செமிகோரெக்ஸ் பிபிஎன் ஹீட்டர் செமிகண்டக்டர், படிக வளர்ச்சி மற்றும் வெற்றிட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றவாறு, உயர் வெப்பநிலை செயல்திறனை வழங்குகிறது. முன்னணி உலகளாவிய உற்பத்தியாளர்களால் நம்பகமான ஒப்பிடமுடியாத பொருள் தூய்மை, பொறியியல் துல்லியம் மற்றும் நம்பகமான விநியோகத்திற்காக செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.*
செமிகோரெக்ஸ் பைரோலிடிக் போரோன் நைட்ரைடு பிபிஎன் ஹீட்டர் என்பது அதிக தூய்மை, உயர் செயல்திறன் கொண்ட வெப்பமூட்டும் கூறாகும், இது அல்ட்ரா-க்ளீன், வேதியியல் ரீதியாக நிலையான மற்றும் வெப்ப திறமையான பொருட்கள் அவசியமான பயன்பாடுகளைக் கோருவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒரு வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறை மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது, பிபிஎன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் மிகச்சிறந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, இது குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், படிக வளர்ச்சி மற்றும் வெற்றிட பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.
பிபிஎன் ஹீட்டர் என்பது ஒரு ஹீட்டர் ஆகும், இது அதிக இன்சுலேடிங் பிபிஎனை ஒரு அடி மூலக்கூறாகப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் குறைந்த அழுத்த வெப்ப சிதைவு வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) ஐ குறைந்த அழுத்தத்தில் (10 டோருக்கு கீழே) மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் கடத்தும் பி.ஜி. இந்த கலப்பு ஹீட்டரின் முக்கிய கூறுகள் பைரோலிடிக் போரான் நைட்ரைடு (பிபிஎன்) மற்றும் பைரோலிடிக் கிராஃபைட் (பிஜி). அதன் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு காரணமாக, இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு வெப்பமாக்கலுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது (MBE, MOCVD, ஸ்பட்டரிங் பூச்சு போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது); சூப்பர் கண்டக்டர் அடி மூலக்கூறு வெப்பமாக்கல்; மாதிரி பகுப்பாய்வின் போது மாதிரி வெப்பமாக்கல்; எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி மாதிரி வெப்பமாக்கல்; உலோக வெப்பமாக்கல்; உலோக ஆவியாதல் வெப்ப மூல, முதலியன.
பிபிஎன் அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு மந்தமானது; அதிக தூய்மை உள்ளது (99.99%ஐ விட அதிகமாக); பெரும்பாலான உருகிய உலோகங்களுடன் ஈரமாகவோ அல்லது செயல்படவோ இல்லை (இது ஒரு குச்சி அல்லாத பான் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் உலோகத்தை 100%பயன்படுத்தலாம்); நல்ல உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது (அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை 2000 ℃); நல்ல அடர்த்தி; நல்ல வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் பிற சிறந்த பண்புகள் பிபிஎன்-பிஜி கலப்பு ஹீட்டர்களைத் தயாரிப்பதற்கான சிறந்த பொருளாக அமைகின்றன. பி.ஜி.என் ஹீட்டரில் பி.ஜி. அதே நேரத்தில், பிபிஎன் இன் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனுடன் இணைந்து, வெப்பமூட்டும் மேற்பரப்பு நல்ல வெப்ப சீரான தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. தொடர்புடைய தொழில்களின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், பிபிஎன்-பிஜி கலப்பு ஹீட்டர்களுக்கான தேவையும் வேகமாக அதிகரித்துள்ளது.
குறிப்பிட்ட வடிவமைப்பு மற்றும் ஒருங்கிணைப்பு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பிபிஎன் ஹீட்டர்களை பல்வேறு வடிவங்கள் மற்றும் உள்ளமைவுகளில் புனைய முடியும். வழக்கமான வடிவமைப்புகளில் பிளானர் ஹீட்டர்கள், குழாய் ஹீட்டர்கள் மற்றும் உட்பொதிக்கப்பட்ட அல்லது மேற்பரப்பு பொருத்தப்பட்ட வெப்பக் கூறுகளுடன் தனிப்பயன் வடிவியல் ஆகியவை அடங்கும். வெப்பமூட்டும் கூறுகள் வழக்கமாக பைரோலிடிக் கிராஃபைட் (பி.ஜி) மூலம் தயாரிக்கப்பட்டு பிபிஎன் இல் இணைக்கப்பட்டு, முற்றிலும் சீல் செய்யப்பட்ட, மின்சாரம் காப்பீட்டு மற்றும் வெப்ப திறமையான கட்டமைப்பை வழங்குகிறது.