செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் எட்ஜ் அரைக்கும் சக் என்பது உயர் தூய்மை வெள்ளை அலுமினாவிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட ஒரு பீங்கான் வட்டு ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில் விளிம்பு அரைப்பதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது சிறந்த பொருள் தரம், துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை மிகவும் தேவைப்படும் செதில் செயலாக்க சூழல்களை ஆதரிக்கிறது.*
செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் எட்ஜ் அரைக்கும் சக் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் போது செதில் விளிம்பு அரைக்கும் செயல்முறைக்காக தயாரிக்கப்பட்ட ஒரு பிரத்யேக பீங்கான் பகுதியாகும். பீங்கான் அதிக தூய்மை, வெள்ளை அலுமினா (அலோயோ) இயந்திர வலிமை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் செதில் அரைக்கும் செயல்முறையை ஆதரிப்பதற்கான பரிமாண ஸ்திரத்தன்மை ஆகியவற்றால் ஆனது. புதிய தொழில்நுட்பங்களுக்கு பெரிய செதில் விட்டம் மற்றும் சாதனங்களில் மிகவும் மென்மையான கட்டமைப்புகள் தேவைப்படுவதால், எட்ஜ் சிப்பிங், மைக்ரோ கிராக்கிங் மற்றும் மகசூல் ஆகியவற்றைத் தடுப்பதில் வேஃபர் எட்ஜ் அரைத்தல் இப்போது குறிப்பிடத்தக்க பங்கைக் கொண்டுள்ளது. அலுமினா பீங்கான் அரைக்கும் சக் இந்த கடுமையான உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய ஒரு நிலையான அடிப்படையை வழங்குகிறது.
அலுமினா பீங்கான்அதன் நம்பமுடியாத உடல், வேதியியல் மற்றும் வெப்ப பண்புகள் காரணமாக கட்டுமானப் பொருளாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. வெள்ளை அலுமினாவுக்கு வைரத்துடன் மிகச்சிறந்த கடினத்தன்மை உள்ளது, இது MOHS கடினத்தன்மை அளவில் உயர்ந்த இடத்தில் உள்ளது, இது அரைக்கும் சக்கை மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்தக்கூடிய எதிர்காலத்தில் உடைகள் மற்றும் சிராய்ப்புகளைத் தாங்க உதவுகிறது. அலுமினாவின் கணிசமான இயந்திர வலிமையைப் பொறுத்தவரை, செதில் பாதுகாப்பாக புரிந்து கொள்ளப்படலாம், அதே நேரத்தில் அலுமினாவின் விறைப்பு விலகல் அல்லது சிதைவை அனுமதிக்காது. இதைப் பொறுத்தவரை, துல்லியம் மற்றும் ஆயுள் தேவைப்படும் இடங்களில் சாதனங்கள் மற்றும் ஆதரவுகளை உருவாக்க அலுமினா ஒரு சிறந்த தேர்வாகும்.
வெப்ப நிலைத்தன்மை என்பது அலுமினா பீங்கான் ஒரு தனித்துவமான பண்பாகும். 2000 ° C க்கும் அதிகமான உருகும் புள்ளி மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி நிலைத்தன்மையுடன், உராய்வு வெப்பமாக்கல் அல்லது வெப்பநிலை மாற்றம் ஏற்படக்கூடிய நிலைமைகளில் சக் இயங்கக்கூடும், இது சீரான w.r.t ஆகும், அங்கு பரிமாண நிலைத்தன்மை முக்கியமானது, இருப்பினும் அரைக்கும் விளிம்பு வடிவம் பரிமாணத்தில் சிறிது மாற்றத்தை அளிக்கக்கூடும். விளிம்பில் அரைப்பதில் சீரமைப்பை தொடர்ந்து பராமரிப்பதற்கு கிளம்பிங் சக்தி வலுவாக உள்ளது. அலுமினாவின் குறைந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட வெப்பத்தை நுட்பமான அடி மூலக்கூறுகளின் குறைக்கடத்திகளை செயலாக்குவதில் செதிலின் ஒருமைப்பாட்டின் எந்தவொரு சமரசத்திற்கும் போதுமான அளவிலான வெப்பத்தை வெப்பப்படுத்த அனுமதிக்கக்கூடாது.
ஒரு வேதியியல் கண்ணோட்டத்தில், அலுமினா மட்பாண்டங்கள் அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு சிறிய எதிர்வினைகளைக் கொண்டுள்ளன. வெளிப்படையான கண்காணிப்பு இல்லாமல் தொடர்ந்து சிதைந்துவிடும் அல்லது பாலிமெரிக் சாதனங்கள் போன்ற உலோக சக்ஸைப் போலல்லாமல், அலுமினா மட்பாண்டங்கள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் இந்த அன்றாட சேவை சுழற்சிகளிலிருந்து விடுபடுகின்றன. இந்த செயலற்ற தன்மை செதில் மேற்பரப்பின் பூஜ்ஜிய மாசுபாட்டை உறுதி செய்யும் மற்றும் எந்தவொரு மகசூல் இழப்பையும் கட்டுப்படுத்தும் போது செயல்முறையின் தூய்மையை பராமரிக்கும்.
இன்றைய குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிலப்பரப்பில், எட்ஜ் அரைக்கும் செயல்முறை பன்முகப்படுத்தப்பட்டுள்ளது: இது அடுத்தடுத்த செயலாக்கத்திற்கான செதிலைத் தயாரிக்கிறது, மேலும் பாதுகாப்பான போக்குவரத்து, கையாளுதல் மற்றும் மிகவும் மேம்பட்ட லித்தோகிராபி மற்றும் பொறிக்கும் கருவிகளுடன் ஒருங்கிணைப்பையும் வழங்குகிறது. இதில், செதில் எட்ஜ் அரைக்கும் சக் என்பது செதில் பாதுகாப்பாக இணைத்து, துல்லியமாக வைத்திருப்பதன் புதிரின் ஒரு முக்கியமான பகுதியாகும், மேலும் இது நேரடியாக நம்பகத்தன்மை மற்றும் தயாரிப்பு செயல்திறனுக்கு பங்களிக்கிறது. அலுமினா பீங்கான் முதலீட்டில், வேலையில்லா நேரத்தைக் கட்டுப்படுத்தவும், பாகங்கள் செலவுகளைக் குறைக்கவும், உபகரணங்கள் செயல்திறனை அதிகரிக்கவும் (OEE) அத்தகைய சொத்தின் நீட்டிக்கப்பட்ட நீண்ட ஆயுளைக் கொண்டிருப்பதன் மூலம் நேரம் சேமிக்கப்படுகிறது.
செதில் விளிம்பு அரைக்கும் சக் தயாரிக்கப்பட்டதுஅலுமினா பீங்கான்அதிநவீன பொருள் அறிவியல் மற்றும் துல்லிய பொறியியலின் அனைத்து நன்மைகளையும் குறிக்கிறது. இது கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில் புனையல் செயல்முறைக்கு தேவையான வேதியியல் செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றின் குணங்களை எடுத்துக்காட்டுகிறது. வலுவான செயல்திறன் நம்பகமான செதில் விளிம்பு தரம், நல்ல மகசூல் மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட உபகரணங்கள் வாழ்க்கைக்கு வழிவகுக்கும். பாவம் செய்ய முடியாத துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனுக்கு உறுதியளித்த குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு, அலுமினா வேஃபர் எட்ஜ் அரைக்கும் சக் தீர்வாகும்.