தெர்மல் அனீலிங் என்றால் என்ன

அனீலிங் செயல்முறை, வெப்ப அனீலிங் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கியமான படியாகும். இது சிலிக்கான் செதில்களை அதிக வெப்பநிலைக்கு உட்படுத்துவதன் மூலம் பொருட்களின் மின் மற்றும் இயந்திர பண்புகளை மேம்படுத்துகிறது. அனீலிங்கின் முதன்மை இலக்குகள் லட்டு சேதத்தை சரிசெய்வது, டோபண்டுகளை செயல்படுத்துவது, பட பண்புகளை மாற்றுவது மற்றும் உலோக சிலிசைடுகளை உருவாக்குவது. அனீலிங் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் பல பொதுவான உபகரணங்களில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட SiC- பூசப்பட்ட பாகங்கள் அடங்கும்மேற்கொள்பவர், கவர்கள், போன்றவை செமிகோரெக்ஸ் வழங்கியது.

அனீலிங் செயல்முறையின் அடிப்படைக் கோட்பாடுகள்

அனீலிங் செயல்முறையின் அடிப்படைக் கொள்கையானது, பொருளுக்குள் இருக்கும் அணுக்களை மறுசீரமைக்க அதிக வெப்பநிலையில் வெப்ப ஆற்றலைப் பயன்படுத்துவதாகும், இதன் மூலம் குறிப்பிட்ட உடல் மற்றும் வேதியியல் மாற்றங்களை அடைகிறது. இது முக்கியமாக பின்வரும் அம்சங்களை உள்ளடக்கியது:

1. லட்டு சேதம் பழுது:

  - அயன் பொருத்துதல்: உயர் ஆற்றல் அயனிகள் அயனி பொருத்துதலின் போது சிலிக்கான் செதில் மீது குண்டுவீசி, லட்டு கட்டமைப்பிற்கு சேதம் விளைவித்து, ஒரு உருவமற்ற பகுதியை உருவாக்குகிறது.

  - அனீலிங் பழுது: அதிக வெப்பநிலையில், உருவமற்ற பகுதிக்குள் உள்ள அணுக்கள் லட்டு வரிசையை மீட்டெடுக்க மறுசீரமைக்கப்படுகின்றன. இந்த செயல்முறைக்கு பொதுவாக 500 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலை தேவைப்படுகிறது.

2. தூய்மையற்ற செயல்படுத்தல்:

  - டோபண்ட் இடம்பெயர்வு: அனீலிங் செயல்பாட்டின் போது செலுத்தப்படும் தூய்மையற்ற அணுக்கள் இடைநிலை தளங்களிலிருந்து லட்டு தளங்களுக்கு இடம்பெயர்ந்து, ஊக்கமருந்துகளை திறம்பட உருவாக்குகின்றன.

  - செயல்படுத்தும் வெப்பநிலை: தூய்மையற்ற செயல்பாட்டிற்கு பொதுவாக 950 டிகிரி செல்சியஸ் அதிக வெப்பநிலை தேவைப்படுகிறது. அதிக வெப்பநிலை அசுத்தத்தின் அதிக செயல்பாட்டு விகிதங்களுக்கு வழிவகுக்கும், ஆனால் அதிகப்படியான அதிக வெப்பநிலையானது அதிகப்படியான தூய்மையற்ற பரவலை ஏற்படுத்துகிறது, இது சாதனத்தின் செயல்திறனை பாதிக்கிறது.

3. திரைப்பட மாற்றம்:

  - அடர்த்தி: அனீலிங் தளர்வான படலங்களை அடர்த்தியாக்கி, உலர்ந்த அல்லது ஈரமான செதுக்கலின் போது அவற்றின் பண்புகளை மாற்றும்.

  - உயர்-கே கேட் மின்கடத்தா: உயர்-கே கேட் மின்கடத்தா வளர்ச்சிக்குப் பின் டெபாசிஷன் அனீலிங் (PDA) மின்கடத்தா பண்புகளை மேம்படுத்தலாம், கேட் கசிவு மின்னோட்டத்தைக் குறைக்கலாம் மற்றும் மின்கடத்தா மாறிலியை அதிகரிக்கும்.

4. உலோக சிலிசைடு உருவாக்கம்:

  - அலாய் கட்டம்: உலோகத் திரைப்படங்கள் (எ.கா. கோபால்ட், நிக்கல் மற்றும் டைட்டானியம்) சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து உலோகக் கலவைகளை உருவாக்குகின்றன. பல்வேறு அனீலிங் வெப்பநிலை நிலைகள் பல்வேறு அலாய் கட்டங்களை உருவாக்க வழிவகுக்கும்.

  - செயல்திறன் தேர்வுமுறை: அனீலிங் வெப்பநிலை மற்றும் நேரத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், குறைந்த தொடர்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உடல் எதிர்ப்பைக் கொண்ட அலாய் கட்டங்களை அடைய முடியும்.

பல்வேறு வகையான அனீலிங் செயல்முறைகள்

1. உயர் வெப்பநிலை உலை அனீலிங்:

அம்சங்கள்: அதிக வெப்பநிலை (பொதுவாக 1000°Cக்கு மேல்) மற்றும் நீண்ட அனீலிங் நேரம் (பல மணிநேரங்கள்) கொண்ட பாரம்பரிய அனீலிங் முறை.

பயன்பாடு: SOI அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு மற்றும் ஆழமான n-கிணறு பரவல் போன்ற அதிக வெப்ப பட்ஜெட் தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.

2. விரைவான வெப்ப அனீலிங் (ஆர்டிஏ):

அம்சங்கள்: விரைவான வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டலின் சிறப்பியல்புகளைப் பயன்படுத்தி, அனீலிங் ஒரு குறுகிய காலத்தில் முடிக்கப்படலாம், பொதுவாக சுமார் 1000 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலை மற்றும் வினாடிகள்.

பயன்பாடு: தீவிர ஆழமற்ற சந்திப்புகளை உருவாக்குவதற்கு குறிப்பாக பொருத்தமானது, இது அசுத்தங்களின் அதிகப்படியான பரவலை திறம்பட குறைக்கும் மற்றும் மேம்பட்ட முனை உற்பத்தியின் இன்றியமையாத பகுதியாகும்.

3. ஃபிளாஷ் லேம்ப் அனீலிங் (FLA):

அம்சங்கள்: சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பை மிகக் குறைந்த நேரத்தில் (மில்லி விநாடிகள்) சூடாக்க உயர்-தீவிர ஃபிளாஷ் விளக்குகளைப் பயன்படுத்தவும்.

பயன்பாடு: 20nm க்கும் குறைவான கோடு அகலத்துடன் கூடிய தீவிர ஆழமற்ற ஊக்கமருந்து செயல்படுத்தலுக்கு ஏற்றது, இது அதிக தூய்மையற்ற செயலாக்க விகிதத்தை பராமரிக்கும் போது தூய்மையற்ற பரவலைக் குறைக்கும்.

4. லேசர் ஸ்பைக் அனீலிங் (LSA):

அம்சங்கள்: சிலிக்கான் செதில் மேற்பரப்பை மிகக் குறுகிய காலத்தில் (மைக்ரோ விநாடிகள்) சூடாக்க லேசர் ஒளி மூலத்தைப் பயன்படுத்தவும்.

பயன்பாடு: FinFET மற்றும் உயர்-k/மெட்டல் கேட் (HKMG) சாதனங்களின் உற்பத்தி போன்ற உயர் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுCVD SiC/TaC பூச்சு பாகங்கள்வெப்ப அனீலிங்க்காக. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com