ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறை

அனைத்து செயல்முறைகளின் மிக அடிப்படையான நிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறை ஆகும். ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறையானது, உயர் வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சைக்காக (800~1200℃) ஆக்ஸிஜன் அல்லது நீராவி போன்ற ஆக்ஸிஜனேற்றங்களின் வளிமண்டலத்தில் சிலிக்கான் செதில்களை வைப்பதாகும், மேலும் சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஒரு இரசாயன எதிர்வினை ஏற்பட்டு ஆக்சைடு படலத்தை உருவாக்குகிறது. (SiO2 படம்).

SiO2 படம் அதன் அதிக கடினத்தன்மை, அதிக உருகுநிலை, நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மை, நல்ல காப்பு, சிறிய வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் செயல்முறை சாத்தியம் ஆகியவற்றின் காரணமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சிலிக்கான் ஆக்சைட்டின் பங்கு:

1. சாதன பாதுகாப்பு மற்றும் தனிமைப்படுத்தல், மேற்பரப்பு செயலற்ற தன்மை. SiO2 கடினத்தன்மை மற்றும் நல்ல அடர்த்தியின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது சிலிக்கான் செதில்களை உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது கீறல்கள் மற்றும் சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கும்.

2. கேட் ஆக்சைடு மின்கடத்தா. SiO2 உயர் மின்கடத்தா வலிமை மற்றும் உயர் எதிர்ப்புத் திறன், நல்ல நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் MOS தொழில்நுட்பத்தின் கேட் ஆக்சைடு கட்டமைப்பிற்கு மின்கடத்தாப் பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.

3. ஊக்கமருந்து தடை. பரவல், அயன் பொருத்துதல் மற்றும் செதுக்கல் செயல்முறைகளில் SiO2 ஒரு முகமூடி தடுப்பு அடுக்காகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.

4. பேட் ஆக்சைடு அடுக்கு. சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் சிலிக்கான் இடையே அழுத்தத்தை குறைக்கவும்.

5. ஊசி தாங்கல் அடுக்கு. அயன் பொருத்துதல் சேதம் மற்றும் சேனலிங் விளைவைக் குறைக்கவும்.

6. இன்டர்லேயர் மின்கடத்தா. கடத்தும் உலோக அடுக்குகளுக்கு இடையில் காப்புக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது (CVD முறையால் உருவாக்கப்படுகிறது)

வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றத்தின் வகைப்பாடு மற்றும் கொள்கை:

ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்வினையில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுவின் படி, வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றத்தை உலர் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம் என பிரிக்கலாம்.

உலர் ஆக்ஸிஜனேற்றம்: Si+O2-->SiO2

ஈரமான ஆக்ஸிஜனேற்றம்: Si+ H2O + O2-->SiO2 + H2

நீராவி ஆக்சிஜனேற்றம் (ஈரமான ஆக்ஸிஜன்): Si + H2O -->SiO2 + H2

உலர் ஆக்சிஜனேற்றம் தூய ஆக்ஸிஜனை (O2) மட்டுமே பயன்படுத்துகிறது, எனவே ஆக்சைடு படத்தின் வளர்ச்சி விகிதம் மெதுவாக உள்ளது. இது முக்கியமாக மெல்லிய படலங்களை உருவாக்க பயன்படுகிறது மற்றும் நல்ல கடத்துத்திறன் கொண்ட ஆக்சைடுகளை உருவாக்க முடியும். ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம் ஆக்ஸிஜன் (O2) மற்றும் மிகவும் கரையக்கூடிய நீர் நீராவி (H2O) இரண்டையும் பயன்படுத்துகிறது. எனவே, ஆக்சைடு படம் வேகமாக வளர்ந்து தடிமனான படமாக உருவாகிறது. இருப்பினும், உலர் ஆக்சிஜனேற்றத்துடன் ஒப்பிடும்போது, ​​ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றத்தால் உருவாகும் ஆக்சைடு அடுக்கின் அடர்த்தி குறைவாக உள்ளது. பொதுவாக, அதே வெப்பநிலை மற்றும் நேரத்தில், ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றத்தால் பெறப்படும் ஆக்சைடு படலம் உலர் ஆக்சிஜனேற்றத்தால் பெறப்பட்ட ஆக்சைடு படலத்தை விட சுமார் 5 முதல் 10 மடங்கு தடிமனாக இருக்கும்.