வெற்றிட சக்ஸ் மற்றும் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ் இடையே உள்ள வேறுபாடுகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இன்றியமையாத முக்கிய இணைப்புகளாக, செதில் வைத்திருக்கும் தொழில்நுட்பத்தின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியம் சிப் உற்பத்தி திறன் மற்றும் முடிக்கப்பட்ட சாதனத்தின் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. வெற்றிட சக்ஸ் மற்றும் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ் ஆகியவை குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான இரண்டு முக்கிய செதில் வைத்திருக்கும் தீர்வுகள் ஆகும். இரண்டும் வேஃபர் சக்ஸைச் சேர்ந்தவை என்றாலும், அவை அமைப்பு, செயல்திறன் பண்புகள் மற்றும் பொருந்தக்கூடிய காட்சிகளில் பெரிதும் வேறுபடுகின்றன.

1. வெவ்வேறு வேலை கோட்பாடுகள்

வெற்றிட சக்ஸ்செதில்களை வைத்திருக்க எதிர்மறை அழுத்தத்தை நம்புங்கள். ஒரு வெற்றிடப் பம்புடன் இணைக்கப்பட்ட பைப்லைன்கள் வழியாக காற்று பிரித்தெடுக்கப்படுகிறது, இது செதில்கள் அல்லது அடி மூலக்கூறுகளை சக் மேற்பரப்பில் உறுதியாக இணைக்க செதில்களின் அடியில் எதிர்மறை அழுத்தத்தை உருவாக்குகிறது. சக்கின் அடித்தளமானது பீங்கான் அல்லது உலோகத்திலிருந்து துல்லியமாக-எந்திரம் செய்யப்படுகிறது, மேலும் அதன் உறிஞ்சும் மேற்பரப்பு ஒரு நுண்துளை பீங்கான் தகட்டை அடித்தளத்தில் உள்ள எதிர் துளையில் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, அதன் சுற்றளவு பிணைக்கப்பட்டு அடித்தளத்துடன் மூடப்பட்டுள்ளது.  பீங்கான் தட்டின் உள் நுண்துளை சேனல்கள் மூலம் வெற்றிட பம்புடன் இணைக்கப்பட்ட சக், வளிமண்டல அழுத்தத்திற்குக் கீழே ஒரு வெற்றிட மண்டலத்தை உருவாக்குகிறது, இதனால் செதில் இறுக்கமாகப் பாதுகாக்கப்படுகிறது.

எலெக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ் ஒரு உலோகத் தளத்தின் உள்ளே உட்பொதிக்கப்பட்ட மின்முனைகளைக் கொண்ட ஒரு முக்கிய அமைப்பைப் பின்பற்றுகிறது, இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் மின்கடத்தா அடுக்கு மூலம் மூடப்பட்டிருக்கும். அவை பணியிடங்களில் மின் கட்டணங்களைத் தூண்டுவதற்காக அவற்றின் மேற்பரப்பில் ஒரு மின்னியல் புலத்தை உருவாக்குகின்றன, செதில்கள் அல்லது அடி மூலக்கூறுகளை இறுக்குவதற்கு மின்னியல் ஈர்ப்பை உருவாக்குகின்றன. மின்னழுத்தம் பயன்படுத்தப்படும் போது, ​​மின்முனைகளுக்கு இடையே ஒரு வலுவான மின்னியல் புலம் உருவாகிறது, பீங்கான் மின்கடத்தா மற்றும்செதில், பல ஆயிரம் முதல் பல்லாயிரக்கணக்கான பாஸ்கல்களை நிலையான செதில் பொருத்துதலுக்காக வழங்குதல்.

2. வெவ்வேறு செயல்திறன் நன்மைகள்

வெற்றிட சக்குகள் வெவ்வேறு பரிமாணங்களின் செதில்கள் மற்றும் பல்வேறு செயல்முறை பணிப்பாய்வுகளுடன் இணக்கமாக உள்ளன, செயலாக்கத்தின் போது செதில்களின் நிலையான சரிசெய்தலை வழங்குகிறது. எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​அவை ஒப்பீட்டளவில் எளிமையான உள் கட்டமைப்புகள் காரணமாக குறைந்த உற்பத்தி மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளைக் கொண்டுள்ளன.

எவ்வாறாயினும், வேஃபர்கள் வெற்றிட அல்லது குறைந்த அழுத்த சூழலில் செயல்படும் செயல்முறைகளுக்கு உட்படும் போது, ​​வேதியியல் நீராவி படிவு போன்ற, அழுத்த வேறுபாடுகளை நம்பியிருக்கும் வெற்றிட சக்குகள் செயல்முறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியாது. மேலும், வெற்றிட சக்களால் செதில்கள் வைக்கப்படும் போது, ​​காற்றழுத்தம் செதில் சிதைவை ஏற்படுத்தக்கூடும், இதன் விளைவாக செயலாக்கத்திற்குப் பிறகு மீண்டும் எழுகிறது. இது ஒரு அலை அலையான மேற்பரப்பு, மோசமான தட்டையான தன்மை மற்றும் பதப்படுத்தப்பட்ட செதில்களின் இயந்திர துல்லியம் ஆகியவற்றைக் குறைக்கலாம்.

மின்னியல் சக்ஸ்தொடர்பற்ற உறிஞ்சுதலைப் பின்பற்றி, சீரான, சமமாக விநியோகிக்கப்பட்ட கிளாம்பிங் விசையை வழங்குகிறது. இது செதில் சிதைவு, சிதைவு மற்றும் சேதத்தை திறம்பட தடுக்கிறது, அதிக எந்திர துல்லியத்திற்கான சிறந்த தட்டையான தன்மையை பாதுகாக்கிறது. சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்திற்காக ஹீலியம் பின்புற குளிர்ச்சியுடன் பொருத்தப்பட்டிருக்கும், மின்னியல் சக்ஸ் துல்லியமான செதில் வெப்பநிலை ஒழுங்குமுறையை ஆதரிக்கிறது.

எதிர்மறையாக, எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்க்கள் மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை, மென்மை மற்றும் மைக்ரான் அளவிலான நுண் கட்டமைப்புகளுக்கு மிகவும் கடுமையான தரங்களுடன் சிக்கலான கட்டமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளன. மைக்ரோ-அம்சங்களுக்கான மைக்ரான்-நிலை துல்லியமானது மூலப்பொருள் உருவாக்கம், சின்டரிங் மற்றும் மேற்பரப்பு முடித்தல் ஆகியவற்றில் உயர் தொழில்நுட்ப தடைகளை உருவாக்குகிறது. வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்ப சவாலாக உள்ளது; மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்பச் சிதறலுக்கான அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) மின்கடத்தா ESCகள் இன்னும் சிக்கலான உற்பத்தி செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது. கடுமையான பல பரிமாண தொழில்நுட்ப தேவைகள் தயாரிப்பு விலையை அதிகரிக்கின்றன, மேலும் நிலையான செயல்பாட்டிற்கு உத்தரவாதம் அளிக்க மின்னியல் அமைப்புகளின் வழக்கமான ஆய்வு மற்றும் பராமரிப்பு கட்டாயமாகும்.

3. வெவ்வேறு முக்கிய பயன்பாட்டு புலங்கள்

அதிக தட்டையான, உயர்ந்த இணையான தன்மை, அடர்த்தியான சீரான அமைப்பு, அதிக இயந்திர வலிமை, சீரான காற்று ஊடுருவல் மற்றும் எளிதான மறுசீரமைப்பு ஆகியவற்றுடன், உலோகத் தாள்கள் மற்றும் பிளாஸ்டிக் அடி மூலக்கூறுகள் போன்ற தட்டையான, நன்கு சீல் செய்யப்பட்ட பணியிடங்களை சரிசெய்து கொண்டு செல்ல வெற்றிட சக் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில், அவை செதில் மெலிதல், டைசிங், அரைத்தல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பிற செதில் சிகிச்சை செயல்முறைகளுக்கு சேவை செய்கின்றன, செதில் உள்தள்ளல்கள், சில்லுகளின் மின்னியல் முறிவு மற்றும் துகள் மாசுபாடு உள்ளிட்ட பொதுவான சிக்கல்களைத் திறம்பட தீர்க்கின்றன.

தட்டையான, கடத்துத்திறன் அல்லாத பணியிடங்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட, எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ் என்பது வெற்றிட மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்ட அதி-சுத்தமான செதில் கேரியர்கள் ஆகும். உலர் பொறித்தல், PECVD, வெப்ப CVD, உடல் நீராவி படிவு (PVD), அயன் பொருத்துதல் மற்றும் தீவிர புற ஊதா லித்தோகிராபி (EUVL) உள்ளிட்ட பிளாஸ்மா மற்றும் வெற்றிட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் அவை பரவலாக பயன்படுத்தப்படுகின்றன.