2023-04-06
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்ஸி என்பது செமிகண்டக்டர்கள் துறையில் ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும், குறிப்பாக அதிக சக்தி கொண்ட மின்னணு சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கு. SiC என்பது பரந்த பேண்ட்கேப்பைக் கொண்ட ஒரு கலவை குறைக்கடத்தி ஆகும், இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் மின்னழுத்த செயல்பாடு தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC epitaxy என்பது ஒரு அடி மூலக்கூறில், பொதுவாக சிலிக்கான், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அல்லது மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி (MBE) நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி ஒரு மெல்லிய அடுக்கில் படிகப் பொருளை வளர்ப்பதாகும். எபிடாக்சியல் அடுக்கு அடி மூலக்கூறு போன்ற அதே படிக அமைப்பு மற்றும் நோக்குநிலையைக் கொண்டுள்ளது, இது இரண்டு பொருட்களுக்கு இடையே உயர்தர இடைமுகத்தை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது.
SiC epitaxy, டையோட்கள், டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் தைரிஸ்டர்கள் போன்ற ஆற்றல் சாதனங்கள் உட்பட பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் வளர்ச்சியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த சாதனங்கள் மின்சார வாகனங்கள், புதுப்பிக்கத்தக்க எரிசக்தி அமைப்புகள் மற்றும் மின் விநியோகம் போன்ற பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
சமீபத்திய ஆண்டுகளில், மின்சார வாகனங்கள் மற்றும் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் அமைப்புகள் போன்ற பயன்பாடுகளுக்கான உயர்-சக்தி சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கான SiC எபிடாக்ஸியின் வளர்ச்சியில் ஆர்வம் அதிகரித்து வருகிறது. இந்த சாதனங்களுக்கான தேவை வரவிருக்கும் ஆண்டுகளில் வேகமாக வளரும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது, இது மிகவும் திறமையான மற்றும் நிலையான ஆற்றல் அமைப்புகளின் தேவையால் இயக்கப்படுகிறது.
இந்த கோரிக்கைக்கு பதிலளிக்கும் விதமாக, தரத்தை மேம்படுத்துவதிலும், செயல்முறையின் செலவைக் குறைப்பதிலும் கவனம் செலுத்துவதன் மூலம், ஆராய்ச்சியாளர்கள் மற்றும் நிறுவனங்கள் SiC எபிடாக்ஸி தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியில் முதலீடு செய்கின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, சில நிறுவனங்கள் ஒரு செதில் விலையைக் குறைக்க பெரிய அடி மூலக்கூறுகளில் SiC எபிடாக்ஸியை உருவாக்குகின்றன, மற்றவை குறைபாடுகளின் அடர்த்தியைக் குறைக்க புதிய நுட்பங்களை ஆராய்ந்து வருகின்றன.
SiC epitaxy ஆனது வாயு உணர்தல், வெப்பநிலை உணர்தல் மற்றும் அழுத்தம் உணர்தல் உள்ளிட்ட பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கான மேம்பட்ட உணரிகளின் வளர்ச்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் கடுமையான சூழல்களுக்கு எதிர்ப்பு போன்ற இந்த பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும் தனித்துவமான பண்புகளை SiC கொண்டுள்ளது.