அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபிடாக்ஸி

செதில் தயாரிப்பின் செயல்பாட்டில், இரண்டு முக்கிய இணைப்புகள் உள்ளன: ஒன்று அடி மூலக்கூறு தயாரித்தல், மற்றொன்று எபிடாக்சியல் செயல்முறையை செயல்படுத்துதல். செமிகண்டக்டர் சிங்கிள் கிரிஸ்டல் மெட்டீரியலால் கவனமாக உருவாக்கப்பட்ட அடி மூலக்கூறு, செமிகண்டக்டர் சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கு அல்லது எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் மூலம் செயல்திறனை மேலும் மேம்படுத்துவதற்கு அடிப்படையாக நேரடியாக செதில் உற்பத்தி செயல்முறையில் வைக்கப்படலாம்.

எனவே, என்னஎபிடாக்ஸி? சுருக்கமாக, எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு படிகத்தின் ஒரு புதிய அடுக்கை ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் நன்றாக பதப்படுத்தப்பட்ட (வெட்டுதல், அரைத்தல், மெருகூட்டுதல் போன்றவை) வளர்ப்பதாகும். இந்த புதிய ஒற்றை படிகமும் அடி மூலக்கூறும் ஒரே பொருள் அல்லது வெவ்வேறு பொருட்களால் செய்யப்படலாம், இதனால் ஒரே மாதிரியான அல்லது பன்முகத்தன்மை வாய்ந்த எபிடாக்ஸியை தேவைக்கேற்ப அடைய முடியும். புதிதாக வளர்ந்த ஒற்றை படிக அடுக்கு அடி மூலக்கூறின் படிக கட்டத்திற்கு ஏற்ப விரிவடையும் என்பதால், இது எபிடாக்சியல் அடுக்கு என்று அழைக்கப்படுகிறது. அதன் தடிமன் பொதுவாக சில மைக்ரான்கள் மட்டுமே. சிலிக்கானை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்பது சிலிக்கான் ஒற்றை படிக அடுக்கின் ஒரு அடுக்கை அடி மூலக்கூறு, கட்டுப்படுத்தக்கூடிய எதிர்ப்புத் திறன் மற்றும் தடிமன் மற்றும் ஒரு குறிப்பிட்ட படிக நோக்குநிலையுடன் கூடிய சிலிக்கான் ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறில் சரியான லேட்டிஸ் அமைப்பு போன்ற அதே படிக நோக்குநிலையுடன் வளர்ப்பதாகும். அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளரும் போது, ​​முழுதும் எபிடாக்சியல் வேஃபர் என்று அழைக்கப்படுகிறது.

பாரம்பரிய சிலிக்கான் குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கு, சிலிக்கான் செதில்களில் நேரடியாக உயர் அதிர்வெண் மற்றும் உயர்-சக்தி சாதனங்களை உருவாக்குவது சில தொழில்நுட்ப சிக்கல்களைச் சந்திக்கும். எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பத்தின் அறிமுகம் இந்த சிக்கல்களை புத்திசாலித்தனமாக தீர்க்கிறது. குறைந்த-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறில் உயர்-எதிர்ப்பு எபிடாக்சியல் லேயரை வளர்த்து, பின்னர் உயர்-எதிர்ப்பு எபிடாக்சியல் லேயரில் சாதனங்களை உருவாக்குவதே தீர்வு. இந்த வழியில், உயர்-எதிர்ப்பு எபிடாக்சியல் அடுக்கு சாதனத்திற்கு உயர் முறிவு மின்னழுத்தத்தை வழங்குகிறது, அதே சமயம் குறைந்த-எதிர்ப்பு அடி மூலக்கூறு அடி மூலக்கூறின் எதிர்ப்பைக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் செறிவூட்டல் மின்னழுத்த வீழ்ச்சியைக் குறைக்கிறது, இதனால் உயர் முறிவு மின்னழுத்தத்திற்கும் குறைந்த மின்தடைக்கும் இடையே சமநிலையை அடைகிறது. மற்றும் குறைந்த மின்னழுத்த வீழ்ச்சி.

கூடுதலாக,எபிடாக்சியல்நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி மற்றும் III-V, II-VI இன் திரவ நிலை எபிடாக்ஸி போன்ற தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் GaAs போன்ற பிற மூலக்கூறு கலவை குறைக்கடத்தி பொருட்களும் பெரிதும் உருவாக்கப்பட்டு, பெரும்பாலான நுண்ணலை சாதனங்கள், ஒளியியல் சாதனங்கள், சக்தி ஆகியவற்றின் உற்பத்திக்கு தவிர்க்க முடியாத செயல்முறை தொழில்நுட்பங்களாக மாறிவிட்டன. சாதனங்கள், முதலியன, குறிப்பாக மெல்லிய அடுக்குகளில் மூலக்கூறு கற்றை மற்றும் உலோக கரிம நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸியின் வெற்றிகரமான பயன்பாடு, சூப்பர்லட்டீஸ்கள், குவாண்டம் கிணறுகள், வடிகட்டிய சூப்பர்லட்டீஸ்கள் மற்றும் அணு மெல்லிய அடுக்கு எபிடாக்ஸி, இது "பேண்ட் இன்ஜினியரிங்" வளர்ச்சிக்கு உறுதியான அடித்தளத்தை அமைத்துள்ளது. , குறைக்கடத்தி ஆராய்ச்சியின் புதிய துறை.

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி சாதனங்களைப் பொறுத்தவரை, அத்தகைய குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் அனைத்தும் எபிடாக்சியல் லேயரில் செய்யப்படுகின்றன, மேலும்சிலிக்கான் கார்பைடு செதில்அது ஒரு அடி மூலக்கூறாக மட்டுமே பயன்படுத்தப்படுகிறது. SiC இன் தடிமன் மற்றும் பின்னணி கேரியர் செறிவு போன்ற அளவுருக்கள்எபிடாக்சியல்பொருட்கள் நேரடியாக SiC சாதனங்களின் பல்வேறு மின் பண்புகளை தீர்மானிக்கின்றன. உயர் மின்னழுத்த பயன்பாடுகளுக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்கள் எபிடாக்சியல் பொருட்களின் தடிமன் மற்றும் பின்னணி கேரியர் செறிவு போன்ற அளவுருக்களுக்கு புதிய தேவைகளை முன்வைக்கின்றன. எனவே, சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களின் செயல்திறனை முழுமையாகச் செயல்படுத்துவதில் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பம் ஒரு தீர்க்கமான பாத்திரத்தை வகிக்கிறது. ஏறக்குறைய அனைத்து SiC சக்தி சாதனங்களும் உயர்தர அடிப்படையில் தயாரிக்கப்படுகின்றனSiC எபிடாக்சியல் செதில்கள், மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் உற்பத்தி பரந்த பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி தொழிலின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும்.