செமிகோரெக்ஸ் கார்பன் காப்பு என்பது அதிக தூய்மை, உயர் செயல்திறன் கொண்ட வெப்ப காப்பு பொருள் என்பது தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் செமிகண்டக்டர் படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் தூய்மை கோரிக்கைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.*
செமிகோரெக்ஸ் கார்பன் காப்பு உணரப்பட்டது என்பது குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்த குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் வெப்ப காப்பு பொருள். உயர் தூய்மை கார்பன் அல்லது கிராஃபைட் இழைகளிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் இந்த கார்பன் காப்பு, சிலிக்கான் (எஸ்ஐ), சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்ஐசி) மற்றும் பிற கூட்டு செமிகண்டக்டர்கள் போன்ற ஒற்றை படிகங்களின் வளர்ச்சியில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் வெப்பநிலை உலை சூழல்களின் கடுமையான வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் தூய்மை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய உகந்ததாக உள்ளது.
ஒற்றை படிக சிலிக்கானின் வளர்ச்சி செயல்முறை வெப்ப புலத்தில் முழுமையாக மேற்கொள்ளப்படுகிறது. படிக தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கு ஒரு நல்ல வெப்ப புலம் உகந்தது மற்றும் அதிக படிகமயமாக்கல் செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது. வெப்ப புலத்தின் வடிவமைப்பு பெரும்பாலும் டைனமிக் வெப்ப புலத்தில் வெப்பநிலை சாய்வுகளின் மாற்றங்களையும், உலை அறையில் வாயுவின் ஓட்டத்தையும் தீர்மானிக்கிறது. வெப்ப புலத்தில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களின் வேறுபாடு வெப்ப புலத்தின் சேவை வாழ்க்கையை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது.
CZ ஒற்றை படிக சிலிக்கான் உலை,கார்பன் ஃபைபர் கலப்பு பொருட்கள்சில நேரங்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தற்போது, அவை போல்ட், கொட்டைகள், சிலுவை, சுமை தகடுகள் மற்றும் பிற கூறுகளை தயாரிக்கப் பயன்படுத்தத் தொடங்கியுள்ளன. கார்பன் காப்பு உணரப்பட்டது கார்பன் ஃபைபர் வலுவூட்டப்பட்ட கார்பன் அடிப்படையிலான கலப்பு பொருட்கள் அதிக குறிப்பிட்ட வலிமை, உயர் குறிப்பிட்ட மாடுலஸ், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், நல்ல கடத்துத்திறன், அதிக எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை, குறைந்த குறிப்பிட்ட ஈர்ப்பு, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் பிற சிறந்த பண்புகள். தற்போது, ஒரு புதிய வகை உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு கட்டமைப்பு பொருளாக, இது விண்வெளி, பந்தயம், உயிர் மூலப்பொருட்கள் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
பாலிஅக்ரிலோனிட்ரைல் அடிப்படையிலான கார்பன் காப்பு ஒரு பெரிய சாம்பல் உள்ளடக்கத்தைக் கொண்டுள்ளது. அதிக வெப்பநிலை சிகிச்சையின் பின்னர், ஒற்றை இழை உடையக்கூடியதாகிறது. செயல்பாட்டின் போது, உலை சூழலை மாசுபடுத்துவதற்கு தூசியை உருவாக்குவது எளிது. அதே நேரத்தில், நார்ச்சத்து மனித உடலின் துளைகள் மற்றும் சுவாசக் குழாய்களை எளிதில் நுழைய முடியும், இது மனித ஆரோக்கியத்திற்கு தீங்கு விளைவிக்கும். விஸ்கோஸை அடிப்படையாகக் கொண்ட கார்பன் உணர்ந்தது நல்ல வெப்ப காப்பு செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது. இது வெப்ப சிகிச்சையின் பின்னர் ஒப்பீட்டளவில் மென்மையாக உள்ளது மற்றும் தூசியை உருவாக்குவது எளிதல்ல. இருப்பினும், விஸ்கோஸ் அடிப்படையிலான மூல ஃபைபரின் குறுக்குவெட்டு ஒழுங்கற்றது, மேலும் ஃபைபர் மேற்பரப்பில் பல பள்ளங்கள் உள்ளன. ஒரு CZ சிலிக்கான் உலையில் ஆக்ஸிஜனேற்ற வளிமண்டலத்தின் முன்னிலையில், C02 போன்ற வாயுக்களை உருவாக்குவது எளிதானது, இதனால் ஒற்றை படிக சிலிக்கான் பொருளில் ஆக்ஸிஜன் மற்றும் கார்பன் கூறுகளின் மழைப்பொழிவு ஏற்படுகிறது. தற்போது, குறைக்கடத்தி ஒற்றை படிகத் தொழிலில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் நிலக்கீல் அடிப்படையிலான கார்பன் உணரப்பட்டது, இது விஸ்கோஸ் அடிப்படையிலான கார்பன் உணர்ந்ததை விட மோசமான வெப்ப காப்பு செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது, ஆனால் நிலக்கீல் அடிப்படையிலான கார்பன் அதிக தூய்மை மற்றும் குறைந்த தூசி உமிழ்வைக் கொண்டுள்ளது.
ஒற்றை படிக சிலிக்கானின் வளர்ச்சித் தரம் வெப்ப புல சூழலால் நேரடியாக பாதிக்கப்படுகிறது, மேலும் கார்பன் ஃபைபர் வெப்ப காப்பு பொருட்கள் இந்த சூழலில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.கார்பன் ஃபைபர் வெப்ப காப்பு மென்மையான உணர்வுஅதன் செலவு நன்மை, சிறந்த வெப்ப காப்பு விளைவு, நெகிழ்வான வடிவமைப்பு மற்றும் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய வடிவம் ஆகியவற்றின் காரணமாக ஒளிமின்னழுத்த குறைக்கடத்தி துறையில் இன்னும் குறிப்பிடத்தக்க நன்மை உண்டு. கூடுதலாக, கார்பன் ஃபைபர் கடினமான காப்பு அதன் குறிப்பிட்ட வலிமை மற்றும் அதிக செயல்பாடு காரணமாக வெப்ப புலம் பொருள் சந்தையில் வளர்ச்சிக்கு அதிக இடத்தைக் கொண்டிருக்கும்.