CVD முறையுடன் TaC பூச்சு

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு என்பது 4273 டிகிரி செல்சியஸ் வரை உருகும் புள்ளியுடன் கூடிய உயர்-வலிமை, அரிப்பை-எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக நிலையான உயர்-வெப்பநிலை கட்டமைப்புப் பொருளாகும், இது அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்ட பல சேர்மங்களில் ஒன்றாகும். இது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை இயந்திர பண்புகள், அதிவேக காற்று ஓட்டத்திற்கு எதிர்ப்பு, நீக்குதல் எதிர்ப்பு மற்றும் கிராஃபைட் மற்றும் கார்பன்/கார்பன் கலவைகளுடன் நல்ல இரசாயன மற்றும் இயந்திர இணக்கத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. எனவே, GaN LEDகள் மற்றும் MOCVD போன்ற SiC சக்தி சாதனங்களின் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில், TaC பூச்சு H2, HCl, NH3 ஆகியவற்றிற்கு சிறந்த அமிலம் மற்றும் கார எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுப் பொருளை முழுமையாகப் பாதுகாத்து வளர்ச்சிச் சூழலைச் சுத்திகரிக்கும்.

TaC பூச்சு 2000 °C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் நிலையானதாக இருக்கும், அதே சமயம் SiC பூச்சு 1200-1400 °C இல் சிதையத் தொடங்குகிறது, இது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் ஒருமைப்பாட்டை பெரிதும் மேம்படுத்தும். டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகள் தற்போது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளில் முக்கியமாக CVD மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் SiC மின் சாதனங்கள் மற்றும் GaNLEDகளின் எபிடாக்சியல் சாதனங்களுக்கான தேவையைப் பூர்த்தி செய்ய TaC பூச்சுகளின் உற்பத்தி திறன் மேலும் மேம்படுத்தப்படும்.

ரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மூலம் கார்பன் பொருட்களில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளை டெபாசிட் செய்ய பயன்படுத்தப்படும் வேதியியல் எதிர்வினை அமைப்பு TaCl5, C3H6, H2 மற்றும் Ar ஆகும், இதில் Ar ஒரு நீர்த்த மற்றும் சுமந்து செல்லும் வாயுவாக பயன்படுத்தப்படுகிறது.

MOCVD ஐப் பயன்படுத்தும் GaN LEDகள் மற்றும் SiC சக்தி சாதனங்களின் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. மேம்பட்ட பொருட்கள் முக்கிய கூறுகளை பாதுகாக்கின்றன, அதிக வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியுடன் தொடர்புடைய கடுமையான சூழ்நிலைகளில் அவற்றின் நீண்ட ஆயுளையும் செயல்திறனையும் உறுதி செய்கின்றன.

SiC மின் சாதனங்கள் மற்றும் GaN LEDகளுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் உற்பத்தி திறன் விரிவடையும். உற்பத்தியாளர்கள் இந்த தொழில்களின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய தயாராக உள்ளனர், இது உயர் வெப்பநிலை தொழில்நுட்பத்தின் பரிணாமத்தை எளிதாக்குகிறது.

முடிவில்,டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகள்உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் பொருட்களின் நீடித்து நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதில் ஒரு நம்பமுடியாத தொழில்நுட்ப பாய்ச்சலை பிரதிநிதித்துவப்படுத்துகிறது. செமிகண்டக்டர் மற்றும் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறைகளில் அவை தொடர்ந்து புரட்சியை ஏற்படுத்துவதால், இந்த பூச்சுகள் நவீன உயர் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்களின் முக்கிய அங்கமாக அவற்றின் நிலையை அடிக்கோடிட்டுக் காட்டுகின்றன.