சிலிக்கான் வேஃபர்களின் மேற்பரப்பு மெருகூட்டல்

சிலிக்கான் செதில்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் மேற்பரப்பு மெருகூட்டல் ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும். மைக்ரோ-குறைபாடுகள், அழுத்த சேத அடுக்குகள் மற்றும் உலோக அயனிகள் போன்ற அசுத்தங்களிலிருந்து மாசுபடுதல் ஆகியவற்றை அகற்றுவதன் மூலம் மேற்பரப்பு தட்டையான மற்றும் கடினத்தன்மையின் மிக உயர்ந்த தரத்தை அடைவதே இதன் முதன்மை குறிக்கோள். இது உறுதி செய்கிறதுசிலிக்கான் செதில்கள்ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் (ICs) உட்பட மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களுக்கான தயாரிப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.

மெருகூட்டல் துல்லியத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்க, திசிலிக்கான் செதில்மெருகூட்டல் செயல்முறை இரண்டு, மூன்று அல்லது நான்கு வெவ்வேறு படிகளாக ஒழுங்கமைக்கப்படலாம். ஒவ்வொரு அடியிலும் அழுத்தம், பாலிஷ் திரவ கலவை, துகள் அளவு, செறிவு, pH மதிப்பு, பாலிஷ் துணி பொருள், கட்டமைப்பு, கடினத்தன்மை, வெப்பநிலை மற்றும் செயலாக்க அளவு உள்ளிட்ட பல்வேறு செயலாக்க நிலைமைகளைப் பயன்படுத்துகிறது.

பொது நிலைகள்சிலிக்கான் செதில்மெருகூட்டல் பின்வருமாறு:

1. **ரஃப் மெருகூட்டல்**: இந்த நிலை முன் செயலாக்கத்திலிருந்து மேற்பரப்பில் எஞ்சியிருக்கும் இயந்திர அழுத்த சேத அடுக்கை அகற்றுவதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது, தேவையான வடிவியல் பரிமாண துல்லியத்தை அடைகிறது. கடினமான மெருகூட்டலுக்கான செயலாக்க அளவு பொதுவாக 15-20μm அதிகமாக இருக்கும்.

2. **நன்றாக மெருகூட்டல்**: இந்த நிலையில், உயர் மேற்பரப்பு தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக சிலிக்கான் வேஃபர் மேற்பரப்பின் உள்ளூர் தட்டை மற்றும் கடினத்தன்மை மேலும் குறைக்கப்படுகிறது. நன்றாக மெருகூட்டுவதற்கான செயலாக்க அளவு சுமார் 5-8μm ஆகும்.

3. **"டிஃபாக்கிங்" ஃபைன் பாலிஷிங்**: இந்தப் படியானது சிறிய மேற்பரப்பு குறைபாடுகளை நீக்குவது மற்றும் செதில்களின் நானோ-மார்பாலஜி பண்புகளை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்துகிறது. இந்த செயல்பாட்டின் போது அகற்றப்பட்ட பொருட்களின் அளவு சுமார் 1μm ஆகும்.

4. **இறுதி மெருகூட்டல்**: மிகக் கடுமையான லைன்வித்த் தேவைகள் (0.13μm அல்லது 28nm க்கும் குறைவான சில்லுகள் போன்றவை) கொண்ட IC சிப் செயல்முறைகளுக்கு, நேர்த்தியான மெருகூட்டல் மற்றும் "டீஃபாக்கிங்" செய்த பிறகு, இறுதி மெருகூட்டல் படி அவசியம். சிலிக்கான் செதில் விதிவிலக்கான இயந்திர துல்லியம் மற்றும் நானோ அளவிலான மேற்பரப்பு பண்புகளை அடைவதை இது உறுதி செய்கிறது.

இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல் (சிஎம்பி) என்பது குறிப்பிடத்தக்கதுசிலிக்கான் செதில்IC தயாரிப்பில் செதில் மேற்பரப்பைத் தட்டையாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் CMP தொழில்நுட்பத்திலிருந்து மேற்பரப்பு வேறுபட்டது. இரண்டு முறைகளும் இரசாயன மற்றும் இயந்திர மெருகூட்டலின் கலவையை உள்ளடக்கியிருந்தாலும், அவற்றின் நிபந்தனைகள், நோக்கங்கள் மற்றும் பயன்பாடுகள் கணிசமாக வேறுபடுகின்றன.

செமிகோரெக்ஸ் சலுகைகள்உயர்தர செதில்கள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com