உயர் வெப்பநிலை உலைகளில் Semicorex SiC கூறுகள்

SiC பீங்கான்உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு பொருள், இது குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் நீடித்தது. இதற்கிடையில், பொருள் செமிகண்டக்டர் அளவை சந்திக்க அதிக தூய்மையாக இருக்கும்.

Semicorex பல்வேறு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வழங்குகிறதுSiC பீங்கான்தயாரிப்புகள், 3D பிரிண்டிங் தொழில்நுட்பத்துடன்.

1. 3D பிரிண்டிங் முழு வடிவத்தையும் ஒரு முறை வடிவமைக்க அனுமதிக்கிறது, பின்னர் அனைத்தையும் ஒரு சுத்தமான அறைக்குள் சின்டரிங் செய்து, உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது அயனி மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது.

2. பாரம்பரிய சீட்டு வார்ப்புக்கு அச்சுகள் தேவைப்படுகின்றன, மேலும் சிதைவு செயல்முறை எளிதில் மாசுபாட்டை அறிமுகப்படுத்தும்.

3. வால் எரிவாயு குழாய் கொண்ட கிடைமட்ட உலைக் குழாய்க்கு, பாரம்பரிய சீட்டு வார்ப்புக்கு உலை உடல் மற்றும் எரிவாயு குழாயின் தனித்தனி மோல்டிங் மற்றும் சின்டெரிங் தேவைப்படுகிறது, அதைத் தொடர்ந்து எரிவாயு முனை பிணைக்கப்படுவதற்கு முன் இரண்டாவது சின்டெரிங் செயல்முறை தேவைப்படுகிறது. இது மூட்டுகளில் வலிமையைக் குறைக்கிறது, இது உடைவதற்கு வாய்ப்புள்ளது.

4. 3D பிரிண்டிங் சின்டரிங் செய்வதற்கு முன் முழு வடிவத்தையும் உருவாக்குவதால், அதன் பின் முடித்தல் விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, குறிப்பாக வேஃபர் படகுகள் போன்ற இடங்கள் தேவைப்படும் பொருட்களுக்கு.

5. 3D பிரிண்டிங் வழக்கமான ஸ்லிப் காஸ்டிங்கை விட சிறந்த அடர்த்தி சீரான தன்மையை வழங்குகிறது.

SiC படகுகள்

A செதில் படகுமுதன்மையாக உயர்-வெப்பநிலை செயலாக்க கருவிகளில், செதில்களை வைத்திருக்கப் பயன்படும் ஒரு செயல்முறை கேரியர் ஆகும்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், செதில்கள் பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், அனீலிங் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற பல வெப்ப செயலாக்க படிகளுக்கு உட்படுகின்றன. இந்த செயல்முறைகளின் போது, ​​செதில்கள் பொதுவாக உலை குழாய் உபகரணங்களில் இணைக்கப்படுகின்றன, மேலும் செதில் படகு பின்வரும் செயல்பாடுகளை செய்கிறது:

• பல செதில்களை எடுத்துச் செல்லுதல் மற்றும் நிலையான இடைவெளியைப் பராமரித்தல்;
• உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் செதில்களின் நிலை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்தல்;
• உபகரணங்களுடன் இணைந்து சீரான வாயு ஓட்டத்தை உறுதி செய்தல்.

செதில் படகின் கட்டமைப்பு மற்றும் பொருள் பண்புகள் நேரடியாக வெப்ப புல விநியோகம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் படகுகள் பொதுவாக ஒரு சட்ட வடிவமைப்பைப் பயன்படுத்துகின்றன, இது உயர் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. வழக்கமான அம்சங்கள் அடங்கும்:

துல்லியமான செதில் பொருத்துதலுக்கான பல அடுக்கு ஸ்லாட் அமைப்பு;

செதில்களுக்கு இடையில் எளிதான வாயு ஓட்டத்திற்கான திறந்த வடிவமைப்பு;

உயர்-விறைப்புச் சட்டமானது உயர் வெப்பநிலை சூழலில் சிதைவின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

உபகரண வகையைப் பொறுத்து, செதில் படகுகள் செங்குத்து அல்லது கிடைமட்ட கட்டமைப்புகளாக வடிவமைக்கப்படலாம் மற்றும் வெவ்வேறு செதில் அளவுகளை ஆதரிக்கலாம் (எ.கா., 6-இன்ச், 8-இன்ச், 12-இன்ச்).

SiC கான்டிலீவர் துடுப்புகள்

ஒளிமின்னழுத்த ஆற்றல் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் செதில்கள் சிறிய படகுகளில் வைக்கப்படுகின்றன, பின்னர் அவை பரவல் மற்றும் LPCVD போன்ற வெப்ப செயல்முறைகளுக்கு படகு ஆதரவில் வைக்கப்படுகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடுகான்டிலீவர் துடுப்புசிலிக்கான் செதில்களைச் சுமந்து செல்லும் படகு ஆதரவை வெப்ப உலைக்கு உள்ளேயும் வெளியேயும் நகர்த்தும் முக்கிய ஏற்றுதல் கூறு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்பு சிலிக்கான் செதில்கள் மற்றும் உலை குழாய்களின் செறிவை உறுதி செய்கிறது, இதன் விளைவாக அதிக சீரான பரவல் மற்றும் செயலிழப்பு ஏற்படுகிறது. இது அதிக வெப்பநிலையில் மாசு-இல்லாத மற்றும் சிதைவு-இல்லாததாக உள்ளது, சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, மேலும் அதிக சுமை திறன் கொண்டது, இது ஒளிமின்னழுத்த செல் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

SiC குழாய்கள்

உலை குழாய்கள்வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் ஊக்கமருந்து, அனீலிங் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (LPCVD, APCVD) உள்ளிட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் முக்கிய பயன்பாடாகும். இந்த செயல்முறைகள் பொதுவாக உயர்-வெப்பநிலை உலைகளில் செய்யப்படுகின்றன மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் ஆக்ஸிஜனேற்றம், தூய்மையற்ற பரவல் மற்றும் படிகக் குறைபாட்டை சரிசெய்வதற்கான அனீலிங் போன்ற முக்கிய படிகளை உள்ளடக்கியது.

வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம் என்பது மிக அடிப்படையான உலைக் குழாய் செயல்முறையாகும், இதில் சிலிக்கான் செதில்களை ஆக்ஸிஜன் அல்லது நீர்-நீராவி சூழலில் சூடாக்குகிறது. மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷனில், வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் என்பது செதில் மேற்பரப்பில் ஆக்சைட்டின் மெல்லிய அடுக்கை (பொதுவாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு) உருவாக்கும் முறையாகும். இந்த நுட்பம் ஒரு ஆக்ஸிஜனேற்றத்தை அதிக வெப்பநிலையில் செதில்களில் பரவச் செய்து அதனுடன் வினைபுரியச் செய்கிறது.

டிஃப்யூஷன் டோப்பிங் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய ஊக்கமருந்து நுட்பமாகும். அசுத்த அணுக்களை (போரான் மற்றும் பாஸ்பரஸ் போன்றவை) அதிக வெப்பநிலையில் குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுக்குள் (முக்கியமாக சிலிக்கான் செதில்கள்) நகர்த்துவதன் மூலம், அடி மூலக்கூறின் உள்ளூர் கடத்துத்திறன் மற்றும் எதிர்ப்பை மாற்றுகிறது, இதன் மூலம் PN சந்திப்புகள், அடிப்படை பகுதிகள் மற்றும் உமிழ்ப்பான் பகுதிகள் போன்ற முக்கிய சாதன கட்டமைப்புகளை உருவாக்குகிறது.

அனீலிங் செயல்முறைகளில் முதன்மையாக ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ) அடங்கும், இது மிகக் குறுகிய நேரத்திற்குள் (வினாடிகள்) அதிக வெப்பநிலை (300℃-1200℃) வெப்ப சிகிச்சையை அடையும் ஒரு வகை உபகரணமாகும். செமிகண்டக்டர் டோபண்ட் ஆக்டிவேஷன், சிலிசைடு உருவாக்கம் மற்றும் ஸ்ட்ரெய்ன் இன்ஜினியரிங் போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் முக்கிய தொழில்நுட்பம் ஆலசன் அகச்சிவப்பு விளக்குகள் அல்லது லேசர் மூலங்களைப் பயன்படுத்தி விரைவான வெப்பம் மற்றும் குளிர்ச்சியை அடைவதில் உள்ளது, உள் செதில் குறைபாடுகளை நீக்குகிறது மற்றும் படிக அமைப்பை மேம்படுத்துகிறது, அதன் மூலம் குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

விரைவான வெப்ப அனீலிங் உலைகள் சிலிக்கான் மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி செதில்களின் அனீலிங் (RTA), விரைவான வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் (RTO), விரைவான வெப்ப நைட்ரைடிங் (RTN), ஸ்பின்-கோடட் டோபான்ட்களின் விரைவான வெப்ப பரவல், படிகமயமாக்கல் மற்றும் தொடர்பு கலவை போன்ற பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளை வழங்குகின்றன.