SiC படகுகள் எதிராக குவார்ட்ஸ் படகுகள்: செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் தற்போதைய பயன்பாடு மற்றும் எதிர்கால போக்குகள்

1. மாற்று இயக்கவியல்:SiC படகுகள் சவாலான குவார்ட்ஸ் படகுகள்

இரண்டும்SiC மற்றும் குவார்ட்ஸ் படகுகள்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இதே போன்ற செயல்பாடுகளைச் செய்கிறது. எனினும்,SiC படகுகள், அவற்றின் அதிக விலை இருந்தபோதிலும், சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகின்றன, மேலும் அவை பெருகிய முறையில் கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகின்றனகுவார்ட்ஸ் படகுகள், குறிப்பாக குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு (LPCVD) மற்றும் போரான் பரவல் உலைகள் போன்ற சூரிய மின்கல செயலாக்க உபகரணங்களைக் கோருகிறது. குறைவான தேவையுள்ள செயல்முறைகளில், இரண்டு பொருட்களும் இணைந்து செயல்படுகின்றன, உற்பத்தியாளர்களுக்கு விலை ஒரு முக்கிய தீர்மானிக்கும் காரணியாகும்.

(1) LPCVD மற்றும் போரான் பரவல் உலைகளில் மாற்றீடு

சுரங்கப்பாதை ஆக்சைடு அடுக்குகளை உருவாக்குவதற்கும், சூரிய மின்கலங்களில் பாலிசிலிகான் அடுக்குகளை வைப்பதற்கும் LPCVD முக்கியமானது. இந்த செயல்முறையானது படகுகள் அவற்றின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் படிவு ஏற்படக்கூடிய அதிக வெப்பநிலையை உள்ளடக்கியது.குவார்ட்ஸ், சிலிக்கானுடன் ஒப்பிடும்போது வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறிப்பிடத்தக்க வேறுபட்ட குணகத்துடன், இந்த வைப்புகளை அகற்றவும், விரிசல் ஏற்படுவதைத் தடுக்கவும் வழக்கமான அமிலத்தை சுத்தம் செய்ய வேண்டும். இந்த அடிக்கடி சுத்தம், இணைந்துகுவார்ட்ஸ்குறைந்த உயர் வெப்பநிலை வலிமை, குறுகிய ஆயுட்காலம் மற்றும் அதிகரித்த செயல்பாட்டு செலவுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது.

SiC படகுகள்மறுபுறம், சிலிக்கானுக்கு நெருக்கமான வெப்ப விரிவாக்க குணகம் உள்ளது, இது அமிலத்தை சுத்தம் செய்வதற்கான தேவையை நீக்குகிறது. அவற்றின் உயர்ந்த உயர் வெப்பநிலை வலிமை நீண்ட ஆயுளுக்கு மேலும் பங்களிக்கிறது, மேலும் அவை சிறந்த மாற்றாக அமைகின்றன.குவார்ட்ஸ்LPCVD செயல்முறைகளில்.

போரான் பரவல் உலைகள், N-வகை சிலிக்கான் செதில்களில் P-வகை உமிழ்ப்பான்களை போரான் மூலம் ஊக்கமூட்டுவதன் மூலம் உருவாக்கப் பயன்படுகிறது. இந்த செயல்பாட்டில் அதிக வெப்பநிலையும் ஒரு சவாலாக உள்ளதுகுவார்ட்ஸ் படகுகள்அவற்றின் குறைந்த உயர் வெப்பநிலை வலிமை காரணமாக. மீண்டும்,SiC படகுகள்ஒரு பொருத்தமான மாற்றாக வெளிப்படுகிறது, இந்த கோரும் நிலைமைகளில் குறிப்பிடத்தக்க அதிக ஆயுளை வழங்குகிறது.

(2) பிற செயலாக்க உபகரணங்களில் மாற்றீடு

போதுSiC பெருமை கொள்கிறதுசிறந்த செயல்திறன், ஒப்பிடும்போது அதன் அதிக செலவுகுவார்ட்ஸ்இரண்டு பொருட்களுக்கு இடையேயான ஆயுட்காலம் வேறுபாடு குறைவான முக்கியத்துவம் வாய்ந்த குறைந்த தேவையுள்ள பயன்பாடுகளில் அதன் தத்தெடுப்பைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் தேர்வு செய்யும் போது விலை-செயல்திறன் வர்த்தகத்தை அடிக்கடி எடைபோடுகிறார்கள். இருப்பினும், உற்பத்தி செலவுகளாகSiC படகுகள்குறைந்து, அவற்றின் சந்தை கிடைக்கும் தன்மை மேம்படுகிறது, அவை வலுவான போட்டியை ஏற்படுத்தும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது, மேலும் ஆதிக்கத்தை மேலும் சவால் செய்யக்கூடிய விலை மாற்றங்களைத் தூண்டும்.குவார்ட்ஸ் படகுகள்.

2. தற்போதைய பயன்பாட்டு விகிதங்கள்:SiC படகுகள்நிலம் பெறுதல்

Passivated Emitter and Rear Cell (PERC) தொழில்நுட்பத்தின் பின்னணியில், படகுகள் முதன்மையாக முன் பக்க பாஸ்பரஸ் பரவல் மற்றும் அனீலிங் ஆகியவற்றின் போது பயன்படுத்தப்படுகின்றன. மறுபுறம், டன்னல் ஆக்சைடு செயலற்ற தொடர்பு (TOPCon) தொழில்நுட்பத்திற்கு முன் பக்க போரான் பரவல், LPCVD, பின்புற பாஸ்பரஸ் பரவல் மற்றும் அனீலிங் ஆகியவற்றில் படகுகள் தேவைப்படுகின்றன.

தற்போது,SiC படகுகள்TOPCon உற்பத்தியின் LPCVD கட்டத்தில் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. போரான் பரவலில் அவற்றின் பயன்பாடு இழுவை பெறுகிறது மற்றும் ஆரம்ப சரிபார்ப்பு சோதனைகளில் தேர்ச்சி பெற்றிருந்தாலும், சூரிய மின்கல செயலாக்கத் துறையில் அவற்றின் ஒட்டுமொத்த தத்தெடுப்பு விகிதம் ஒப்பீட்டளவில் குறைவாகவே உள்ளது.

3. எதிர்கால போக்குகள்: SiC வளர்ச்சிக்கு தயாராக உள்ளது

பல காரணிகள் ஒரு நம்பிக்கைக்குரிய எதிர்காலத்தை சுட்டிக்காட்டுகின்றனSiC படகுகள், அவர்களின் சந்தை பங்கு கணிசமாக அதிகரிக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. இந்த காரணிகள் அடங்கும்:

சிறந்த செயல்திறன்: SiC இன் உள்ளார்ந்த பொருள் பண்புகள், குறிப்பாக LPCVD மற்றும் போரான் பரவல் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில், குவார்ட்ஸை விட தெளிவான நன்மையை வழங்குகிறது, நீண்ட ஆயுட்காலம் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட செயல்பாட்டு செலவுகள்.

செலவுக் குறைப்புக்கான தொழில்துறை உந்துதல்: ஒளிமின்னழுத்தத் தொழிற்துறையானது செலவுக் குறைப்பு மற்றும் செயல்திறன் மேம்பாடுகளுக்கு தொடர்ந்து பாடுபடுகிறது. இந்த இலக்குகளை அடைவதற்கான வழிமுறையாக பெரிய செதில் அளவுகள் பிரபலமடைந்து வருகின்றன. இந்த சூழலில், SiC படகுகளின் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீடித்துழைப்பு இன்னும் மதிப்புமிக்கதாகிறது.

வளர்ந்து வரும் தேவை: சூரிய ஆற்றல் துறை தொடர்ந்து விரிவடைந்து வருவதால், உயர் செயல்திறன், நம்பகமான கூறுகளுக்கான தேவைSiC படகுகள்தவிர்க்க முடியாமல் உயரும்.

வளர்ந்து வரும் தேவையை பூர்த்தி செய்ய உற்பத்தியை அளவிடுதல் மற்றும் நிலையான தரத்தை உறுதி செய்தல் உள்ளிட்ட சவால்கள் இருக்கும் போது, ​​எதிர்காலம்SiC படகுகள்குறைக்கடத்தி துறையில் பிரகாசமாக தோன்றுகிறது. அவர்களின் சிறந்த செயல்திறன், செலவு குறைந்த தீர்வுகளுக்கான தொழில்துறையின் உந்துதலுடன் இணைந்து, அடுத்த தலைமுறை சூரிய மின்கல உற்பத்தியின் முக்கிய செயலாளராக அவர்களை நிலைநிறுத்துகிறது.