதுகாப்பாக மூழ்குவதற்கு அனுமதிக்கின்றன, முக்கியமான மாற்றங்களின் போது செதில்கள் சேதம் அல்லது மாசுபடாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
குறைக்கடத்தி செயலாக்கம் பெரும்பாலும் நுட்பமான செதில்கள் மற்றும் ஆக்கிரமிப்பு இரசாயனங்களை உள்ளடக்கியது என்பதால், கேசட் கைப்பிடிகளின் தரம் மற்றும் வடிவமைப்பு முழு உற்பத்தி பணிப்பாய்வுகளின் ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
பொருள் பண்புகள்: PFA மற்றும் PTFE
கேசட் கைப்பிடிகளுக்கான பொருட்களின் தேர்வு தீவிர நிலைகளில் அவற்றின் செயல்திறனுக்கு முக்கியமானது. PFA மற்றும் PTFE இரண்டும் ஃப்ளோரோபாலிமர்கள் ஆகும், அவை அவற்றின் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மைக்காக அறியப்படுகின்றன, அவை குறைக்கடத்தி சூழல்களுக்கு சிறந்தவை.
PFA (Perfluoroalkoxy alkane): இந்த பொருள் அதன் நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் நீடித்துழைப்புக்காக பரவலாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது. PFA ஆனது 260°C (500°F) வரையிலான வெப்பநிலையை சிதைக்காமல் தாங்கும், இது உயர் வெப்பநிலை செயலாக்க அறைகளில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. அதன் ஒட்டாத பண்புகள், பொருட்கள் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொள்வதைத் தடுக்கிறது, மேலும் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. மேலும், PFA இன் இரசாயன செயலற்ற தன்மையானது, பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் வலுவான அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களுக்கு எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கிறது.
PTFE (Polytetrafluoroethylene): அதன் குறைந்த உராய்வு குணகம் மற்றும் சிறந்த வினைத்திறன் இல்லாததால், PTFE கேசட் கைப்பிடிகளுக்கான மற்றொரு சிறந்த பொருள் தேர்வாகும். PTFE அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும் மற்றும் 260 ° C வரை வெப்பநிலையை பொறுத்துக்கொள்ளும். இரசாயன தாக்குதலுக்கு அதன் உயர் எதிர்ப்பானது, அரிக்கும் இரசாயனங்கள் அல்லது நீண்ட மூழ்கும் காலங்களில் கூட, அது நிலையானதாகவும் பயனுள்ளதாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. PTFE இன் மென்மையான மேற்பரப்பு மற்றும் குறைந்த உராய்வு பண்புகள் செதில் கேசட்டுகளை எளிதாகவும் பாதுகாப்பாகவும் கையாளுவதற்கு பங்களிக்கின்றன.
இரண்டு பொருட்களும் உயர்ந்த தூய்மை நிலைகளை வழங்குகின்றன, அவை குறைக்கடத்தி தூய்மையான அறை சூழலில் துகள் மாசுபடுவதைத் தடுப்பதில் அவசியம்.
செமிகோரெக்ஸ் கேசட் கைப்பிடிகள், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒரு சிறிய அங்கமாக இருந்தாலும், பாதுகாப்பான, திறமையான மற்றும் மாசு இல்லாத செதில் கேசட்டுகளின் கையாளுதலை உறுதி செய்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. PFA மற்றும் PTFE போன்ற உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் இந்த கைப்பிடிகள் விதிவிலக்கான இரசாயன எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன. உயர்தர கேசட் கைப்பிடிகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் பணிப்பாய்வுகளை மேம்படுத்தலாம், மாசுபடுத்தும் அபாயங்களைக் குறைக்கலாம் மற்றும் ஆபரேட்டர்கள் மற்றும் உபகரணங்களின் பாதுகாப்பை உறுதிப்படுத்தலாம்.