அயன் உள்வைப்பு மற்றும் பரவல் செயல்முறை

அயன் பொருத்துதல் என்பது குறைக்கடத்தி ஊக்கமருந்து முறை மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும்.

ஏன் ஊக்கமருந்து?

தூய சிலிக்கான்/உள்ளார்ந்த சிலிக்கானில் இலவச கேரியர்கள் (எலக்ட்ரான்கள் அல்லது துளைகள்) இல்லை மற்றும் மோசமான கடத்துத்திறன் உள்ளது. குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தில், ஊக்கமருந்து என்பது சிலிக்கானின் மின் பண்புகளை மாற்றுவதற்கு உள்ளார்ந்த சிலிக்கானில் வேண்டுமென்றே தூய்மையற்ற அணுக்களை சேர்ப்பதாகும், இது அதிக கடத்துத்திறன் மற்றும் பல்வேறு குறைக்கடத்தி சாதனங்களை தயாரிக்க பயன்படுகிறது. ஊக்கமருந்து என்பது n-வகை ஊக்கமருந்து அல்லது p-வகை ஊக்கமருந்து. n-வகை ஊக்கமருந்து: பெண்டாவலன்ட் தனிமங்களை (பாஸ்பரஸ், ஆர்சனிக் போன்றவை) சிலிக்கானில் செலுத்துவதன் மூலம் அடையப்படுகிறது; p-வகை ஊக்கமருந்து: சிலிக்கானில் டிரிவலன்ட் தனிமங்களை (போரான், அலுமினியம் போன்றவை) ஊக்கப்படுத்துவதன் மூலம் அடையப்படுகிறது. ஊக்கமருந்து முறைகளில் பொதுவாக வெப்ப பரவல் மற்றும் அயனி பொருத்துதல் ஆகியவை அடங்கும்.

வெப்ப பரவல் முறை

வெப்ப பரவல் என்பது அசுத்தமான கூறுகளை வெப்பமாக்குவதன் மூலம் சிலிக்கானுக்குள் நகர்த்துவதாகும். இந்த பொருளின் இடம்பெயர்வு குறைந்த செறிவு சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு நோக்கி அதிக செறிவு தூய்மையற்ற வாயுவால் ஏற்படுகிறது, மேலும் அதன் இடம்பெயர்வு முறை செறிவு வேறுபாடு, வெப்பநிலை மற்றும் பரவல் குணகம் ஆகியவற்றால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. அதன் ஊக்கமருந்து கொள்கை என்னவென்றால், அதிக வெப்பநிலையில், சிலிக்கான் செதில் உள்ள அணுக்கள் மற்றும் ஊக்கமருந்து மூலத்தில் உள்ள அணுக்கள் நகர்வதற்கு போதுமான ஆற்றலைப் பெறும். ஊக்கமருந்து மூலத்தின் அணுக்கள் முதலில் சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படுகின்றன, பின்னர் இந்த அணுக்கள் சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பு அடுக்கில் கரைந்துவிடும். அதிக வெப்பநிலையில், ஊக்கமருந்து அணுக்கள் சிலிக்கான் செதில்களின் லட்டு இடைவெளிகள் வழியாக உள்நோக்கி பரவுகின்றன அல்லது சிலிக்கான் அணுக்களின் நிலைகளை மாற்றுகின்றன. இறுதியில், ஊக்கமருந்து அணுக்கள் செதில்களின் உள்ளே ஒரு குறிப்பிட்ட விநியோக சமநிலையை அடைகின்றன. வெப்ப பரவல் முறை குறைந்த செலவுகள் மற்றும் முதிர்ந்த செயல்முறைகளைக் கொண்டுள்ளது. இருப்பினும், இது சில வரம்புகளைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது ஊக்கமருந்து ஆழத்தின் கட்டுப்பாடு மற்றும் செறிவு அயனி பொருத்துதல் போல துல்லியமாக இல்லை, மேலும் அதிக வெப்பநிலை செயல்முறை லேட்டிஸ் சேதத்தை அறிமுகப்படுத்தலாம்.

அயன் பொருத்துதல்:

இது ஊக்கமருந்து கூறுகளை அயனியாக்கம் செய்வதையும், ஒரு அயன் கற்றையை உருவாக்குவதையும் குறிக்கிறது, இது சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுடன் மோதுவதற்கு உயர் மின்னழுத்தத்தின் மூலம் ஒரு குறிப்பிட்ட ஆற்றலுக்கு (keV~MeV நிலை) துரிதப்படுத்தப்படுகிறது. டோப்பிங் அயனிகள் சிலிக்கானில் உடல் ரீதியாக பொருத்தப்பட்டு, பொருளின் டோப் செய்யப்பட்ட பகுதியின் இயற்பியல் பண்புகளை மாற்றுகிறது.

அயன் பொருத்துதலின் நன்மைகள்:

இது ஒரு குறைந்த-வெப்பநிலை செயல்முறை, உள்வைப்பு அளவு / ஊக்கமருந்து அளவு கண்காணிக்க முடியும், மற்றும் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும்; அசுத்தங்களின் உள்வைப்பு ஆழத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும்; தூய்மையற்ற சீரான தன்மை நல்லது; கடினமான முகமூடிக்கு கூடுதலாக, ஒளிச்சேர்க்கை முகமூடியாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம்; இது இணக்கத்தன்மையால் மட்டுப்படுத்தப்படவில்லை (வெப்ப பரவல் ஊக்கமருந்து காரணமாக சிலிக்கான் படிகங்களில் உள்ள தூய்மையற்ற அணுக்களின் கரைப்பு அதிகபட்ச செறிவினால் வரையறுக்கப்படுகிறது, மேலும் ஒரு சமநிலையான கரைப்பு வரம்பு உள்ளது, அதே சமயம் அயனி பொருத்துதல் ஒரு சமநிலையற்ற இயற்பியல் செயல்முறையாகும். தூய்மையற்ற அணுக்கள் உட்செலுத்தப்படுகின்றன. அதிக ஆற்றல் கொண்ட சிலிக்கான் படிகங்களாக, சிலிக்கான் படிகங்களில் உள்ள அசுத்தங்களின் இயற்கையான கரைப்பு வரம்பை மீறலாம், ஒன்று பொருட்களை அமைதியாக ஈரமாக்குவது, மற்றொன்று வில்லை அழுத்துவது.)

அயன் பொருத்துதலின் கொள்கை:

முதலாவதாக, அயனிகளை உருவாக்க அயனி மூலத்தில் உள்ள எலக்ட்ரான்களால் தூய்மையற்ற வாயு அணுக்கள் தாக்கப்படுகின்றன. அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட அயனிகள் உறிஞ்சும் கூறுகளால் பிரித்தெடுக்கப்பட்டு அயனி கற்றை உருவாக்கப்படுகின்றன. காந்தப் பகுப்பாய்விற்குப் பிறகு, வெவ்வேறு நிறை-க்கு-சார்ஜ் விகிதங்களைக் கொண்ட அயனிகள் திசைதிருப்பப்படுகின்றன (ஏனென்றால் முன்புறத்தில் உருவாகும் அயனி கற்றை இலக்கு அசுத்தத்தின் அயனி கற்றை மட்டுமல்ல, பிற பொருள் கூறுகளின் அயனி கற்றையையும் கொண்டுள்ளது, அவை வடிகட்டப்பட வேண்டும். வெளியே), மற்றும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் தூய தூய்மையற்ற உறுப்பு அயன் கற்றை பிரிக்கப்பட்டு, பின்னர் அது உயர் மின்னழுத்தத்தால் துரிதப்படுத்தப்பட்டு, ஆற்றல் அதிகரிக்கப்பட்டு, அது கவனம் செலுத்தப்பட்டு மின்னணு முறையில் ஸ்கேன் செய்யப்பட்டு, இறுதியாக இலக்கு நிலையில் தாக்கப்பட்டு உள்வைப்பை அடையும்.

அயனிகளால் பொருத்தப்பட்ட அசுத்தங்கள் சிகிச்சையின்றி மின்சாரம் செயலற்றவை, எனவே அயனி பொருத்துதலுக்குப் பிறகு, அவை பொதுவாக அசுத்த அயனிகளை செயல்படுத்த உயர் வெப்பநிலை அனீலிங்க்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அதிக வெப்பநிலை அயனி பொருத்துதலால் ஏற்படும் லேட்டிஸ் சேதத்தை சரிசெய்யும்.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுSiC பாகங்கள்அயன் உள்வைப்பு மற்றும் பரவல் செயல்பாட்டில். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், எங்களைத் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com