MOCVD அமைப்பு என்றால் என்ன?

MOCVD, மெட்டல்-ஆர்கானிக் கெமிக்கல் வேப்பர் டெபாசிஷன் (எம்ஓசிவிடி) என அழைக்கப்படுகிறது, இது ஒரு அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய குறைக்கடத்தி படங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு நுட்பமாகும். MOCVD உடன், பல நானோ அடுக்குகளை மிகத் துல்லியமாக, ஒவ்வொன்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட தடிமன் கொண்ட, குறிப்பிட்ட ஒளியியல் மற்றும் மின் பண்புகளுடன் கூடிய பொருட்களை உருவாக்க முடியும்.

ஒரு MOCVD அமைப்பு என்பது ஒரு வகை இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அமைப்பாகும், இது உலோக கரிம முன்னோடிகளைப் பயன்படுத்தி மெல்லிய படலத்தை ஒரு அடி மூலக்கூறில் வைக்கிறது. இந்த அமைப்பு ஒரு அணு உலை கப்பல், ஒரு எரிவாயு விநியோக அமைப்பு, ஒரு அடி மூலக்கூறு வைத்திருப்பவர் மற்றும் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. உலோக கரிம முன்னோடிகள் ஒரு கேரியர் வாயுவுடன் உலை பாத்திரத்தில் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் உயர்தர மெல்லிய படத்தின் வளர்ச்சியை உறுதிப்படுத்த வெப்பநிலை கவனமாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.

MOCVD இன் பயன்பாடு மற்ற படிவு நுட்பங்களை விட பல நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. ஒரு நன்மை என்னவென்றால், மெல்லிய படங்களின் தடிமன் மற்றும் கலவையின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டுடன் சிக்கலான பொருட்களின் படிவுகளை இது அனுமதிக்கிறது. அதிக செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு மெல்லிய படங்களின் பொருள் பண்புகள் சாதனத்தின் செயல்திறனில் குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும்.

MOCVD இன் மற்றொரு நன்மை என்னவென்றால், சிலிக்கான், சபையர் மற்றும் காலியம் ஆர்சனைடு உள்ளிட்ட பல்வேறு அடி மூலக்கூறுகளில் மெல்லிய படலங்களை டெபாசிட் செய்ய இது பயன்படுகிறது. இந்த நெகிழ்வுத்தன்மையானது, கணினி சில்லுகள் முதல் எல்.ஈ.டி வரையிலான பரந்த அளவிலான குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதில் இது ஒரு இன்றியமையாத செயலாக அமைகிறது.

MOCVD அமைப்புகள் குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அவை பல மேம்பட்ட தொழில்நுட்பங்களின் வளர்ச்சியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, லைட்டிங் மற்றும் டிஸ்ப்ளே அப்ளிகேஷன்களுக்கான உயர்-செயல்திறன் எல்.ஈ.டிகளை உருவாக்கவும், அதே போல் ஒளிமின்னழுத்த பயன்பாடுகளுக்கான உயர் செயல்திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலங்களை உருவாக்கவும் MOCVD பயன்படுத்தப்படுகிறது.