சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் மற்றும் அவற்றின் பலதரப்பட்ட ஃபேப்ரிகேஷன் செயல்முறைகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மட்பாண்டங்கள்துல்லியமான தாங்கு உருளைகள், முத்திரைகள், எரிவாயு விசையாழி சுழலிகள், ஒளியியல் கூறுகள், உயர் வெப்பநிலை முனைகள், வெப்பப் பரிமாற்றி கூறுகள் மற்றும் அணு உலை பொருட்கள் போன்ற கோரும் பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த பரவலான பயன்பாடு, அதிக உடைகள் எதிர்ப்பு, சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர்ந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை இயந்திர பண்புகள் உள்ளிட்ட அவற்றின் விதிவிலக்கான பண்புகளிலிருந்து உருவாகிறது. இருப்பினும், SiC க்கு உள்ளார்ந்த வலுவான கோவலன்ட் பிணைப்பு மற்றும் குறைந்த பரவல் குணகம் ஆகியவை சின்டரிங் செயல்பாட்டின் போது அதிக அடர்த்தியை அடைவதில் குறிப்பிடத்தக்க சவாலை முன்வைக்கின்றன. இதன் விளைவாக, சின்டரிங் செயல்முறை உயர் செயல்திறனைப் பெறுவதில் ஒரு முக்கியமான படியாகிறதுSiC மட்பாண்டங்கள்.

இந்த தாள் அடர்த்தியான உற்பத்திக்கு பயன்படுத்தப்படும் பல்வேறு உற்பத்தி நுட்பங்களைப் பற்றிய விரிவான கண்ணோட்டத்தை வழங்குகிறது.RBSiC/PSSiC/ஆர்எஸ்ஐசி மட்பாண்டங்கள், அவற்றின் தனித்துவமான பண்புகள் மற்றும் பயன்பாடுகளை எடுத்துக்காட்டுகின்றன:

1. எதிர்வினை பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RBSiC)

RBSiCசிலிக்கான் கார்பைடு பொடியை (பொதுவாக 1-10 μm) கார்பனுடன் கலந்து, கலவையை பச்சை நிறமாக வடிவமைத்து, சிலிக்கான் ஊடுருவலுக்கு அதிக வெப்பநிலைக்கு உட்படுத்துகிறது. இந்த செயல்பாட்டின் போது, ​​சிலிக்கான் கார்பனுடன் வினைபுரிந்து SiC ஐ உருவாக்குகிறது, இது ஏற்கனவே இருக்கும் SiC துகள்களுடன் பிணைக்கிறது, இறுதியில் அடர்த்தியை அடைகிறது. இரண்டு முதன்மை சிலிக்கான் ஊடுருவல் முறைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

திரவ சிலிக்கான் ஊடுருவல்: சிலிக்கான் அதன் உருகுநிலைக்கு (1450-1470°C) மேல் சூடாக்கப்படுகிறது, இது உருகிய சிலிக்கான் நுண்துளைப் பச்சை நிற உடலில் நுண்துளைச் செயலின் மூலம் ஊடுருவ அனுமதிக்கிறது. உருகிய சிலிக்கான் பின்னர் கார்பனுடன் வினைபுரிந்து SiC ஐ உருவாக்குகிறது.

நீராவி சிலிக்கான் ஊடுருவல்: சிலிக்கான் நீராவியை உருவாக்க சிலிக்கான் அதன் உருகுநிலைக்கு அப்பால் சூடேற்றப்படுகிறது. இந்த நீராவி பச்சை நிற உடலை ஊடுருவி, பின்னர் கார்பனுடன் வினைபுரிந்து SiC ஐ உருவாக்குகிறது.

செயல்முறை ஓட்டம்: SiC தூள் + C தூள் + பைண்டர் → வடிவமைத்தல் → உலர்த்துதல் → கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வளிமண்டலத்தில் பைண்டர் எரிதல் → உயர் வெப்பநிலை Si ஊடுருவல் → பிந்தைய செயலாக்கம்

(1) முக்கிய பரிசீலனைகள்:

இயக்க வெப்பநிலைRBSiCபொருளில் எஞ்சியிருக்கும் இலவச சிலிக்கான் உள்ளடக்கத்தால் வரையறுக்கப்பட்டுள்ளது. பொதுவாக, அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை சுமார் 1400 ° C ஆகும். இந்த வெப்பநிலைக்கு மேல், இலவச சிலிக்கான் உருகுவதால் பொருளின் வலிமை விரைவாக மோசமடைகிறது.

திரவ சிலிக்கான் ஊடுருவல் அதிக எஞ்சிய சிலிக்கான் உள்ளடக்கத்தை (பொதுவாக 10-15%, சில சமயங்களில் 15%க்கு மேல்) விட்டுச்செல்கிறது, இது இறுதி தயாரிப்பின் பண்புகளை எதிர்மறையாக பாதிக்கும். மாறாக, நீராவி சிலிக்கான் ஊடுருவல் எஞ்சிய சிலிக்கான் உள்ளடக்கத்தின் மீது சிறந்த கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது. பச்சை நிற உடலில் உள்ள போரோசிட்டியைக் குறைப்பதன் மூலம், சின்டரிங் செய்த பிறகு எஞ்சியிருக்கும் சிலிக்கான் உள்ளடக்கத்தை 10% க்கும் குறைவாகவும், கவனமாக செயல்முறை கட்டுப்பாட்டுடன் 8% க்கும் குறைவாகவும் குறைக்கலாம். இந்த குறைப்பு இறுதி தயாரிப்பின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

என்பது குறிப்பிடத்தக்கதுRBSiC, ஊடுருவல் முறையைப் பொருட்படுத்தாமல், தவிர்க்க முடியாமல் சில எஞ்சிய சிலிக்கான் (8% முதல் 15% வரை) கொண்டிருக்கும். எனவே,RBSiCஒற்றை-கட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் அல்ல, மாறாக "சிலிக்கான் + சிலிக்கான் கார்பைடு" கலவையாகும். இதன் விளைவாக,RBSiCஎன்றும் குறிப்பிடப்படுகிறதுSiSiC (சிலிக்கான் சிலிக்கான் கார்பைடு கலவை).

(2) நன்மைகள் மற்றும் பயன்பாடுகள்:

RBSiCஉட்பட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது:

குறைந்த சின்டரிங் வெப்பநிலை: இது ஆற்றல் நுகர்வு மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளை குறைக்கிறது.

செலவு-செயல்திறன்: செயல்முறை ஒப்பீட்டளவில் எளிமையானது மற்றும் எளிதில் கிடைக்கக்கூடிய மூலப்பொருட்களைப் பயன்படுத்துகிறது, அதன் மலிவு விலைக்கு பங்களிக்கிறது.

அதிக அடர்த்தி:RBSiCஅதிக அடர்த்தி நிலைகளை அடைகிறது, இது மேம்பட்ட இயந்திர பண்புகளுக்கு வழிவகுக்கிறது.

நியர்-நெட் ஷேப்பிங்: கார்பன் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு ப்ரீஃபார்ம் சிக்கலான வடிவங்களுக்கு முன் இயந்திரமாக்கப்படலாம், மேலும் சிண்டரிங் செய்யும் போது (பொதுவாக 3% க்கும் குறைவாக) குறைந்த அளவு சுருக்கம் சிறந்த பரிமாண துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. இது விலையுயர்ந்த பிந்தைய சின்டரிங் எந்திரத்தின் தேவையை குறைக்கிறதுRBSiCபெரிய, சிக்கலான வடிவ கூறுகளுக்கு குறிப்பாக பொருத்தமானது.

இந்த நன்மைகள் காரணமாக,RBSiCபல்வேறு தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் பரவலான பயன்பாட்டை அனுபவிக்கிறது, முதன்மையாக உற்பத்திக்காக:

உலை கூறுகள்: புறணிகள், சிலுவைகள் மற்றும் சாகர்கள்.

விண்வெளி கண்ணாடிகள்:RBSiCகுறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் உயர் மீள் மாடுலஸ் ஆகியவை விண்வெளி அடிப்படையிலான கண்ணாடிகளுக்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.

உயர் வெப்பநிலை வெப்பப் பரிமாற்றிகள்: Refel (UK) போன்ற நிறுவனங்கள் பயன்படுத்த முன்னோடியாக உள்ளன.RBSiCஉயர் வெப்பநிலை வெப்பப் பரிமாற்றிகளில், இரசாயன செயலாக்கம் முதல் மின் உற்பத்தி வரையிலான பயன்பாடுகள். Asahi Glass (ஜப்பான்) இந்த தொழில்நுட்பத்தையும் ஏற்றுக்கொண்டது, 0.5 முதல் 1 மீட்டர் நீளமுள்ள வெப்ப பரிமாற்ற குழாய்களை உருவாக்குகிறது.

மேலும், செமிகண்டக்டர் துறையில் பெரிய செதில்களுக்கான தேவை மற்றும் அதிக செயலாக்க வெப்பநிலை ஆகியவை உயர்-தூய்மையின் வளர்ச்சியைத் தூண்டின.RBSiCகூறுகள். உயர்-தூய்மை SiC தூள் மற்றும் சிலிக்கானைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படும் இந்தக் கூறுகள், எலக்ட்ரான் குழாய்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில் செயலாக்க கருவிகளுக்கான ஆதரவு ஜிக்ஸில் படிப்படியாக குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி பாகங்களை மாற்றுகின்றன.

பரவல் உலைக்கான செமிகோரெக்ஸ் RBSiC வேஃபர் படகு

(3) வரம்புகள்:

அதன் நன்மைகள் இருந்தபோதிலும்,RBSiCசில வரம்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

எஞ்சிய சிலிக்கான்: முன்பு குறிப்பிட்டபடி, திRBSiCசெயல்முறையானது இறுதி தயாரிப்புக்குள் எஞ்சிய இலவச சிலிக்கானை இயல்பாகவே விளைவிக்கிறது. இந்த எஞ்சிய சிலிக்கான் பொருளின் பண்புகளை எதிர்மறையாக பாதிக்கிறது, அவற்றுள்:

மற்றவற்றுடன் ஒப்பிடும்போது குறைக்கப்பட்ட வலிமை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்புSiC மட்பாண்டங்கள்.

மட்டுப்படுத்தப்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்பு: இலவச சிலிக்கான் காரக் கரைசல்கள் மற்றும் ஹைட்ரோபுளோரிக் அமிலம் போன்ற வலுவான அமிலங்களால் தாக்குதலுக்கு ஆளாகிறது.RBSiCஅத்தகைய சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

குறைந்த உயர் வெப்பநிலை வலிமை: இலவச சிலிக்கானின் இருப்பு அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலையை சுமார் 1350-1400 டிகிரி செல்சியஸ் வரை கட்டுப்படுத்துகிறது.

2. அழுத்தம் இல்லாத சின்டரிங் - PSSiC

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அழுத்தமற்ற சின்டரிங்2000-2150 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் மந்த வளிமண்டலத்தின் கீழ் மற்றும் வெளிப்புற அழுத்தத்தைப் பயன்படுத்தாமல், பொருத்தமான சிண்டரிங் எய்ட்களைச் சேர்ப்பதன் மூலம் வெவ்வேறு வடிவங்கள் மற்றும் அளவுகள் கொண்ட மாதிரிகளின் அடர்த்தியை அடைகிறது. SiC இன் அழுத்தமற்ற சின்டரிங் தொழில்நுட்பம் முதிர்ச்சியடைந்துள்ளது, மேலும் அதன் நன்மைகள் அதன் குறைந்த உற்பத்திச் செலவில் உள்ளது மற்றும் தயாரிப்புகளின் வடிவம் மற்றும் அளவு மீது எந்த கட்டுப்பாடுகளும் இல்லை. குறிப்பாக, திட-நிலை சின்டர் செய்யப்பட்ட SiC மட்பாண்டங்கள் அதிக அடர்த்தி, சீரான நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் சிறந்த விரிவான பொருள் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை உடைகள்-எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பை-எதிர்ப்பு சீல் வளையங்கள், நெகிழ் தாங்கு உருளைகள் மற்றும் பிற பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அழுத்தமற்ற சின்டரிங் செயல்முறையை திட-கட்டமாக பிரிக்கலாம்சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு (SSiC)மற்றும் திரவ-கட்ட சின்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (LSiC).

அழுத்தமில்லாத திட-கட்ட சின்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் தானிய எல்லை

சாலிட்-ஃபேஸ் சின்டரிங் முதன்முதலில் அமெரிக்க விஞ்ஞானி ப்ரோசாஸ்காவால் 1974 இல் கண்டுபிடிக்கப்பட்டது. அவர் சப்மிக்ரான் β-SiC இல் ஒரு சிறிய அளவு போரான் மற்றும் கார்பனைச் சேர்த்தார், சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அழுத்தமற்ற சின்டரிங் உணர்ந்து 95% அடர்த்தி கொண்ட அடர்த்தியான சின்டர்டு உடலைப் பெற்றார். தத்துவார்த்த மதிப்பு. பின்னர், W. Btcker மற்றும் H. Hansner ஆகியோர் α-SiC ஐ மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தினர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அடர்த்தியை அடைய போரான் மற்றும் கார்பனைச் சேர்த்தனர். பல பிற்கால ஆய்வுகள் போரான் மற்றும் போரான் சேர்மங்கள் மற்றும் அல் மற்றும் அல் கலவைகள் இரண்டும் சிலிக்கான் கார்பைடுடன் திடமான கரைசல்களை உருவாக்கி சின்டரிங் செய்வதை ஊக்குவிக்கின்றன என்பதைக் காட்டுகின்றன. மேற்பரப்பு ஆற்றலை அதிகரிக்க சிலிக்கான் கார்பைட்டின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடுடன் வினைபுரிவதன் மூலம் கார்பன் சேர்ப்பது சின்டரிங் செய்வதற்கு நன்மை பயக்கும். சாலிட்-ஃபேஸ் சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு ஒப்பீட்டளவில் "சுத்தமான" தானிய எல்லைகளைக் கொண்டுள்ளது, அடிப்படையில் திரவ நிலை இல்லை, மேலும் தானியங்கள் அதிக வெப்பநிலையில் எளிதாக வளரும். எனவே, எலும்பு முறிவு கிரானுலார், மற்றும் வலிமை மற்றும் முறிவு கடினத்தன்மை பொதுவாக அதிகமாக இல்லை. இருப்பினும், அதன் "சுத்தமான" தானிய எல்லைகள் காரணமாக, அதிக வெப்பநிலை வலிமை அதிகரிக்கும் வெப்பநிலையுடன் மாறாது மற்றும் பொதுவாக 1600 ° C வரை நிலையானதாக இருக்கும்.

1990களின் முற்பகுதியில் அமெரிக்க விஞ்ஞானி எம்.ஏ.முல்லா என்பவரால் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் திரவ-நிலை சின்டரிங் கண்டுபிடிக்கப்பட்டது. அதன் முக்கிய சின்டரிங் சேர்க்கை Y2O3-Al2O3 ஆகும். திரவ-கட்ட சின்டரிங் திட-கட்ட சின்டரிங் உடன் ஒப்பிடும்போது குறைந்த சின்டரிங் வெப்பநிலையின் நன்மையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் தானிய அளவு சிறியது.

திட-கட்ட சின்டரிங் செய்வதன் முக்கிய தீமைகள், தேவையான உயர் சின்டரிங் வெப்பநிலை (>2000°C), மூலப்பொருட்களுக்கான அதிக தூய்மை தேவைகள், சின்டர் செய்யப்பட்ட உடலின் குறைந்த எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை மற்றும் விரிசல்களுக்கு எலும்பு முறிவு வலிமையின் வலுவான உணர்திறன். கட்டமைப்பு ரீதியாக, தானியங்கள் கரடுமுரடான மற்றும் சீரற்றவை, மற்றும் எலும்பு முறிவு முறை பொதுவாக டிரான்ஸ்கிரானுலர் ஆகும். சமீபத்திய ஆண்டுகளில், உள்நாட்டிலும் வெளிநாட்டிலும் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்கள் மீதான ஆராய்ச்சி திரவ-கட்ட சின்டரிங் மீது கவனம் செலுத்துகிறது. திரவ-கட்ட சின்டரிங் என்பது ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு பல-கூறு குறைந்த-யூடெக்டிக் ஆக்சைடுகளை சின்டரிங் எய்ட்களாகப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் அடையப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, Y2O3 இன் பைனரி மற்றும் மும்மை உதவிகள் SiC ஐ உருவாக்கலாம் மற்றும் அதன் கலவைகள் குறைந்த வெப்பநிலையில் பொருளின் சிறந்த அடர்த்தியை அடைவதன் மூலம் திரவ-நிலை சின்டரிங் வெளிப்படுத்துகின்றன. அதே நேரத்தில், தானிய எல்லை திரவ கட்டத்தின் அறிமுகம் மற்றும் தனித்துவமான இடைமுக பிணைப்பு வலிமை பலவீனமடைவதால், பீங்கான் பொருளின் எலும்பு முறிவு முறை ஒரு இடைக்கணிப்பு முறிவு முறைக்கு மாறுகிறது, மேலும் பீங்கான் பொருளின் முறிவு கடினத்தன்மை கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது. .

3. மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு - ஆர்எஸ்ஐசி

மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RSiC)கரடுமுரடான மற்றும் நுண்ணிய இரண்டு வெவ்வேறு துகள் அளவுகள் கொண்ட உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) தூளில் இருந்து தயாரிக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை SiC பொருள். இது அதிக வெப்பநிலையில் (2200-2450°C) சின்டரிங் எய்ட்ஸ் சேர்க்காமல் ஆவியாதல்-ஒடுக்குதல் பொறிமுறையின் மூலம் சின்டர் செய்யப்படுகிறது.

குறிப்பு: சின்டரிங் எய்ட்ஸ் இல்லாமல், சின்டரிங் கழுத்தின் வளர்ச்சி பொதுவாக மேற்பரப்பு பரவல் அல்லது ஆவியாதல்-ஒடுக்கம் வெகுஜன பரிமாற்றம் மூலம் அடையப்படுகிறது. கிளாசிக்கல் சின்டெரிங் கோட்பாட்டின் படி, இந்த வெகுஜன பரிமாற்ற முறைகள் எதுவும் தொடர்பு கொள்ளும் துகள்களின் வெகுஜன மையங்களுக்கு இடையிலான தூரத்தைக் குறைக்க முடியாது, இதனால் மேக்ரோஸ்கோபிக் அளவில் எந்த சுருக்கமும் ஏற்படாது, இது அடர்த்தியற்ற செயல்முறையாகும். இந்தச் சிக்கலைத் தீர்க்கவும், அதிக அடர்த்தி கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களைப் பெறவும், மக்கள் வெப்பத்தைப் பயன்படுத்துதல், சின்டரிங் எய்ட்களைச் சேர்ப்பது அல்லது வெப்பம், அழுத்தம் மற்றும் சின்டரிங் எய்ட்ஸ் ஆகியவற்றின் கலவையைப் பயன்படுத்துவது போன்ற பல நடவடிக்கைகளை எடுத்துள்ளனர்.

மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் எலும்பு முறிவு மேற்பரப்பின் SEM படம்

பண்புகள் மற்றும் பயன்பாடுகள்:

ஆர்எஸ்ஐசி99% க்கும் அதிகமான SiC ஐக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அடிப்படையில் தானிய எல்லை அசுத்தங்கள் இல்லை, உயர் வெப்பநிலை வலிமை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு போன்ற SiC இன் பல சிறந்த பண்புகளைத் தக்கவைத்துக்கொள்ளும். எனவே, இது அதிக வெப்பநிலை கொண்ட சூளை மரச்சாமான்கள், எரிப்பு முனைகள், சூரிய வெப்ப மாற்றிகள், டீசல் வாகன வெளியேற்ற வாயு சுத்திகரிப்பு சாதனங்கள், உலோக உருகுதல் மற்றும் மிகவும் தேவைப்படும் செயல்திறன் தேவைகள் கொண்ட பிற சூழல்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

ஆவியாதல்-ஒடுக்குதல் சின்டரிங் பொறிமுறையின் காரணமாக, துப்பாக்கிச் சூடு செயல்பாட்டின் போது எந்த சுருக்கமும் இல்லை, மேலும் உற்பத்தியின் சிதைவு அல்லது விரிசல் ஏற்படுவதற்கு எஞ்சிய அழுத்தம் உருவாக்கப்படாது.

ஆர்எஸ்ஐசிஸ்லிப் காஸ்டிங், ஜெல் காஸ்டிங், எக்ஸ்ட்ரூஷன் மற்றும் பிரஸ்ஸிங் போன்ற பல்வேறு முறைகளால் உருவாக்கப்படலாம். துப்பாக்கிச் சூடு செயல்பாட்டின் போது எந்த சுருக்கமும் இல்லை என்பதால், பச்சை உடல் பரிமாணங்கள் நன்கு கட்டுப்படுத்தப்படும் வரை துல்லியமான வடிவங்கள் மற்றும் அளவுகள் கொண்ட தயாரிப்புகளைப் பெறுவது எளிது.

பணி நீக்கம் செய்யப்பட்டவர்மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட SiC தயாரிப்புதோராயமாக 10%-20% எஞ்சிய துளைகளைக் கொண்டுள்ளது. பொருளின் போரோசிட்டி பெரும்பாலும் பச்சை உடலின் போரோசிட்டியைப் பொறுத்தது மற்றும் சின்டெரிங் வெப்பநிலையுடன் கணிசமாக மாறாது, இது போரோசிட்டி கட்டுப்பாட்டுக்கான அடிப்படையை வழங்குகிறது.

இந்த சின்டரிங் பொறிமுறையின் கீழ், பொருள் பல ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட துளைகளைக் கொண்டுள்ளது, இது நுண்ணிய பொருட்களின் துறையில் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. எடுத்துக்காட்டாக, இது வெளியேற்ற வாயு வடிகட்டுதல் மற்றும் புதைபடிவ எரிபொருள் காற்று வடிகட்டுதல் ஆகிய துறைகளில் பாரம்பரிய நுண்ணிய தயாரிப்புகளை மாற்றலாம்.

ஆர்எஸ்ஐசிஎந்த ஆக்சைடு அல்லது உலோக அசுத்தங்கள் 2150-2300 டிகிரி செல்சியஸ் அதிக வெப்பநிலையில் ஆவியாகி இருப்பதால், கண்ணாடி கட்டங்கள் மற்றும் அசுத்தங்கள் இல்லாமல் மிகவும் தெளிவான மற்றும் சுத்தமான தானிய எல்லைகளைக் கொண்டுள்ளது. ஆவியாதல்-ஒடுக்கம் சின்டரிங் பொறிமுறையானது SiC ஐ சுத்திகரிக்க முடியும் (SiC உள்ளடக்கம்ஆர்எஸ்ஐசி99% க்கு மேல்), SiC இன் பல சிறந்த பண்புகளைத் தக்கவைத்து, உயர் வெப்பநிலை வலிமை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத் தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. .**