அடி மூலக்கூறு வெட்டுதல் மற்றும் அரைக்கும் செயல்முறை

SiC அடி மூலக்கூறு பொருள் SiC சிப்பின் மையமாகும். அடி மூலக்கூறின் உற்பத்தி செயல்முறை: ஒற்றை படிக வளர்ச்சி மூலம் SiC படிக இங்காட்டைப் பெற்ற பிறகு; பின்னர் தயார்SiC அடி மூலக்கூறுமென்மையாக்குதல், வட்டமிடுதல், வெட்டுதல், அரைத்தல் (மெல்லிய) தேவை; இயந்திர மெருகூட்டல், இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல்; மற்றும் சுத்தம், சோதனை, முதலியன செயல்முறை

படிக வளர்ச்சிக்கு மூன்று முக்கிய முறைகள் உள்ளன: உடல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT), அதிக வெப்பநிலை இரசாயன நீராவி படிவு (HT-CVD) மற்றும் திரவ நிலை எபிடாக்ஸி (LPE). இந்த கட்டத்தில் SiC அடி மூலக்கூறுகளின் வணிக வளர்ச்சிக்கான பிரதான முறையாக PVT முறை உள்ளது. SiC படிகத்தின் வளர்ச்சி வெப்பநிலை 2000°Cக்கு மேல் உள்ளது, இதற்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தக் கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. தற்போது, ​​அதிக இடப்பெயர்வு அடர்த்தி மற்றும் அதிக படிக குறைபாடுகள் போன்ற பிரச்சனைகள் உள்ளன.

அடி மூலக்கூறு வெட்டுதல் படிக இங்காட்டை அடுத்தடுத்த செயலாக்கத்திற்காக செதில்களாக வெட்டுகிறது. வெட்டும் முறை சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு செதில்களின் அடுத்தடுத்த அரைத்தல் மற்றும் பிற செயல்முறைகளின் ஒருங்கிணைப்பை பாதிக்கிறது. இங்காட் கட்டிங் முக்கியமாக மோட்டார் மல்டி வயர் கட்டிங் மற்றும் டயமண்ட் ஒயர் வெட்டுதல் ஆகியவற்றை அடிப்படையாகக் கொண்டது. தற்போதுள்ள பெரும்பாலான SiC செதில்கள் வைர கம்பியால் வெட்டப்படுகின்றன. இருப்பினும், SiC அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடையக்கூடிய தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இதன் விளைவாக குறைந்த செதில் விளைச்சல் மற்றும் கம்பிகளை வெட்டுவதற்கான அதிக நுகர்வு செலவு ஏற்படுகிறது. மேம்பட்ட கேள்விகள். அதே நேரத்தில், 8 அங்குல செதில்களின் வெட்டு நேரம் 6 அங்குல செதில்களை விட கணிசமாக அதிகமாக உள்ளது, மேலும் வெட்டுக் கோடுகள் சிக்கிக்கொள்ளும் அபாயமும் அதிகமாக உள்ளது, இதன் விளைவாக மகசூல் குறைகிறது.

அடி மூலக்கூறு வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிப் போக்கு லேசர் வெட்டுதல் ஆகும், இது படிகத்தின் உள்ளே ஒரு மாற்றியமைக்கப்பட்ட அடுக்கை உருவாக்குகிறது மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத்திலிருந்து செதில்களை உரிக்கிறது. இது பொருள் இழப்பு மற்றும் இயந்திர அழுத்த சேதம் இல்லாத தொடர்பு இல்லாத செயலாக்கமாகும், எனவே இழப்பு குறைவாக உள்ளது, மகசூல் அதிகமாக உள்ளது, மற்றும் செயலாக்க முறை நெகிழ்வானது மற்றும் SiC செயலாக்கத்தின் மேற்பரப்பு வடிவம் சிறப்பாக உள்ளது.

SiC அடி மூலக்கூறுஅரைக்கும் செயலாக்கத்தில் அரைத்தல் (மெலிதல்) மற்றும் மெருகூட்டல் ஆகியவை அடங்கும். SiC அடி மூலக்கூறின் திட்டமிடல் செயல்முறை முக்கியமாக இரண்டு செயல்முறை வழிகளை உள்ளடக்கியது: அரைத்தல் மற்றும் மெலிதல்.

அரைத்தல் கரடுமுரடான அரைத்தல் மற்றும் நன்றாக அரைத்தல் என பிரிக்கப்பட்டுள்ளது. முக்கிய கரடுமுரடான அரைக்கும் செயல்முறை தீர்வு ஒற்றை படிக வைர அரைக்கும் திரவத்துடன் இணைந்த வார்ப்பிரும்பு வட்டு ஆகும். பாலிகிரிஸ்டலின் வைர தூள் மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் போன்ற வைர தூள் ஆகியவற்றின் வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, சிலிக்கான் கார்பைடு நன்றாக அரைக்கும் செயல்முறை தீர்வு பாலியூரிதீன் திண்டு ஒரு பாலிகிரிஸ்டலின் போன்ற நன்றாக அரைக்கும் திரவத்துடன் இணைந்துள்ளது. புதிய செயல்முறை தீர்வு தேன்கூடு மெருகூட்டல் திண்டு ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட சிராய்ப்புகளுடன் இணைந்து.

சன்னமானது இரண்டு படிகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: கரடுமுரடான அரைத்தல் மற்றும் நன்றாக அரைத்தல். மெல்லிய இயந்திரம் மற்றும் அரைக்கும் சக்கரத்தின் தீர்வு ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகிறது. இது அதிக அளவு ஆட்டோமேஷனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அரைக்கும் தொழில்நுட்ப வழியை மாற்றும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. சன்னமான செயல்முறை தீர்வு நெறிப்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் உயர் துல்லியமான அரைக்கும் சக்கரங்களின் மெலிவு, பாலிஷ் வளையத்திற்கான ஒற்றை-பக்க மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் (டிஎம்பி) சேமிக்க முடியும்; அரைக்கும் சக்கரங்களின் பயன்பாடு வேகமான செயலாக்க வேகம், செயலாக்க மேற்பரப்பு வடிவத்தின் மீது வலுவான கட்டுப்பாடு மற்றும் பெரிய அளவிலான செதில் செயலாக்கத்திற்கு ஏற்றது. அதே நேரத்தில், அரைக்கும் இரட்டை பக்க செயலாக்கத்துடன் ஒப்பிடும்போது, ​​மெல்லியதாக ஒரு ஒற்றை பக்க செயலாக்க செயல்முறை ஆகும், இது எபிடாக்சியல் உற்பத்தி மற்றும் செதில் பேக்கேஜிங் போது செதில் பின் பக்கத்தை அரைக்கும் ஒரு முக்கிய செயல்முறையாகும். சன்னமான செயல்முறையை ஊக்குவிப்பதில் உள்ள சிரமம், அரைக்கும் சக்கரங்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டின் சிரமம் மற்றும் அதிக உற்பத்தி தொழில்நுட்ப தேவைகள் ஆகியவற்றில் உள்ளது. அரைக்கும் சக்கரங்களின் உள்ளூர்மயமாக்கலின் அளவு மிகவும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் நுகர்பொருட்களின் விலை அதிகமாக உள்ளது. தற்போது, ​​அரைக்கும் சக்கர சந்தை முக்கியமாக DISCO ஆல் ஆக்கிரமிக்கப்பட்டுள்ளது.

மெருகூட்டல் மென்மையாக்க பயன்படுத்தப்படுகிறதுSiC அடி மூலக்கூறு, மேற்பரப்பு கீறல்களை அகற்றவும், கடினத்தன்மையை குறைக்கவும் மற்றும் செயலாக்க அழுத்தத்தை அகற்றவும். இது இரண்டு படிகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: கடினமான மெருகூட்டல் மற்றும் நன்றாக மெருகூட்டல். அலுமினா மெருகூட்டல் திரவம் பெரும்பாலும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் கரடுமுரடான மெருகூட்டலுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அலுமினிய ஆக்சைடு மெருகூட்டல் திரவம் பெரும்பாலும் நன்றாக மெருகூட்டுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிலிக்கான் ஆக்சைடு பாலிஷ் திரவம்.