குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள்

செமிகண்டக்டர் துறையில், குவார்ட்ஸ் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள் செதில் உற்பத்தியில் இன்னும் முக்கியமான நுகர்பொருட்களாகும். சிலிக்கான் சிங்கிள் கிரிஸ்டல் க்ரூசிபிள்ஸ், கிரிஸ்டல் படகுகள், டிஃப்யூஷன் ஃபர்னஸ் கோர் டியூப்கள் மற்றும் பிற குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் உற்பத்தி உயர் தூய்மையான குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி தயாரிப்புகளைப் பயன்படுத்த வேண்டும். செமிகண்டக்டர் துறையில் உள்ள குவார்ட்ஸ் பாகங்கள், செதில் ஃபவுண்டரி பரவல் மற்றும் பொறித்தல் செயல்முறைக்கான முக்கிய இலக்கு சந்தை பயன்பாடுகள், உயர் வெப்பநிலை மண்டல சாதனங்கள் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை மண்டல சாதனங்கள் என இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கப்படலாம், முக்கிய சாதனங்கள் பின்வருமாறு:

1) உயர்-வெப்ப மண்டல சாதனங்கள் முக்கியமாக பரவல் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் உலை குழாய்கள், கண்ணாடி படகு அடுக்குகள் போன்றவற்றைப் பயன்படுத்துவதற்கான பிற அம்சங்கள், சிலிக்கான் செதில்களுடன் நேரடியாகவோ அல்லது மறைமுகமாகவோ அதிக வெப்பநிலை சூழலில் இருக்க வேண்டும்; முக்கியமாக வெப்ப செயலாக்கத்தின் மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படும் எலக்ட்ரோஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி பொருட்களை வாங்குதல்;

2) குறைந்த வெப்பநிலை மண்டல சாதனங்கள் முக்கியமாக குவார்ட்ஸ் வளையங்கள் போன்ற பொறித்தல் இணைப்புகளாகும், ஆனால் துப்புரவு செயல்முறை கூடைகள், சுத்தம் செய்யும் தொட்டிகள் போன்றவை, முக்கியமாக குறைந்த வெப்பநிலை சூழலில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன; முக்கியமாக எரிவாயு சுத்திகரிப்பு குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி, குளிர் செயலாக்க உற்பத்தி மூலம் வாங்கப்பட்டது

அவற்றில், உயர்-வெப்ப மண்டல சாதனங்கள் வேகமாக நுகர்கின்றன, ஆனால் மல்டி-சிப் இயந்திரத்தைப் போலவே (ஒன்றுக்கு மேற்பட்ட செதில்களை எடுத்துச் செல்லும் தாங்கி), குறைந்த வெப்பநிலை மண்டல சாதனங்கள் மெதுவாக நுகரும், ஆனால் மோனோலிதிக் (செதில்களை எடுத்துச் செல்லும் தாங்கி) ; எனவே, இரண்டு ஒட்டுமொத்த சந்தை அளவும் ஒருவருக்கொருவர் ஒப்பீட்டளவில் நெருக்கமாக உள்ளது.