2023-10-10
குறைக்கடத்தி சாதனம் புனையமைப்பில், உயர்தர மற்றும் நம்பகமான சாதனங்களை அடைவதற்கு படிக வளர்ச்சியின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு மிக முக்கியமானது. இந்த டொமைனில் முக்கிய பங்கு வகித்த ஒரு நுட்பம் லிக்விட்-ஃபேஸ் எபிடாக்ஸி (LPE) ஆகும்.
LPE இன் அடிப்படைக் கோட்பாடுகள்:
எபிடாக்ஸி, பொதுவாக, இதே போன்ற லட்டு அமைப்பைக் கொண்ட ஒரு அடி மூலக்கூறில் ஒரு படிக அடுக்கின் வளர்ச்சியைக் குறிக்கிறது. LPE, ஒரு குறிப்பிடத்தக்க எபிடாக்சியல் நுட்பம், வளர்க்கப்பட வேண்டிய பொருளின் சூப்பர்சாச்சுரேட்டட் கரைசலைப் பயன்படுத்துகிறது. அடி மூலக்கூறு, பொதுவாக ஒற்றை படிகமானது, ஒரு குறிப்பிட்ட காலத்திற்கு இந்த தீர்வுடன் தொடர்பு கொள்ளப்படுகிறது. அடி மூலக்கூறின் லேட்டிஸ் மாறிலிகள் மற்றும் வளர்க்கப்பட வேண்டிய பொருள் நெருக்கமாகப் பொருந்தும்போது, படிகத் தரத்தை பராமரிக்கும் போது பொருள் அடி மூலக்கூறு மீது படிகிறது. இந்த செயல்முறையானது லட்டு-பொருந்திய எபிடாக்சியல் அடுக்கு உருவாக்கத்தில் விளைகிறது.
LPE உபகரணங்கள்:
LPE க்காக பல வகையான வளர்ச்சி கருவிகள் உருவாக்கப்பட்டுள்ளன, ஒவ்வொன்றும் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்கு தனித்துவமான நன்மைகளை வழங்குகின்றன:
டிப்பிங் உலை:
அடி மூலக்கூறு ஒரு குவார்ட்ஸ் குழாயின் உள்ளே ஒரு கிராஃபைட் படகின் ஒரு முனையில் வைக்கப்படுகிறது.
தீர்வு கிராஃபைட் படகின் மறுமுனையில் அமைந்துள்ளது.
படகுடன் இணைக்கப்பட்ட தெர்மோகப்பிள் உலை வெப்பநிலையைக் கட்டுப்படுத்துகிறது.
அமைப்பு வழியாக ஹைட்ரஜன் ஓட்டம் ஆக்ஸிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கிறது.
தீர்வை அடி மூலக்கூறுடன் தொடர்பு கொள்ள உலை மெதுவாக முனையப்படுகிறது.
விரும்பிய வெப்பநிலையை அடைந்து, எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ந்த பிறகு, உலை அதன் அசல் நிலைக்குத் திரும்பும்.
செங்குத்து உலை:
இந்த கட்டமைப்பில், அடி மூலக்கூறு கரைசலில் நனைக்கப்படுகிறது.
இந்த முறை டிப்பிங் உலைக்கு மாற்று அணுகுமுறையை வழங்குகிறது, அடி மூலக்கூறுக்கும் தீர்வுக்கும் இடையே தேவையான தொடர்பை அடைகிறது.
மல்டிபின் உலை:
இந்த கருவியில் பல தீர்வுகள் அடுத்தடுத்த தொட்டிகளில் வைக்கப்படுகின்றன.
அடி மூலக்கூறு பல்வேறு தீர்வுகளுடன் தொடர்பு கொள்ள முடியும், இது பல எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியை அனுமதிக்கிறது.
இந்த வகை உலைகள் லேசர் சாதனங்களுக்குத் தேவையான சிக்கலான கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
LPE இன் பயன்பாடுகள்:
1963 இல் அதன் ஆரம்ப ஆர்ப்பாட்டத்திலிருந்து, பல்வேறு III-V கலவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் புனையலில் LPE வெற்றிகரமாகப் பயன்படுத்தப்பட்டது. உட்செலுத்துதல் லேசர்கள், ஒளி-உமிழும் டையோட்கள், ஃபோட்டோடெக்டர்கள், சோலார் செல்கள், இருமுனை டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் புலம்-விளைவு டிரான்சிஸ்டர்கள் ஆகியவை இதில் அடங்கும். அதன் பல்துறைத்திறன் மற்றும் உயர்தர, லேட்டிஸ்-பொருந்திய எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை உருவாக்கும் திறன் ஆகியவை மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பங்களின் வளர்ச்சியில் LPEயை ஒரு மூலக்கல்லாக ஆக்குகின்றன.
செமிகண்டக்டர் சாதனத் தயாரிப்பில் தேவைப்படும் புத்தி கூர்மை மற்றும் துல்லியத்திற்கு லிக்விட்-ஃபேஸ் எபிடாக்ஸி ஒரு சான்றாக நிற்கிறது. படிக வளர்ச்சியின் கொள்கைகளைப் புரிந்துகொண்டு, LPE கருவியின் திறன்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், ஆராய்ச்சியாளர்கள் மற்றும் பொறியாளர்கள் தொலைத்தொடர்பு முதல் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் வரையிலான பயன்பாடுகளுடன் அதிநவீன குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்க முடிந்தது. தொழில்நுட்பம் தொடர்ந்து முன்னேறும்போது, குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் எதிர்காலத்தை வடிவமைக்கும் நுட்பங்களின் ஆயுதக் களஞ்சியத்தில் LPE ஒரு முக்கிய கருவியாக உள்ளது.
Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுLPEக்கான CVD SiC பாகங்கள்தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையுடன். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், எங்களைத் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907
மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com