SiC படகு என்றால் என்ன, அதன் பல்வேறு உற்பத்தி செயல்முறைகள் என்ன?

1. வெவ்வேறு உற்பத்தி செயல்முறைகள்SiC படகு

(1) ஒரு அடுக்கு பூச்சுSiC திரைப்படம்கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில்படிக படகுகள்CVD மூலம்

இந்த வகை படகில் ஒரு கிராஃபைட் கோர் உள்ளது, இது ஒரு துண்டில் இயந்திரம் செய்யப்படுகிறது. எனினும்,கிராஃபைட் நுண்துளை கொண்டதுமற்றும் துகள் உருவாக்கம் வாய்ப்புகள், ஒரு பயன்பாடு தேவைSiC திரைப்பட பூச்சுஅதன் மேற்பரப்பில். கிராஃபைட் உடல் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) இல் பொருந்தாததன் காரணமாகSiC திரைப்படம், பல வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு பூச்சு உரிக்கப்படலாம், இது துகள் மாசுபாட்டிற்கு வழிவகுக்கிறது. இந்த படகுகள் குறைந்த விலை கொண்டவை மற்றும் ஆயுட்காலம் சுமார் ஒரு வருடம் ஆகும்.

(2) ஒரு அடுக்கு பூச்சுSiC திரைப்படம்மறுபடிகமாக்கப்பட்டதுSiC படிக படகுகள்

மறுபடிகமாக்கப்பட்டதுSiC படகுகள்நுண்துளைகள் மற்றும் எளிதில் துகள்களை உருவாக்க முடியும். எனவே, மறுபடிகத்தின் தனிப்பட்ட கூறுகள்SiC படகுகள்முன்-உருவாக்கப்பட்டு, சின்டர் செய்து, பின்னர் தனித்தனியாக இயந்திரம் செய்ய வேண்டும். பின்னர், Si பேஸ்ட்டைப் பயன்படுத்தி அதிக வெப்பநிலையில் கூறுகள் ஒன்றாக இணைக்கப்படுகின்றன. ஒருமுறை ஒரே படகில் ஒன்றுசேர்ந்ததும், ஏSiC திரைப்படம்CVD மூலம் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது மறுபடிகமாக்கப்பட்டதுSiC படகுமிக நீண்ட உற்பத்தி செயல்முறை மற்றும் விலை உயர்ந்தது, ஆனால் மேற்பரப்புCVD பூச்சுசுமார் மூன்று ஆண்டுகள் ஆயுட்காலம் கொண்ட, சேதமடையலாம்.

(3)ஒற்றைக்கல்SiC படிக படகுகள்

இவைபடகுகள்முற்றிலும் SiC பொருட்களால் ஆனது. SiC தூள் ஒரு ஒற்றைப் படகின் வடிவத்தில் வடிவமைக்கப்பட்டு சின்டர் செய்யப்பட வேண்டும். மிகவும் விலை உயர்ந்தவை, அவை மிகவும் நீடித்தவை மற்றும் துகள்களை உருவாக்கும் வாய்ப்பு குறைவு. இருப்பினும், இந்த படகுகளில் 10-15% இலவச சிலிக்கான் உள்ளது, இது ஃவுளூரின் மற்றும் குளோரின் மூலம் அரிப்புக்கு ஆளாகிறது, இது துகள் மாசுபாட்டிற்கு வழிவகுக்கிறது.

2. உலர் சுத்தம் ஏன் பரிந்துரைக்கப்படவில்லை?

சுருக்கமாக, க்கானSiC படகுகள்ஒரு பூசியசிவிடி மூலம் SiC படம், உலர் சுத்தம் செய்யும் போது மேற்பரப்பு பூச்சு உரிக்கப்படுவதற்கு வாய்ப்புள்ளது, இது துகள் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்துகிறது. ஒற்றைக்கல்லுக்குSiC படகுகள்சிறிதளவு இலவச சிலிக்கான் கொண்டிருக்கும், ஃவுளூரின் அல்லது குளோரின் கொண்ட வாயுக்களின் வெளிப்பாடு அரிப்பு மற்றும் துகள் உருவாக்கத்திற்கு வழிவகுக்கும், இதனால் மாசுபாடு ஏற்படுகிறது.**