சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர்களுக்கு இடையே உள்ள பொறித்தல் வேறுபாடுகளைப் புரிந்துகொள்வது

உலர் பொறித்தல் செயல்முறைகளில், குறிப்பாக எதிர்வினை அயன் பொறித்தல் (RIE), பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் பண்புகள் பொறிக்கப்பட்ட அமைப்புகளின் பொறிப்பு வீதத்தையும் இறுதி உருவ அமைப்பையும் தீர்மானிப்பதில் குறிப்பிடத்தக்க பங்கு வகிக்கிறது. பொறித்தல் நடத்தைகளை ஒப்பிடும் போது இது மிகவும் முக்கியமானதுசிலிக்கான் செதில்கள்மற்றும்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செதில்கள். செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இரண்டும் பொதுவான பொருட்கள் என்றாலும், அவற்றின் வேறுபட்ட இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள் மாறுபட்ட பொறிப்பு விளைவுகளுக்கு வழிவகுக்கும்.

பொருள் பண்புகள் ஒப்பீடு:சிலிக்கான்எதிராகசிலிக்கான் கார்பைடு

மேசையில் இருந்து, SiC ஆனது சிலிக்கானை விட மிகவும் கடினமானது, 9.5 Mohs கடினத்தன்மை, வைரத்தை நெருங்குகிறது (Mohs கடினத்தன்மை 10). கூடுதலாக, SiC மிக அதிகமான இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, அதாவது இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு மிகவும் குறிப்பிட்ட நிபந்தனைகள் தேவை.

பொறித்தல் செயல்முறை:சிலிக்கான்எதிராகசிலிக்கான் கார்பைடு

RIE பொறித்தல் உடல் குண்டுவீச்சு மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகள் இரண்டையும் உள்ளடக்கியது. கடினமான மற்றும் அதிக இரசாயன எதிர்வினை கொண்ட சிலிக்கான் போன்ற பொருட்களுக்கு, செயல்முறை திறமையாக செயல்படுகிறது. சிலிக்கானின் வேதியியல் வினைத்திறன் ஃப்ளோரின் அல்லது குளோரின் போன்ற எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும் போது எளிதாக பொறிக்க அனுமதிக்கிறது, மேலும் அயனிகளின் உடல் குண்டுவீச்சு சிலிக்கான் லேட்டிஸில் உள்ள பலவீனமான பிணைப்புகளை எளிதில் சீர்குலைக்கும்.

இதற்கு மாறாக, SiC பொறித்தல் செயல்முறையின் உடல் மற்றும் வேதியியல் அம்சங்களில் குறிப்பிடத்தக்க சவால்களை முன்வைக்கிறது. SiC இன் இயற்பியல் குண்டுவீச்சு அதன் அதிக கடினத்தன்மை காரணமாக குறைவான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, மேலும் Si-C கோவலன்ட் பிணைப்புகள் அதிக பத்திர ஆற்றல்களைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது அவை உடைப்பது மிகவும் கடினம். SiC இன் உயர் இரசாயன செயலற்ற தன்மை சிக்கலை மேலும் அதிகரிக்கிறது, ஏனெனில் இது வழக்கமான பொறிப்பு வாயுக்களுடன் உடனடியாக செயல்படாது. இதன் விளைவாக, மெல்லியதாக இருந்தாலும், சிலிக்கான் செதில்களுடன் ஒப்பிடும்போது SiC செதில் மிகவும் மெதுவாகவும் சமமற்றதாகவும் பொறிக்க முனைகிறது.

SiC ஐ விட சிலிக்கான் ஏன் வேகமாக பொறிக்கிறது?

சிலிக்கான் செதில்களை பொறிக்கும்போது, ​​675 µm சிலிக்கான் போன்ற தடிமனான செதில்களுக்கு கூட, பொருளின் குறைந்த கடினத்தன்மை மற்றும் அதிக வினைத்திறன் தன்மை ஒரு மென்மையான, வேகமான செயல்முறையை விளைவிக்கிறது. இருப்பினும், மெல்லிய SiC செதில்களை (350 µm) பொறிக்கும்போது, ​​பொருளின் கடினத்தன்மை மற்றும் Si-C பிணைப்புகளை உடைப்பதில் உள்ள சிரமம் காரணமாக பொறித்தல் செயல்முறை மிகவும் கடினமாகிறது.

கூடுதலாக, SiC இன் மெதுவான பொறிப்பு அதன் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக இருக்கலாம். SiC வெப்பத்தை விரைவாகச் சிதறடித்து, உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட ஆற்றலைக் குறைக்கிறது, இல்லையெனில் பொறித்தல் எதிர்வினைகளை இயக்க உதவும். இரசாயன பிணைப்புகளை உடைப்பதில் உதவ வெப்ப விளைவுகளை நம்பியிருக்கும் செயல்முறைகளுக்கு இது குறிப்பாக சிக்கலாக உள்ளது.

SiC இன் பொறித்தல் விகிதம்

சிலிக்கானுடன் ஒப்பிடும்போது SiC இன் பொறித்தல் விகிதம் கணிசமாக மெதுவாக உள்ளது. உகந்த நிலைமைகளின் கீழ், SiC பொறித்தல் விகிதங்கள் நிமிடத்திற்கு தோராயமாக 700 nm ஐ எட்டும், ஆனால் பொருளின் கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை காரணமாக இந்த விகிதத்தை அதிகரிப்பது சவாலானது. பொறித்தல் வேகத்தை அதிகரிப்பதற்கான எந்தவொரு முயற்சியும், பொறித்தல் சீரான தன்மை அல்லது மேற்பரப்பு தரத்தை சமரசம் செய்யாமல், உடல் குண்டுவீச்சு தீவிரம் மற்றும் எதிர்வினை வாயு கலவையை கவனமாக சமப்படுத்த வேண்டும்.

SiC எட்ச்சிங்கிற்கு SiO₂ ஐ மாஸ்க் லேயராகப் பயன்படுத்துதல்

SiC பொறிப்பினால் ஏற்படும் சவால்களுக்கு ஒரு பயனுள்ள தீர்வு SiO₂ இன் தடிமனான அடுக்கு போன்ற வலுவான முகமூடி அடுக்கைப் பயன்படுத்துவதாகும். SiO₂ எதிர்வினை அயனி பொறித்தல் சூழலுக்கு அதிக எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, தேவையற்ற பொறிப்பிலிருந்து அடிப்படை SiC ஐப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் பொறிக்கப்பட்ட கட்டமைப்புகள் மீது சிறந்த கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

தடிமனான SiO₂ மாஸ்க் லேயரின் தேர்வு, SiC இன் உடல் குண்டுவீச்சு மற்றும் வரையறுக்கப்பட்ட இரசாயன வினைத்திறன் ஆகிய இரண்டிற்கும் எதிராக போதுமான பாதுகாப்பை வழங்குகிறது, இது மிகவும் சீரான மற்றும் துல்லியமான பொறிப்பு முடிவுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது.

முடிவில், சிலிக்கானுடன் ஒப்பிடும்போது SiC செதில்களை பொறிப்பதற்கு மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த அணுகுமுறைகள் தேவைப்படுகின்றன, இது பொருளின் தீவிர கடினத்தன்மை, அதிக பிணைப்பு ஆற்றல் மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றைக் கருத்தில் கொள்கிறது. SiO₂ போன்ற பொருத்தமான முகமூடி அடுக்குகளைப் பயன்படுத்துதல் மற்றும் RIE செயல்முறையை மேம்படுத்துதல் ஆகியவை பொறித்தல் செயல்பாட்டில் உள்ள சில சிரமங்களைச் சமாளிக்க உதவும்.

Semicorex போன்ற உயர்தர கூறுகளை வழங்குகிறதுபொறித்தல் மோதிரம், மழை தலை, போன்றவை பொறித்தல் அல்லது அயன் பொருத்துதலுக்கானவை. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com